LFS-2傳感器測量兩個軸的水平加速度,直至頻率為約0.2Hz傳感器直接放置在地板上,并用于前饋回路中與標準AVI/LP系統(tǒng)結合使用,可在非常低的情況下提高隔振效果頻率。LFS-2可以改裝為現(xiàn)有的AVI-LP系統(tǒng)。下表顯示了在AVI/LP上測得的水平隔離度(透射率)有和沒有LFS的系統(tǒng)。將傳感器連接到AVI/系統(tǒng)?傳感器LFS-2具有單獨的電源,該電源通過D-Sub25插座連接到LFS-2控制單元。用D-Sub25將電源連接到傳感器電纜。每個AVI元素必須連接到背面的D-Sub15插座之一傳感器的LFS的實際位置并不重要,但必須放置它在支持AVI單元的同一表面上。將AVI單元的上部D-Sub15插座連接到傳感器。TableStable通過主動控制沒有共振點,可以防止低頻范圍的振動。隔離振動隔振臺優(yōu)惠價格
1.更換SEM側面板(如有必要)。檢查隔離系統(tǒng)和SEM的所有電纜是否松動連接。檢查并確保沒有將SEM耦合到地面或其他振動源。2.將電源線插入控制器背面。翻轉前面板上的“ON”開關。按紅色按鈕啟用活動隔離。3.幾秒鐘后,使能LED指示燈將變穩(wěn)定,指示系統(tǒng)已正確隔離。輕輕敲擊SEM時,控制器上的紅燈應短暫點亮然后熄滅。4.如果一個或多個指示燈持續(xù)亮起,或者在正常情況下指示燈不熄滅,或者如果點擊不亮,則表明傳感器過載。請仔細檢查以下內容:沒有任何東西觸及模塊,連接模塊和SEM的所有電纜均松弛,并且已針對負載適當調整了模塊。日本隔振臺出廠價LFS傳感器在三個軸上測量水平和垂直加速度,直到頻率約為0.2Hz。
傳感器LFS-3有一個單獨的電源,通過D-Sub25插座連接到LFS-3控制單元。用D-Sub25電纜將電源連接到傳感器。每個單獨的AVI元件必須連接到傳感器后部的D-Sub15插座之一。LFS的實際位置并不重要,但它當然必須放置在支持AVI單元的同一表面上。將AVI單元的上D-Sub15插座(診斷插座)連接到傳感器設置并將電源連接到傳感器后,系統(tǒng)即可使用。按下電源上的電源旋鈕,打開電源。綠色的LED將亮起。紅色的發(fā)光二極管開始閃爍,這意味著存在一些振動?,F(xiàn)在您可以通過按下啟用按鈕來啟用系統(tǒng)。紅色的發(fā)光二極管不應該再亮了。如果它們亮了,那意味著系統(tǒng)超載,建筑物內的振動太嚴重。
Herz防震臺/防振臺是世界上蕞知銘的防震臺/防振臺系統(tǒng)方案供應商之一。在納米技術的時代,極之微細的振動已對搜索結果造成極大的影響,必須改善測量環(huán)境,以發(fā)揮儀器的極大效能,達到蕞佳成果。Nanotechnology正在改變,由高層次的研究波及各個行業(yè)的基本生產(chǎn),要有效地發(fā)展納米技術,消除振動尤為重要!在過去的40年,HERZ發(fā)展成為被動式隔振設備的領頭供應商,并在此領域積累了豐富的經(jīng)驗。與此同時,測量技術有了很大的進步,一些蕞靈敏的設備會受被動式隔振系統(tǒng)中低頻共振頻率的干擾,只有主動式隔振系統(tǒng)能消除此類干擾。因此,HERZ在被動式隔振系統(tǒng)產(chǎn)品之外,補充了由瑞士TableStableLtd.開發(fā)的先進主動式隔振系統(tǒng)。AVI系列可以在非常寬的頻率范圍內為原子力顯微鏡、非接觸式表面輪廓儀等提供極好的隔振效果。
將手輕輕放在桌面上。上方區(qū)塊中的一個或多個LED可能會亮起,指示過載。了解在不造成過載的情況下可以施加多少力。如果你現(xiàn)在在桌面上施加很大的力,所有過載燈都會亮起,并且隔離指示燈將閃爍幾秒鐘,表明系統(tǒng)暫時不再隔離,直到過載消除(待機模式)。消除過載后,隔離燈應再次亮起,系統(tǒng)開始隔離。某些過載LED可能會亮起并持續(xù)幾秒鐘。即使在這個階段系統(tǒng)正在隔離-但增益降低。嚴重過載后,系統(tǒng)可能需要半個小時分鐘即可達到完全隔離,但通常只需要幾秒鐘。注意:在正常使用中,隔離開關可能會保持在ON位置(黑色旋鈕在里面)。上接通電源后,黃色指示燈將首先閃爍,表明系統(tǒng)處于待機狀態(tài)模式。大約30秒鐘后,指示燈停止閃爍并保持點亮狀態(tài),表明系統(tǒng)處于隔離。AVI 400-XL的基本配置包括兩個緊湊型隔振模塊和一個控制單元,蕞大負載為800公斤。主動減振臺隔振臺當?shù)貎r格
TS系統(tǒng)的固有剛度賦予其出色的方向和位置穩(wěn)定性。隔離振動隔振臺優(yōu)惠價格
AVI600-MAVI600-M的基本配置包括兩個緊湊型單元和一個控制單元,最大負載為800公斤。通過增加緊湊型單元的數(shù)量,可以輕松實現(xiàn)對更高負載的支持。為了使AVI600-S適應用戶特定的應用,可以使用不同長度的緊湊型裝置。AVI600-M的隔離始于1,2Hz,超過10HZ以上迅速增加至35db減少低頻諧振可得到比普通的被動空氣阻尼系統(tǒng)更好的性能AVI600-M系統(tǒng)固有的剛性賦予其出色的方向性和位置穩(wěn)定性AVI600-M的出色性能包括所有六個方向水平和垂直振動模式AVI600-M緊湊型設備不需要任何大型安裝工具。我們努力提供一種簡單,友好的處理概念-從而避免在設備上放置沉重的設備(例如SEM)時進行任何復雜的操作。技術指標:頻率:1.2-200Hz負載范圍:0-1200公斤(單件):600公斤隔離振動隔振臺優(yōu)惠價格
岱美儀器技術服務(上海)有限公司是我國半導體工藝設備,半導體測量設備,光刻機 鍵合機,膜厚測量儀專業(yè)化較早的其他有限責任公司之一,公司位于金高路2216弄35號6幢306-308室,成立于2002-02-07,迄今已經(jīng)成長為儀器儀表行業(yè)內同類型企業(yè)的佼佼者。公司承擔并建設完成儀器儀表多項重點項目,取得了明顯的社會和經(jīng)濟效益。產(chǎn)品已銷往多個國家和地區(qū),被國內外眾多企業(yè)和客戶所認可。