手次使用AVI系統(tǒng)時，將前面板隔離開關(guān)設(shè)置為關(guān)閉（黑色旋鈕熄滅）。打開電源。電源指示燈現(xiàn)在將點亮，16個顯示LED將短暫閃爍。黃色啟用LED將在約2Hz時閃爍。如果出現(xiàn)劇烈振動或把手放在桌面上，部分或全部LED將閃爍。打開電源約30秒后，您可以將隔離開關(guān)推到打開位置（黑色旋鈕進入）。黃色LED現(xiàn)在將一直亮起，表示系統(tǒng)正在隔離。把手輕輕地放在桌面上?？赡軙幸粋€或多個LED亮起，表示過載。了解在不造成過載的情況下可以施加多少力。LFS和AVI元件所在的支承面必須盡可能堅硬，以便在附近移動時不會明顯傾斜。晶圓隔振臺用途

主動式隔震臺工作機理主動防振臺通過電氣控制，向傳入振動瞬間施加反方向的力，從而消除振動。測振傳感器不斷監(jiān)測振動，制動器根據(jù)這些信號產(chǎn)生反向力，以保持蕞佳的隔振狀態(tài)。主動式防震臺專門研究10Hz以下低頻范圍的防震。（1）實際測量的振動結(jié)果：AVI主動隔振頻率范圍在1.0Hz到200Hz之間。完美的隔振系統(tǒng)可控制很大范圍的頻率。（2）不同負載下的振動傳遞率：AVI的隔振性能在負載低于30Hz以下時是一個重要的參照。高頻率范圍內(nèi)，隨著隔振負載增加，隔震效果稍有提升。北京中芯國際隔振臺控制中心有超載指示燈。

AVI-600/LP的每個單元均可調(diào)節(jié)，以適應(yīng)0至600kg的負載。對于任何設(shè)置由兩個單元組成的系統(tǒng)上的負載，可在+/-90kg之間變化，而不必重設(shè)調(diào)整。手次操作系統(tǒng)時，請將前面板隔離開關(guān)設(shè)置為OFF（黑色旋出）。接通電源。電源指示燈現(xiàn)在將點亮，并且24個顯示LED將短暫閃爍。黃色的使能LED將以大約2Hz的頻率閃爍。如果劇烈震動存在或如果您將手放在桌面上，則某些或所有LED將閃爍。接通電源約30秒后，您可以將隔離開關(guān)推到ON位置（紅色旋鈕進入）。黃色LED現(xiàn)在將勇久保持亮起，表明系統(tǒng)處于隔離。

    AVI400-XLAVI400-XL的基本配置包括兩個緊湊型隔振模塊和一個控制單元，最大負載為800公斤。通過增加緊湊型單元的數(shù)量，可以輕松實現(xiàn)對更高負載的支持。為了使AVI400-M適應(yīng)用戶特定的應(yīng)用，可以使用不同長度的緊湊型裝置。AVI400-XL的隔離始于1,2Hz，超過10HZ以上迅速增加至35db減少低頻諧振可得到比普通的被動空氣阻尼系統(tǒng)更好的性能AVI400-XL系統(tǒng)固有的剛性賦予其出色的方向性和位置穩(wěn)定性AVI400-XL的出色性能包括所有六個方向水平和垂直振動模式AVI400-XL緊湊型裝置不需要任何大型安裝工具。我們努力提供一種簡單，友好的概念-因此，在裝置上放置沉重的設(shè)備（例如SEM）時，避免了任何復(fù)雜的過程。技術(shù)指標：頻率：：0-800公斤（單個）：400公斤。 AVI 400-M緊湊型裝置不需要任何大型安裝工具。

AVI200-XL的隔離始于1,2Hz，然后迅速增加至超過10Hz的35dB減少低頻諧振可得到比普通的被動空氣阻尼系統(tǒng)更好的性能AVI200-XL系統(tǒng)固有的剛性賦予其出色的方向性和位置穩(wěn)定性AVI200-XL的出色性能包括所有六個方向水平和垂直振動模式AVI200-XL隔振模塊不需要任何大型工具即可安裝。

我們努力提供一種簡單，友好的概念-避免在安裝出現(xiàn)中比較復(fù)雜的過程。

技術(shù)指標：頻率：1,2-200Hz負載范圍：0-400公斤AVI200-M的基本配置包括兩個單個承載模塊和一個控制單元，蕞大可以負載400公斤。

通過增加隔離模塊的數(shù)量，可以輕松承受更高的負載。為了使AVI200-M適應(yīng)用戶特定的應(yīng)用，可以按特殊順序提供不同長度的單個模塊。 在納米技術(shù)的時代，極之微細的振動已對搜索結(jié)果造成極大的影響，必須改善測量環(huán)境。北京中芯國際隔振臺

傳感器LFS-3有一個單獨的電源，通過D-Sub25插座連接到LFS-3控制單元。晶圓隔振臺用途

關(guān)鍵詞：主動式隔震臺、主動式隔振臺、主動式防振臺、防振臺、AVI、Herz、Tablestable、·AVI系列振動傳遞率橫坐標為頻率，縱坐標為傳遞率的數(shù)據(jù)，在10hz頻率以上時，傳遞率的數(shù)據(jù)小于0.02，很好地起到了隔振作用。AVI承載不同重量時不同方向上振動衰減的數(shù)據(jù)（實驗室實驗數(shù)據(jù)）垂直方向上的振動傳遞衰減，在承重時10hz的頻率以上時，蕞大可以達到40dB的衰減。隔振效率可以達到99%以上的效果。10Hz以上的頻率正常情況下是30dB到40dB的衰減。晶圓隔振臺用途

岱美儀器技術(shù)服務(wù)（上海）有限公司辦公設(shè)施齊全，辦公環(huán)境優(yōu)越，為員工打造良好的辦公環(huán)境。在岱美中國近多年發(fā)展歷史，公司旗下現(xiàn)有品牌EVG,Filmetrics,MicroSense,Herz,Herzan,Film Sense,Polyteknik,4D,Nanotronics,Subnano,Bruker,FSM,SHB等。公司堅持以客戶為中心、磁記錄、半導體、光通訊生產(chǎn)及測試儀器的批發(fā)、進出口、傭金代理（拍賣除外）及其相關(guān)配套服務(wù)，國際貿(mào)易、轉(zhuǎn)口貿(mào)易，商務(wù)信息咨詢服務(wù) 市場為導向，重信譽，保質(zhì)量，想客戶之所想，急用戶之所急，全力以赴滿足客戶的一切需要。岱美中國始終以質(zhì)量為發(fā)展，把顧客的滿意作為公司發(fā)展的動力，致力于為顧客帶來***的半導體工藝設(shè)備，半導體測量設(shè)備，光刻機 鍵合機，膜厚測量儀。