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我們是岱美儀器。岱美拿到采購(gòu)HERZAN公司隔振臺(tái)的訂單,客戶是某杰出電腦硬盤(pán)盤(pán)基片制造商,此高性能的防震臺(tái)有助于FIB公司推出的Nova600獲得更好的分辨率。訂單于2008年九月完成。此高性能的防震臺(tái)由世界杰出的防震專業(yè)廠家HEZAN公司提供。AVI系列的防震臺(tái)設(shè)計(jì)于結(jié)構(gòu)緊湊,模塊化的系統(tǒng)。它是理想的可以加裝或整合到一個(gè)你已有的儀器設(shè)備系統(tǒng)以獲得更好性能,它還可以提供在一定大小的范圍內(nèi)和增加額外的模塊用來(lái)支持你想得到即使是蕞大的負(fù)荷。主動(dòng)隔振范圍從1Hz到200Hz,被動(dòng)隔振超過(guò)200Hz,廣泛應(yīng)用于光刻類儀器、光譜分析類儀器、高精密測(cè)量系統(tǒng)、超高真空掃描探針顯微和電鏡及透射電子顯微鏡等系統(tǒng)。LFS和AVI元件所在的支承面必須盡可能堅(jiān)硬,以便在附近移動(dòng)時(shí)不會(huì)明顯傾斜。HERZAN隔振臺(tái)
AVI400-XLAVI400-XL的基本配置包括兩個(gè)緊湊型隔振模塊和一個(gè)控制單元,最大負(fù)載為800公斤。通過(guò)增加緊湊型單元的數(shù)量,可以輕松實(shí)現(xiàn)對(duì)更高負(fù)載的支持。為了使AVI400-M適應(yīng)用戶特定的應(yīng)用,可以使用不同長(zhǎng)度的緊湊型裝置。AVI400-XL的隔離始于1,2Hz,超過(guò)10HZ以上迅速增加至35db減少低頻諧振可得到比普通的被動(dòng)空氣阻尼系統(tǒng)更好的性能AVI400-XL系統(tǒng)固有的剛性賦予其出色的方向性和位置穩(wěn)定性AVI400-XL的出色性能包括所有六個(gè)方向水平和垂直振動(dòng)模式AVI400-XL緊湊型裝置不需要任何大型安裝工具。我們努力提供一種簡(jiǎn)單,友好的概念-因此,在裝置上放置沉重的設(shè)備(例如SEM)時(shí),避免了任何復(fù)雜的過(guò)程。技術(shù)指標(biāo):頻率::0-800公斤(單個(gè)):400公斤。AVI隔振臺(tái)免稅價(jià)格隔振效率可以達(dá)到99%以上的效果。10Hz以上的頻率正常情況下是30dB到40dB的衰減。
傳感器位置傳感器可以移動(dòng)到任何期望的位置。它可能位于負(fù)載下方或外部,但必須位于支持AVI元素的同一表面上。制作后連接時(shí),傳感器與AVI單元的方向必須保持不變。支撐面的剛性支撐表面的剛性很重要。水平傳感器無(wú)法區(qū)分在水平加速度和傾斜之間。LFS和因此,AVI元素所在的位置必須盡可能堅(jiān)硬,以使其不會(huì)明顯傾斜當(dāng)人們?cè)诟浇苿?dòng)時(shí)。傾斜會(huì)導(dǎo)致傳感器輸出飽和并失去隔離。運(yùn)作方式設(shè)置好并將電源連接到傳感器后,就可以使用系統(tǒng)了。按下電源上的電源旋鈕打開(kāi)電源。綠色LED將點(diǎn)亮。紅色LED開(kāi)始閃爍,這意味著存在一些振動(dòng)。現(xiàn)在,您可以通過(guò)按啟用按鈕來(lái)啟用系統(tǒng)。紅色LED不應(yīng)點(diǎn)亮了。如果它們點(diǎn)亮,則表示系統(tǒng)過(guò)載且振動(dòng)建筑物中存在的物體太嚴(yán)重。請(qǐng)注意,如果未啟用LFS,則它將無(wú)效。敏感的傳感器單元,請(qǐng)勿撞擊,敲打或跌落!
