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白光干涉儀隔振臺電子太平防震臺應(yīng)用

來源: 發(fā)布時間:2023-07-31

AVI200-MAVI200-M的隔離始于1,2Hz,超過10HZ以上迅速增加至35db減少低頻諧振可得到比普通的被動空氣阻尼系統(tǒng)更好的性能AVI200-M系統(tǒng)固有的剛性賦予其出色的方向性和位置穩(wěn)定性AVI200-M的出色性能包括所有六個方向水平和垂直振動模式AVI200-M隔振模塊不需要任何大型工具即可安裝。我們努力提供一種簡單,友好的概念-避免在安裝出現(xiàn)中比較復(fù)雜的過程技術(shù)指標(biāo):頻率:1,2-200Hz負(fù)載范圍:0-400公斤(單個):200公斤如果想要了解更多信息請聯(lián)系我們岱美儀器。AVI 的隔振性能在負(fù)載低于 30Hz 以下時是一個重要的參照。白光干涉儀隔振臺電子太平防震臺應(yīng)用

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1.更換SEM側(cè)面板(如有必要)。檢查隔離系統(tǒng)和SEM的所有電纜是否松動連接。檢查并確保沒有將SEM耦合到地面或其他振動源。2.將電源線插入控制器背面。翻轉(zhuǎn)前面板上的“ON”開關(guān)。按紅色按鈕啟用活動隔離。3.幾秒鐘后,使能LED指示燈將變穩(wěn)定,指示系統(tǒng)已正確隔離。輕輕敲擊SEM時,控制器上的紅燈應(yīng)短暫點(diǎn)亮然后熄滅。4.如果一個或多個指示燈持續(xù)亮起,或者在正常情況下指示燈不熄滅,或者如果點(diǎn)擊不亮,則表明傳感器過載。請仔細(xì)檢查以下內(nèi)容:沒有任何東西觸及模塊,連接模塊和SEM的所有電纜均松弛,并且已針對負(fù)載適當(dāng)調(diào)整了模塊。AVI-200SLP隔振臺現(xiàn)場服務(wù)TS-140結(jié)合了久經(jīng)考驗的技術(shù)卓悅性與優(yōu)雅且對用戶友好的設(shè)計。

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5、模塊將放置在腳輪板下。將AVI模塊滑到后傾角板下,使模塊從一側(cè)到另一側(cè)(而不是從前到后)橫跨立柱底面。將它們盡量放在外側(cè),不要碰到腿的側(cè)壁。如果您安裝的是EVO、Supra25–55、Ultra55或Neon40,則每個隔離模塊的寬度為7.5英寸。在這種情況下,每個模塊上的電纜端口應(yīng)朝內(nèi),相互朝向。如果您安裝的是Supra60/VP、Ultra60或PLUS、Neon60或NVision40,則每個隔離模塊的寬度為11.3英寸。在這種情況下,每個模塊上的電纜端口應(yīng)朝外,彼此遠(yuǎn)離。6、再次在AVI模塊頂部滑動第二個安裝板,前后各27.5英寸,兩側(cè)各27英寸,在掃描電鏡腳輪板下方居中。重新連接時,確保AVI模塊和安裝板都不會與掃描電鏡側(cè)板接觸。確保AVI模塊和安裝板都不與前端或后端的掃描電鏡支架接觸。7、系統(tǒng)就位后,使用掃描電鏡水平尺降低掃描電鏡,直到其落在安裝板上。抬起水平尺,直到它們向上并離開。

LFS-3傳感器在三個軸上測量水平和垂直加速度,頻率約為0.2Hz。該傳感器直接放置在地板上,與標(biāo)準(zhǔn)AVI/LP系統(tǒng)結(jié)合使用在前饋回路中,以提高極低頻時的隔振性能。LFS-3可以被復(fù)裝到現(xiàn)有的AVI/LP系統(tǒng)中。下面的圖顯示了在AVI/LP系統(tǒng)上測量的垂直和水平隔離(可傳輸性),其具有和不具有LFS。用AVI-200S/LP進(jìn)行測量,增益設(shè)置為128(V)和150(H)。輸入電壓:115/230VAC,50-60Hz功耗:蕞大20瓦頻率范圍:0.2-20Hz尺寸傳感器:255x245x107mm(長x寬x高)電源尺寸:265x155x73mm(長x寬x高)重量傳感器:5.9kg供電重量:1.6kg應(yīng)用:室內(nèi)防護(hù)等級:IP20溫度范圍:5°C-40°C相對濕度:10–90%(5–30°C)TS-140的隔離始于0.7 Hz,超過10Hz時迅速增加至40db。

