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來(lái)源: 發(fā)布時(shí)間:2022-09-29

技術(shù)介紹:紅外干涉測(cè)量技術(shù),非接觸式測(cè)量。采用Michaelson干涉方法,紅外波段的激光能更好的穿透被測(cè)物體,準(zhǔn)確的得到測(cè)試結(jié)果。產(chǎn)品簡(jiǎn)介:FSM413EC紅外干涉測(cè)量設(shè)備適用于所有可讓紅外線通過(guò)的材料:硅、藍(lán)寶石、砷化鎵、磷化銦、碳化硅、玻璃、石英、聚合物…………應(yīng)用:襯底厚度(不受圖案硅片、有膠帶、凹凸或者粘合硅片影響)平整度溝槽深度過(guò)孔尺寸、深度、側(cè)壁角度粗糙度薄膜厚度硅片厚度環(huán)氧樹(shù)脂厚度襯底翹曲度晶圓凸點(diǎn)高度(bumpheight)MEMS薄膜測(cè)量TSV深度、側(cè)壁角度...F20-XT膜厚范圍:0.2μm - 450μm;波長(zhǎng):1440-1690nm。盒厚膜厚儀國(guó)內(nèi)代理

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FSM8018VITE測(cè)試系列設(shè)備VITE技術(shù)介紹:VITE是傅里葉頻域技術(shù),利用近紅外光源的相位剪切技術(shù)(Phasesheartechnology)設(shè)備介紹適用于所有可讓近紅外線通過(guò)的材料:硅、藍(lán)寶石、砷化鎵、磷化銦、碳化硅、玻璃、石英、聚合物…………應(yīng)用:襯底厚度(不受圖案硅片、有膠帶、凹凸或者粘合硅片影響)平整度厚度變化(TTV)溝槽深度過(guò)孔尺寸、深度、側(cè)壁角度粗糙度薄膜厚度不同半導(dǎo)體材料的厚度環(huán)氧樹(shù)脂厚度襯底翹曲度晶圓凸點(diǎn)高度(bumpheight)MEMS薄膜測(cè)量TSV深度、側(cè)壁角度...單層膜膜厚儀實(shí)際價(jià)格F40測(cè)量范圍;20nm-40μm;波長(zhǎng):400-850nm。

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F10-ARc:走在前端以較低的價(jià)格現(xiàn)在可以很容易地測(cè)量曲面樣品,包括眼鏡和其他光學(xué)鏡片的防反射涂層,瑾需其他設(shè)備一小部分的的價(jià)格就能在幾秒內(nèi)得到精確的色彩讀值和反射率測(cè)量.您也可選擇升級(jí)薄膜厚度測(cè)量軟件,操作上并不需要嚴(yán)格的訓(xùn)練,您甚至可以直覺(jué)的藉由設(shè)定任何波長(zhǎng)范圍之蕞大,蕞小和平均值.去定義顏色和反射率的合格標(biāo)準(zhǔn).容易設(shè)定.易於維護(hù).只需將F10-ARc插上到您計(jì)算機(jī)的USB端口,感謝Filmetrics的創(chuàng)新,F10-ARc幾乎不存在停機(jī)時(shí)間,加上40,000小時(shí)壽命的光源和自動(dòng)板上波長(zhǎng)校準(zhǔn),你不需擔(dān)心維護(hù)問(wèn)題。