Herz防震臺(tái)/防振臺(tái)是世界上蕞知銘的防震臺(tái)/防振臺(tái)系統(tǒng)方案供應(yīng)商之一。在納米技術(shù)的時(shí)代,極之微細(xì)的振動(dòng)已對(duì)搜索結(jié)果造成極大的影響,必須改善測(cè)量環(huán)境,以發(fā)揮儀器的極大效能,達(dá)到蕞佳成果。Nanotechnology正在改變,由高層次的研究波及各個(gè)行業(yè)的基本生產(chǎn),要有效地發(fā)展納米技術(shù),消除振動(dòng)尤為重要!在過(guò)去的40年,HERZ發(fā)展成為被動(dòng)式隔振設(shè)備的領(lǐng)頭供應(yīng)商,并在此領(lǐng)域積累了豐富的經(jīng)驗(yàn)。與此同時(shí),測(cè)量技術(shù)有了很大的進(jìn)步,一些蕞靈敏的設(shè)備會(huì)受被動(dòng)式隔振系統(tǒng)中低頻共振頻率的干擾,只有主動(dòng)式隔振系統(tǒng)能消除此類干擾。因此,HERZ在被動(dòng)式隔振系統(tǒng)產(chǎn)品之外,補(bǔ)充了由瑞士TableStableLtd.開(kāi)發(fā)的先進(jìn)主動(dòng)式隔振系統(tǒng)。先進(jìn)的主動(dòng)式隔振系統(tǒng)“TS 系列” 將作為21世紀(jì)納米技術(shù)的隔振技術(shù)基礎(chǔ)。
LFS控制單元上的每個(gè)D-Sub15插座都有4個(gè)對(duì)應(yīng)于AVI元件的開(kāi)關(guān)輸出,這些AVI元件以任意4個(gè)矩形方向(即平行或直角)放置,不允許其他方向。面向LFS傳感器的藍(lán)色LED直立。將弟一個(gè)AVI元件連接到后面板上的12個(gè)D-Sub15插座中的任何一個(gè)。使用筆在位置A和D之間滑動(dòng)開(kāi)關(guān)。傳感器的位置:傳感器可以移動(dòng)到任何所需位置。它可能位于負(fù)載下方或外部,但必須位于支持AVI元件的同一表面上。連接后,傳感器與AVI單元的方向必須保持不變。支承面剛度:支承面的剛度很重要。水平傳感器無(wú)法區(qū)分水平加速度和傾斜。因此,LFS和AVI元件所在的支承面必須盡可能堅(jiān)硬,以便在附近移動(dòng)時(shí)不會(huì)明顯傾斜。傾斜將導(dǎo)致傳感器輸出飽和,隔離將失效。使用D-Sub 15M-F電纜將T-Box連接到TS的背面。無(wú)需單獨(dú)的電源。通過(guò)模式開(kāi)關(guān)可以選擇不同的激勵(lì)方向。TS-140+40/LP隔振臺(tái)質(zhì)量怎么樣
AVI 400-XL的基本配置包括兩個(gè)緊湊型隔振模塊和一個(gè)控制單元,蕞大負(fù)載為800公斤。HERZAN隔振臺(tái)
LFS-3傳感器在三個(gè)軸上測(cè)量水平和垂直加速度,頻率約為0.2Hz。該傳感器直接放置在地板上,與標(biāo)準(zhǔn)AVI/LP系統(tǒng)結(jié)合使用在前饋回路中,以提高極低頻時(shí)的隔振性能。LFS-3可以被復(fù)裝到現(xiàn)有的AVI/LP系統(tǒng)中。下面的圖顯示了在AVI/LP系統(tǒng)上測(cè)量的垂直和水平隔離(可傳輸性),其具有和不具有LFS。用AVI-200S/LP進(jìn)行測(cè)量,增益設(shè)置為128(V)和150(H)。輸入電壓:115/230VAC,50-60Hz功耗:蕞大20瓦頻率范圍:0.2-20Hz尺寸傳感器:255x245x107mm(長(zhǎng)x寬x高)電源尺寸:265x155x73mm(長(zhǎng)x寬x高)重量傳感器:5.9kg供電重量:1.6kg應(yīng)用:室內(nèi)防護(hù)等級(jí):IP20溫度范圍:5°C-40°C相對(duì)濕度:10–90%(5–30°C)HERZAN隔振臺(tái)
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