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水平X軸方向上的振動傳遞衰減,在承重時10hz的頻率以上時,蕞大可以達(dá)到-40dB的衰減。隔振效率可以達(dá)到99%以上的效果。10Hz以上的頻率正常情況下是30dB到40dB的衰減。水平Y(jié)軸方向上的振動傳遞衰減,在承重時10hz的頻率以上時,蕞大可以達(dá)到-40dB的衰減。隔振效率可以達(dá)到99%以上的效果。10Hz以上的頻率正常情況下是30dB到40dB的衰減。AVI系列產(chǎn)品在振動加速度上的隔振效果。如果想要了解更多信息請聯(lián)系我們岱美儀器。或者訪問我們的官網(wǎng)。AVI 200-M的基本配置包括兩個單個承載模塊和一個控制的單元,蕞大可以負(fù)載400公斤。減震臺隔振臺保修期多久

在過去的40年,HERZ發(fā)展成為被動式隔振設(shè)備的領(lǐng)頭供應(yīng)商 ,并在此領(lǐng)域積累了豐富的經(jīng)驗。白光干涉儀隔振臺電子太平防震臺應(yīng)用

LFS-2傳感器測量兩個軸的水平加速度,直至頻率為約0.2Hz傳感器直接放置在地板上,并用于前饋回路中與標(biāo)準(zhǔn)AVI/LP系統(tǒng)結(jié)合使用,可在非常低的情況下提高隔振效果頻率。LFS-2可以改裝為現(xiàn)有的AVI-LP系統(tǒng)。下表顯示了在AVI/LP上測得的水平隔離度(透射率)有和沒有LFS的系統(tǒng)。將傳感器連接到AVI/系統(tǒng)?傳感器LFS-2具有單獨(dú)的電源,該電源通過D-Sub25插座連接到LFS-2控制單元。用D-Sub25將電源連接到傳感器電纜。每個AVI元素必須連接到背面的D-Sub15插座之一傳感器的LFS的實(shí)際位置并不重要,但必須放置它在支持AVI單元的同一表面上。將AVI單元的上部D-Sub15插座連接到傳感器。白光干涉儀隔振臺電子太平防震臺應(yīng)用

岱美儀器技術(shù)服務(wù)(上海)有限公司是以提供半導(dǎo)體工藝設(shè)備,半導(dǎo)體測量設(shè)備,光刻機(jī) 鍵合機(jī),膜厚測量儀內(nèi)的多項綜合服務(wù),為消費(fèi)者多方位提供半導(dǎo)體工藝設(shè)備,半導(dǎo)體測量設(shè)備,光刻機(jī) 鍵合機(jī),膜厚測量儀,公司位于金高路2216弄35號6幢306-308室,成立于2002-02-07,迄今已經(jīng)成長為儀器儀表行業(yè)內(nèi)同類型企業(yè)的佼佼者。公司主要提供磁記錄、半導(dǎo)體、光通訊生產(chǎn)及測試儀器的批發(fā)、進(jìn)出口、傭金代理(拍賣除外)及其相關(guān)配套服務(wù),國際貿(mào)易、轉(zhuǎn)口貿(mào)易,商務(wù)信息咨詢服務(wù) 等領(lǐng)域內(nèi)的業(yè)務(wù),產(chǎn)品滿意,服務(wù)可高,能夠滿足多方位人群或公司的需要。產(chǎn)品已銷往多個國家和地區(qū),被國內(nèi)外眾多企業(yè)和客戶所認(rèn)可。