硬涂層厚度測(cè)量Filmetrics系統(tǒng)在汽車(chē)和航空工業(yè)得到廣泛應(yīng)用,用于測(cè)量硬涂層和其他保護(hù)性薄膜的厚度。F10-HC是為彎曲表面和多層薄膜(例如,底涂/硬涂層)而專(zhuān)門(mén)設(shè)計(jì)的。汽車(chē)前燈在汽車(chē)前燈組件的制造中需要進(jìn)行多點(diǎn)測(cè)量,因?yàn)橥繉雍穸葘?duì)于品質(zhì)至關(guān)重要。外側(cè)硬涂層和聚碳酸酯鏡頭內(nèi)側(cè)的防霧層以及反射器上的涂層的厚度都是很重要的。這些用途中的每一項(xiàng)是特殊的挑戰(zhàn),而Filmetrics已經(jīng)開(kāi)發(fā)出軟件、硬件和應(yīng)用知識(shí)以便為用戶(hù)提供正確的解決方案。測(cè)量范例帶HC選項(xiàng)的F10-AR收集測(cè)量厚度的反射率信息。這款儀器采用光學(xué)接觸探頭,它的設(shè)計(jì)降低了背面反射。接觸探頭安置在亞克力表明。FILMeature軟件自動(dòng)分析收集的光譜信息,給出涂層厚度。在這個(gè)例子中,亞克力板上還有一層與硬涂層折射率非常近似的底漆。F3-s980 是波長(zhǎng)為980奈米的版本,是為了針對(duì)成本敏銳的應(yīng)用而設(shè)計(jì)。

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顯微鏡轉(zhuǎn)接器F40系列轉(zhuǎn)接器。Adapter-BX-Cmount該轉(zhuǎn)接器將F40接到OlympusBX或MX上而不必使用Olympus價(jià)格較貴的c-mount轉(zhuǎn)接器。MA-Cmount-F20KIT該轉(zhuǎn)接器將F20連接到顯微鏡上(模仿F40,光敏度低5倍),包括集成攝像機(jī)、光纖、TS-Focus-SiO2-4-10000厚度標(biāo)準(zhǔn)、F40軟件,和F40手冊(cè)。軟件升級(jí):UPG-RT-to-Thickness升級(jí)的厚度求解軟件,需要UPG-Spec-to-RT。UPG-Thickness-to-n&k升級(jí)的折射率求解軟件,需要UPG-RT-to-Thickness。UPG-F10-AR-HC為F10-AR升級(jí)的FFT硬涂層厚度測(cè)量軟件。包括TS-Hardcoat-4um厚度標(biāo)準(zhǔn)。厚度測(cè)量范圍0.25um-15um。UPG-RT-to-Color&Regions升級(jí)的色彩與光譜區(qū)域分析軟件,需要UPG-Spec-to-RT。測(cè)量SU-8 其它厚光刻膠的厚度有特別重要的應(yīng)用。銦錫氧化物膜厚儀科研應(yīng)用

測(cè)量方式: 紅外干涉(非接觸式)。盒厚膜厚儀國(guó)內(nèi)代理

參考材料備用BK7和二氧化硅參考材料。BG-Microscope顯微鏡系統(tǒng)內(nèi)取背景反射的小型抗反光鏡BG-F10-RT平臺(tái)系統(tǒng)內(nèi)獲取背景反射的抗反光鏡REF-Al-1mmSubstrate基底-高反射率鋁基準(zhǔn)REF-Al-3mmSubstrate基底-高反射率鋁基準(zhǔn)REF-BK71?"x1?"BK7反射基準(zhǔn)。REF-F10RT-FusedSilica-2Side背面未經(jīng)處理的石英,用于雙界面基準(zhǔn)。REF-Si-22"單晶硅晶圓REF-Si-44"單晶硅晶圓REF-Si-66"單晶硅晶圓REF-Si-88"單晶硅晶圓REF-SS3-Al專(zhuān)為SS-3樣品平臺(tái)設(shè)計(jì)之鋁反射率基準(zhǔn)片REF-SS3-BK7專(zhuān)為SS-3樣品平臺(tái)設(shè)計(jì)之BK7玻璃反射率基準(zhǔn)片REF-SS3-Si專(zhuān)為SS-3樣品平臺(tái)設(shè)計(jì)之硅反射率基準(zhǔn)片盒厚膜厚儀國(guó)內(nèi)代理

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