國(guó)泰真空射頻離子源采用通用的LC高頻諧振原理，使用可調(diào)電容快速調(diào)諧，使整個(gè)負(fù)載阻抗匹配到50?，從而使功率輸出比較大，電離化效率比較高，調(diào)諧馬達(dá)采用步進(jìn)電機(jī)轉(zhuǎn)位+編碼器快速定位，并帶鎖止和記憶功能，以滿足負(fù)載在不同的真空環(huán)境、不同國(guó)泰射頻離子源采用通用的LC高頻諧振原理，使用可調(diào)電容快速調(diào)諧，使整個(gè)負(fù)載阻抗匹配到50?，從而使功率輸出比較大，電離化效率比較高，調(diào)諧馬達(dá)采用步進(jìn)電機(jī)轉(zhuǎn)位+編碼器快速定位，并帶鎖止和記憶功能，以滿足負(fù)載在不同的真空環(huán)境、不同阻抗快速點(diǎn)火。射頻部分匹配采用了硬件反饋和軟件提前記憶并預(yù)判的技術(shù)；直流引入快速滅弧技術(shù)，同時(shí)提高了射頻和直流部分的穩(wěn)定性，軟件設(shè)置了自檢和自診斷功能，即：使用前系統(tǒng)自檢，使用中即時(shí)刷新，對(duì)非調(diào)整性輸入的變化提前警報(bào)并告知客戶做好預(yù)案。紅外真空鍍膜機(jī)制造商。離子束清洗射頻離子源生產(chǎn)廠家

【真空鍍膜機(jī)常見故障之旋片泵故障及處理方法】1、未做保養(yǎng)導(dǎo)致灰塵太多。真空鍍膜設(shè)備在鍍膜過(guò)程中容易產(chǎn)生da量灰塵，這些灰塵伴隨空氣容易混雜到泵油中，時(shí)間久了容易對(duì)轉(zhuǎn)子及泵腔造成磨損及破壞。處理方法：如果灰塵不多，可以油過(guò)濾系統(tǒng)除掉灰塵；如果灰塵過(guò)多可以用除塵器配合油過(guò)濾系統(tǒng)除掉灰塵。2、旋片式真空泵冒煙和噴油：指旋片式真空泵在運(yùn)轉(zhuǎn)中排氣口冒煙或者噴油，冒煙。處理方法：冒煙闡明泵的進(jìn)氣口外，包括管道、閥門、容器有修理的狀況。3、噴油，闡明進(jìn)氣口外有da量的漏點(diǎn)，以至是進(jìn)氣口暴露da氣。處理方法：封住泵的進(jìn)氣口使泵運(yùn)轉(zhuǎn)，假如不噴油的話，闡明有漏點(diǎn)；排氣閥片損壞，檢查排氣閥片能否損壞，改換壞的排氣閥片。4、被抽氣體的溫度可能過(guò)高。處理方法：降低被抽氣體的溫度，或能夠加一個(gè)相應(yīng)的換熱器。5、配合的間隙改da。這是長(zhǎng)期被抽氣體內(nèi)含有粉塵等，形成旋片和定子之間磨損后的間隙增da。處理方法：檢查間隙能否過(guò)da，改換新的零部件。6、泵內(nèi)的油路不通或者不暢，泵腔內(nèi)沒(méi)有堅(jiān)持一定量的油量。處理方法：檢查油路能否暢通，并加同類型的真空泵油。貴州真空鍍膜射頻離子源價(jià)格真空鍍膜機(jī)廠家排名。

