LFS-2傳感器測(cè)量兩個(gè)軸的水平加速度，直至頻率為約0.2Hz傳感器直接放置在地板上，并用于前饋回路中與標(biāo)準(zhǔn)AVI/LP系統(tǒng)結(jié)合使用，可在非常低的情況下提高隔振效果頻率。LFS-2可以改裝為現(xiàn)有的AVI-LP系統(tǒng)。下表顯示了在AVI/LP上測(cè)得的水平隔離度（透射率）有和沒有LFS的系統(tǒng)。將傳感器連接到AVI/系統(tǒng)？傳感器LFS-2具有單獨(dú)的電源，該電源通過D-Sub25插座連接到LFS-2控制單元。用D-Sub25將電源連接到傳感器電纜。每個(gè)AVI元素必須連接到背面的D-Sub15插座之一傳感器的LFS的實(shí)際位置并不重要，但必須放置它在支持AVI單元的同一表面上。將AVI單元的上部D-Sub15插座連接到傳感器。簡單，用戶友好的處理概念-避免在安裝過程中進(jìn)行復(fù)雜的過程。HERZAN隔振臺(tái)推薦型號(hào)

AVI200-XL的隔離始于1,2Hz，然后迅速增加至超過10Hz的35dB減少低頻諧振可得到比普通的被動(dòng)空氣阻尼系統(tǒng)更好的性能AVI200-XL系統(tǒng)固有的剛性賦予其出色的方向性和位置穩(wěn)定性AVI200-XL的出色性能包括所有六個(gè)方向水平和垂直振動(dòng)模式AVI200-XL隔振模塊不需要任何大型工具即可安裝。

我們努力提供一種簡單，友好的概念-避免在安裝出現(xiàn)中比較復(fù)雜的過程。

技術(shù)指標(biāo)：頻率：1,2-200Hz負(fù)載范圍：0-400公斤AVI200-M的基本配置包括兩個(gè)單個(gè)承載模塊和一個(gè)控制單元，蕞大可以負(fù)載400公斤。

通過增加隔離模塊的數(shù)量，可以輕松承受更高的負(fù)載。為了使AVI200-M適應(yīng)用戶特定的應(yīng)用，可以按特殊順序提供不同長度的單個(gè)模塊。 光刻機(jī)隔振臺(tái)用途是什么AVI 200-M的基本配置包括兩個(gè)單個(gè)承載模塊和一個(gè)控制單元，蕞大可以負(fù)載400公斤。

AVI單元和傳感器的方向隔離單元和LFS傳感器必須正確安裝，這一點(diǎn)很重要取向！LFS控制單元上的每個(gè)D-Sub15插座都有4個(gè)對(duì)應(yīng)于AVI的開關(guān)輸出以任意4個(gè)矩形方向（即平行或成直角）放置的元素。不允許其他方向。為確保連接正確，請(qǐng)按照下列步驟操作：面向LFS傳感器的藍(lán)色LED站立。將弟一個(gè)AVI元素連接到以下任意一個(gè)后面板上的12個(gè)D-Sub15插座。用筆滑動(dòng)開關(guān)在位置A和D之間。所有AVI元素必須連接到LFS單元上的插槽。正確的開關(guān)位置對(duì)于獲得良好的性能至關(guān)重要隔離。

支撐面測(cè)試在系統(tǒng)運(yùn)行時(shí)，推動(dòng)支撐表面。燈不亮，除了可能會(huì)大力推動(dòng)。如果可以輕松使燈點(diǎn)亮，則支撐表面剛度不足以獲得充分的性能。確定支撐表面是否起反應(yīng)對(duì)水平或垂直力施加更大的作用，并嘗試適當(dāng)?shù)厥菇Y(jié)構(gòu)變硬。請(qǐng)注意，該系統(tǒng)將在任何支撐表面上運(yùn)行，但會(huì)產(chǎn)生共振的柔軟結(jié)構(gòu)放大某些建筑物的振動(dòng)頻率，因此這些振動(dòng)頻率會(huì)降低隔離的。桌面選擇桌面必須足夠堅(jiān)硬，以防止兩個(gè)隔離單元相對(duì)旋轉(zhuǎn)他們的長橫軸。蜂窩面包板或30mm厚的鋁板會(huì)產(chǎn)生蕞好的結(jié)果，但是可以使用石板甚至是實(shí)心木板。對(duì)于的位置固定孔，請(qǐng)參閱本文檔末尾的鉆孔計(jì)劃。注意，也可以將隔離單元直接連接到支持的設(shè)備上。在這堅(jiān)固的安裝是絕隊(duì)必要的。我們很樂意為您提供蕞佳安裝建議方法。勵(lì)磁箱允許將激勵(lì)信號(hào)施加到TS隔離系統(tǒng)，以便該系統(tǒng)可以在任何方向上用作振動(dòng)器。

AVI-產(chǎn)品參數(shù)：AVI-200系列（負(fù)載：蕞多800kg）型號(hào)：AVI-200SLP，AVI-200MLP，AVI-200XLP系統(tǒng)形狀：控制器與防振單元分離型主動(dòng)控制范圍：被動(dòng)隔振范圍200Hz以上確認(rèn)防振狀態(tài)：使用控制器背面的BNC連接器，外部連接前面的8個(gè)LED指示防振狀態(tài)尺寸：120×396×130×636×130×856×控制器尺寸：241×287×142毫米承重：400kg單位重量：約9kg聯(lián)絡(luò)我們電源電壓：95-240VAC50-60赫茲耗電量：普通9W工作溫度范圍：5℃?40℃工作濕度范圍：10?90％（5?30℃）?10?60％（30?40℃）可選零件（1）裝載板，石板，鑄鐵板*另行咨詢選裝（2）高剛性支架或高阻尼高剛性支架*單獨(dú)咨詢。LFS-3感應(yīng)器測(cè)試水平和垂直方向加速度3軸的頻率低到0.2Hz。光刻機(jī)隔振臺(tái)用途是什么

使用D-Sub 15M-F電纜將T-Box連接到TS的背面。無需單獨(dú)的電源。通過模式開關(guān)可以選擇不同的激勵(lì)方向。HERZAN隔振臺(tái)推薦型號(hào)

AVI600-SAVI600-S的基本配置包括兩個(gè)緊湊型單元和一個(gè)控制單元，最大負(fù)載為800公斤。通過增加緊湊型單元的數(shù)量，可以輕松實(shí)現(xiàn)對(duì)更高負(fù)載的支持。為了使AVI600-S適應(yīng)用戶特定的應(yīng)用，可以使用不同長度的緊湊型裝置。AVI600-S的隔離始于1,2Hz，超過10HZ以上迅速增加至35db減少低頻諧振可得到比普通的被動(dòng)空氣阻尼系統(tǒng)更好的性能AVI600-S系統(tǒng)固有的剛性賦予其出色的方向性和位置穩(wěn)定性AVI600-S的出色性能包括所有六個(gè)方向水平和垂直振動(dòng)模式AVI600-S緊湊型設(shè)備不需要任何大型安裝工具。我們努力提供一種簡單，友好的處理概念-從而避免在設(shè)備上放置沉重的設(shè)備（例如SEM）時(shí)進(jìn)行任何復(fù)雜的操作。技術(shù)指標(biāo)：頻率：1.2-200Hz負(fù)載范圍：0-1200公斤（單個(gè)）：600公斤HERZAN隔振臺(tái)推薦型號(hào)

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