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研究所輪廓儀摩擦學(xué)應(yīng)用

來源: 發(fā)布時間:2023-03-13

如何正確使用輪廓儀準(zhǔn)備工作1.測量前準(zhǔn)備。2.開啟電腦、打開機(jī)器電源開關(guān)、檢查機(jī)器啟動是否正常。3.擦凈工件被測表面。測量1.將測針正確、平穩(wěn)、可靠地移動在工件被測表面上。2.工件固定確認(rèn)工件不會出現(xiàn)松動或者其它因素導(dǎo)致測針與工件相撞的情況出現(xiàn)3.在儀器上設(shè)置所需的測量條件。4.開始測量。測量過程中不可觸摸工件更不可人為震動桌子的情況產(chǎn)生。5.測量完畢,根據(jù)圖紙對結(jié)果進(jìn)行分析,標(biāo)出結(jié)果,并保存、打印。輪廓的角度處理:角度處理:兩直線夾角、直線與Y軸夾角、直線與X軸夾角點(diǎn)線處理:兩直線交點(diǎn)、交點(diǎn)到直線距離、交點(diǎn)到交點(diǎn)距離、交點(diǎn)到圓心距離、交點(diǎn)到點(diǎn)距離圓處理:圓心距離、圓心到直線的距離、交點(diǎn)到圓心的距離、直線到切點(diǎn)的距離線處理:直線度、凸度、LG凸度、對數(shù)曲線表面三位微觀形貌的此類昂方法非常豐富,通??煞譃榻佑|時和非接觸時兩種,其中以非接觸式測量方法為主。研究所輪廓儀摩擦學(xué)應(yīng)用

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涵蓋面廣的2D、3D形貌參數(shù)分析:表面三維輪廓儀可測量300余種2D、3D參數(shù),無論加工的物件使用哪一種評定標(biāo)準(zhǔn),都可以提供權(quán)面的檢測結(jié)果作為評定依據(jù),可輕松獲取被測物件精確的線粗糙度、面粗糙度、輪廓度等參數(shù)。四、穩(wěn)定性強(qiáng),高重復(fù)性:儀器運(yùn)用高性能內(nèi)部抗震設(shè)計,不受外部環(huán)境影響測量的準(zhǔn)確性。超精密的Z向掃描模塊和測量軟件完美結(jié)合,保證高重復(fù)性,將測量誤差降低到亞納米級別。三維表面輪廓儀是精密加工領(lǐng)域必不可少的檢測設(shè)備,它既保障了生產(chǎn)加工的準(zhǔn)確性,又提高了成品的出產(chǎn)效率,滿足用戶對各項2D,3D參數(shù)檢測需求的同時,依然能夠保持高重復(fù)性,高穩(wěn)定性的運(yùn)行,其對精密加工所產(chǎn)生的的作用是舉足輕重的。四川研究所輪廓儀傳統(tǒng)光學(xué)顯微鏡的圖像包含清晰和模糊的細(xì)節(jié)。

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輪廓儀在集成電路的應(yīng)用封磚Bump測量視場:72*96(um)物鏡:干涉50X檢測位置:樣品局部面減薄表面粗糙度分析封裝:300mm硅片背面減薄表面粗糙度分析面粗糙度分析:2D,3D顯示;線粗糙度分析:Ra,Ry,Rz,…器件多層結(jié)構(gòu)臺階高M(jìn)EMS器件多層結(jié)構(gòu)分析、工藝控制參數(shù)分析激光隱形切割工藝控制世界為一的能夠?qū)崿F(xiàn)激光槽寬度、深度自動識別和數(shù)據(jù)自動生成,大達(dá)地縮短了激光槽工藝在線檢測的時間,為了避免人工操作帶來的一致性,可靠性問題歡迎咨詢。

1.3.培訓(xùn)計劃在完成系統(tǒng)布線并開始設(shè)備安裝后,即向甲方和業(yè)主介紹整個系統(tǒng)的概況及性能、特點(diǎn)、設(shè)備布置情況和相互之間的關(guān)系等,讓甲方和業(yè)主對整個系統(tǒng)有一個權(quán)面的認(rèn)識。在整個系統(tǒng)驗(yàn)收前后,安排有關(guān)人員在進(jìn)行培訓(xùn)。1.4.培訓(xùn)形式公司指派技術(shù)人員向相關(guān)人員講解系統(tǒng)的原理、功能、操作及維修保養(yǎng)要點(diǎn);向受訓(xùn)學(xué)員提供和解釋有關(guān)設(shè)計文件及圖紙等資料,使學(xué)員對系統(tǒng)的各個方面都能熟練掌握;針對系統(tǒng)的具體操作一一指導(dǎo),使相關(guān)人員掌握技術(shù)要領(lǐng);對學(xué)員提出的問題進(jìn)行詳細(xì)解答;由于光罩中電路結(jié)構(gòu)尺寸極小,任何微小的黏附異物和下次均會導(dǎo)致制造的晶圓IC表面存在缺 陷。

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NanoX-2000/3000系列3D光學(xué)干涉輪廓儀建立在移相干涉測量(PSI)、白光垂直掃描干涉測量(VSI)和單色光垂直掃描干涉測量(CSI)等技術(shù)的基礎(chǔ)上,以其納米級測量準(zhǔn)確度和重復(fù)性(穩(wěn)定性)定量地反映出被測件的表面粗糙度、表面輪廓、臺階高度、關(guān)鍵部位的尺寸及其形貌特征等。廣泛應(yīng)用于集成電路制造、MEMS、航空航天、精密加工、表面工程技術(shù)、材料、太陽能電池技術(shù)等領(lǐng)域。使用范圍廣:兼容多種測量和觀察需求保護(hù)性:非接觸式光學(xué)輪廓儀耐用性更強(qiáng),使用無損可操作性:一鍵式操作,操作更簡單,更方便支持連接MES系統(tǒng),數(shù)據(jù)可導(dǎo)入SPC。晶片輪廓儀可以免稅嗎

三維表面輪廓儀是精密加工領(lǐng)域必不可少的檢測設(shè)備,它既保障了生產(chǎn)加工的準(zhǔn)確性,又提高了成品的出產(chǎn)效率。研究所輪廓儀摩擦學(xué)應(yīng)用

輪廓儀、粗糙度儀、三坐標(biāo)的區(qū)別:關(guān)于輪廓儀和粗糙度儀輪廓儀與粗糙度儀不是同一種產(chǎn)品,輪廓儀主要功能是測量零件表面的輪廓形狀,比如:汽車零件中的溝槽的槽深、槽寬、倒角(包括倒角位置、倒角尺寸、角度等),圓柱表面素線的直線度等參數(shù)。總之,輪廓儀反映的是零件的宏觀輪廓。粗糙度儀的功能是測量零件表面的磨加工/精車加工工序的表面加工質(zhì)量,通俗地講,就是零件表面加工得光不光(粗糙度老國標(biāo)叫光潔度),即粗糙度反映的是零件加工表面的微觀情況。但是,輪廓儀和粗糙度儀關(guān)系其實(shí)挺密切,現(xiàn)在有一種儀器叫做粗糙度輪廓測量一體機(jī),就是在輪廓儀上加裝了粗糙度測量模塊,這樣既可以測量輪廓尺寸,又可以測量粗糙度,市場上典型產(chǎn)品就是中圖儀器的SJ5701粗糙度輪廓儀。在結(jié)構(gòu)上,輪廓儀基本上都是臺式的,而粗糙度儀以手持式的居多,當(dāng)然也有臺式的。研究所輪廓儀摩擦學(xué)應(yīng)用

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