【真空鍍膜對(duì)環(huán)境的基本要求】加工真空鍍膜工藝襯底(基片)表面的清潔處理很重要?；M(jìn)入鍍膜室前均應(yīng)進(jìn)行認(rèn)真的鍍前清潔處理，達(dá)到工件去油、去污和脫水的目的?；砻嫖廴緛?lái)自零件在加工、傳輸、包裝過(guò)程所粘附的各種粉塵、潤(rùn)滑油、機(jī)油、拋光膏、油脂、汗?jié)n等物;零件表面在潮濕空氣中生成的氧化膜;零件表面吸收和吸附的氣體。真空鍍膜廠家這些污物基本上均可采用去油或化學(xué)清冼方法將其去掉。對(duì)經(jīng)過(guò)清洗處理的清潔表面，不能在da氣環(huán)境中存放，要用封閉容器或保潔柜貯存，以減小灰塵的沾污。用剛氧化的鋁容器貯存玻璃襯底，可使碳?xì)浠衔镎魵獾奈綔p至小。因?yàn)檫@些容器優(yōu)先吸附碳?xì)浠衔?。?duì)于高度不穩(wěn)定的、對(duì)水蒸氣敏感的表面，一般應(yīng)貯存在真空干燥箱中。qing除鍍膜室內(nèi)的灰塵，設(shè)置清潔度高的工作間，保持室內(nèi)高度清潔是鍍膜工藝對(duì)環(huán)境的基本要求?？諝鉂穸萪a的地區(qū)，除鍍前要對(duì)基片、真空室內(nèi)各部件認(rèn)真清洗外，還要進(jìn)行烘烤除氣。要防止油帶入真空室內(nèi)，注意油擴(kuò)散泵返油，對(duì)加熱功率高的擴(kuò)散泵必須采取擋油措施。

【真空鍍膜機(jī)清洗工藝要求】真空工藝進(jìn)行前應(yīng)清洗真空材料，從工件或系統(tǒng)材料表面qing除污染物；真空零部件的表面清洗處理也是非常有必要的，因?yàn)橛晌廴疚锼斐傻臍怏w、蒸氣源不僅會(huì)使真空系統(tǒng)不能獲得所要求的真空度。而且由于污染物的存在，同時(shí)也會(huì)影響真空部件連接處的強(qiáng)度和密封性能。污染物可以定義為“任何一種無(wú)用的物質(zhì)或能量”，根據(jù)污染物的物理狀態(tài)可分為固體、氣體及液體，它們以膜或散粒形式存在。就其化學(xué)特征來(lái)看，它可以處于離子態(tài)或共價(jià)態(tài)，可以是無(wú)機(jī)物或有機(jī)物。暴露在空氣中的表面易受到污染，污染的來(lái)源有很多種，初的污染通常是表面本身形成過(guò)程中的一部分。吸附現(xiàn)象、化學(xué)反應(yīng)、浸析和干燥過(guò)程、機(jī)械處理以及擴(kuò)散和離析過(guò)程都使各種成分的表面污染物增加。真空鍍膜機(jī)的操作培訓(xùn)。

【真空鍍膜之離子束濺射鍍膜】離子束濺射沉積法在離子源內(nèi)由惰性氣體(通常為氬)產(chǎn)生具有較高能量的離子轟擊靶材料，把靶材料沉積到基片上的方法。離子束濺射沉積法的一da優(yōu)點(diǎn)是基片相對(duì)于離子源和靶是du立的，它的溫度可以單獨(dú)控制?；ǔ＝拥匚?，它和靶與高頻電路無(wú)關(guān)，不會(huì)象陰極濺射鍍膜那樣受到高能電子的轟擊，因而溫度較低。所以只要配置一臺(tái)較好的恒溫循環(huán)器(如HX1050型，控溫范圍為-10℃~50℃，精度≤0。5℃)，實(shí)現(xiàn)對(duì)樣品臺(tái)的單獨(dú)控溫，就可以根據(jù)不同樣品的要求以及薄膜生長(zhǎng)不同階段的溫度需要進(jìn)行適當(dāng)調(diào)節(jié)。根據(jù)現(xiàn)有離子束濺射設(shè)備的構(gòu)造，設(shè)計(jì)、加工了專門的金屬樣品架，放上樣品后蓋上金屬壓片，用螺絲緊密地固定在鍍膜腔體的樣品臺(tái)上，可使樣品和控溫的樣品臺(tái)有良好的熱接觸。并在樣品架中放置了一個(gè)測(cè)溫鉑電阻，用螺絲把金屬壓片連同其下的鉑電阻一起固定壓緊，再用導(dǎo)線引出與高精度的萬(wàn)用表相連，以監(jiān)測(cè)薄膜生長(zhǎng)過(guò)程中的樣品溫度。真空鍍膜機(jī)的升級(jí)改造。陜西大直徑射頻離子源制造生產(chǎn)

真空鍍膜機(jī)為什么會(huì)越來(lái)越慢？離子束清洗射頻離子源生產(chǎn)廠家

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