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瑞士隔振臺(tái)電子顯微鏡ATM

來(lái)源: 發(fā)布時(shí)間:2023-08-03

我們是岱美儀器。岱美拿到采購(gòu)HERZAN公司隔振臺(tái)的訂單,客戶是某杰出電腦硬盤(pán)盤(pán)基片制造商,此高性能的防震臺(tái)有助于FIB公司推出的Nova600獲得更好的分辨率。訂單于2008年九月完成。此高性能的防震臺(tái)由世界杰出的防震專業(yè)廠家HEZAN公司提供。AVI系列的防震臺(tái)設(shè)計(jì)于結(jié)構(gòu)緊湊,模塊化的系統(tǒng)。它是理想的可以加裝或整合到一個(gè)你已有的儀器設(shè)備系統(tǒng)以獲得更好性能,它還可以提供在一定大小的范圍內(nèi)和增加額外的模塊用來(lái)支持你想得到即使是蕞大的負(fù)荷。主動(dòng)隔振范圍從1Hz到200Hz,被動(dòng)隔振超過(guò)200Hz,廣泛應(yīng)用于光刻類儀器、光譜分析類儀器、高精密測(cè)量系統(tǒng)、超高真空掃描探針顯微和電鏡及透射電子顯微鏡等系統(tǒng)。AVI系列可以在非常寬的頻率范圍內(nèi)為激光干涉計(jì)、微檢測(cè)設(shè)備等提供極好的隔振效果。瑞士隔振臺(tái)電子顯微鏡ATM

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隔振臺(tái)TS-140+40的技術(shù)指標(biāo):頻率負(fù)載范圍尺寸:0,7-1000Hz50-180公斤500x600x84毫米隔離:動(dòng)態(tài)(超過(guò)1kHz)傳遞率:參見(jiàn)附件曲線10Hz以上的透射率<(-40dB)矯正力:垂直+/-8N水平+/-4N靜態(tài)合規(guī)性:垂直約12μm/N水平30-40μm/N最大負(fù)載:50-180公斤尺寸:500x600x84毫米重量:在公制(M6x25mm)或非公制網(wǎng)格上鉆孔的頂板可將各種設(shè)備安裝在隔離的桌面上。如果您有任何需要了解的,請(qǐng)隨時(shí)聯(lián)系我們岱美儀器技術(shù)服務(wù)有限公司。記得訪問(wèn)官網(wǎng)。隔振臺(tái)摩擦學(xué)應(yīng)用Table Stable通過(guò)在發(fā)展主動(dòng)隔振系統(tǒng)的同時(shí)補(bǔ)充了被動(dòng)系統(tǒng)。

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TS特點(diǎn):◎在全部的6個(gè)自由度范圍內(nèi),從0.7Hz到100Hz,TS系列產(chǎn)品提供優(yōu)良的主動(dòng)隔振性能?!虍?dāng)儀器裝載時(shí),高度調(diào)整會(huì)自動(dòng)進(jìn)行?!蚣词巩?dāng)負(fù)載偏離中心時(shí),自動(dòng)調(diào)平功能也能保持水準(zhǔn)。當(dāng)高重心的儀器被加載時(shí),給予穩(wěn)定性?!蛲ㄟ^(guò)按下前方的按鈕,系統(tǒng)可以鎖定或者解鎖。鎖定功能可以防止在系統(tǒng)重新加載或傳輸中發(fā)生損壞。◎前方的顯示屏展示了在X,Y和Z方向的實(shí)際振動(dòng)水平?!蛑鲃?dòng)隔振也可以通過(guò)使用可選的遠(yuǎn)程控制箱來(lái)從外部啟用或禁用

LFS控制單元上的每個(gè)D-Sub15插座都有4個(gè)對(duì)應(yīng)于AVI元件的開(kāi)關(guān)輸出,這些AVI元件以任意4個(gè)矩形方向(即平行或直角)放置,不允許其他方向。面向LFS傳感器的藍(lán)色LED直立。將弟一個(gè)AVI元件連接到后面板上的12個(gè)D-Sub15插座中的任何一個(gè)。使用筆在位置A和D之間滑動(dòng)開(kāi)關(guān)。傳感器的位置:傳感器可以移動(dòng)到任何所需位置。它可能位于負(fù)載下方或外部,但必須位于支持AVI元件的同一表面上。連接后,傳感器與AVI單元的方向必須保持不變。支承面剛度:支承面的剛度很重要。水平傳感器無(wú)法區(qū)分水平加速度和傾斜。因此,LFS和AVI元件所在的支承面必須盡可能堅(jiān)硬,以便在附近移動(dòng)時(shí)不會(huì)明顯傾斜。傾斜將導(dǎo)致傳感器輸出飽和,隔離將失效。安置好后只需簡(jiǎn)單地調(diào)節(jié)彈簧即可使用。

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AVI-600/LP的每個(gè)單元均可調(diào)節(jié),以適應(yīng)0至600kg的負(fù)載。對(duì)于任何設(shè)置由兩個(gè)單元組成的系統(tǒng)上的負(fù)載,可在+/-90kg之間變化,而不必重設(shè)調(diào)整。手次操作系統(tǒng)時(shí),請(qǐng)將前面板隔離開(kāi)關(guān)設(shè)置為OFF(黑色旋出)。接通電源。電源指示燈現(xiàn)在將點(diǎn)亮,并且24個(gè)顯示LED將短暫閃爍。黃色的使能LED將以大約2Hz的頻率閃爍。如果劇烈震動(dòng)存在或如果您將手放在桌面上,則某些或所有LED將閃爍。接通電源約30秒后,您可以將隔離開(kāi)關(guān)推到ON位置(紅色旋鈕進(jìn)入)。黃色LED現(xiàn)在將勇久保持亮起,表明系統(tǒng)處于隔離。手次使用AVI系統(tǒng)時(shí),將前面板隔離開(kāi)關(guān)設(shè)置為關(guān)閉(黑色旋鈕熄滅)。TS-300/LP隔振臺(tái)高性價(jià)比選擇

LFS-3傳感器在三個(gè)軸上測(cè)量水平和垂直加速度,頻率約為0.2Hz。瑞士隔振臺(tái)電子顯微鏡ATM

TS-150支撐面測(cè)試:盡管這些系統(tǒng)幾乎可以在任何支撐面上運(yùn)行,但采用軟支撐結(jié)構(gòu)共振放大某些建筑物的振動(dòng)頻率,因此這些振動(dòng)頻率會(huì)降低隔離的。您可以通過(guò)觀察診斷信號(hào)來(lái)了解支持結(jié)構(gòu)的適用性同時(shí)推動(dòng)支持。此測(cè)試應(yīng)禁用隔離。如果支撐是剛性的信號(hào)幾乎不應(yīng)響應(yīng)任何方向?qū)χ蔚耐苿?dòng)。現(xiàn)在嘗試點(diǎn)擊支持激發(fā)其內(nèi)部共鳴。通常,支架會(huì)對(duì)水平隆頭產(chǎn)生更強(qiáng)烈的反應(yīng)而不是垂直的。一個(gè)非常共振的支撐將顯示長(zhǎng)壽命的共振,并且隔離將在這些頻率上受到嚴(yán)重影響。更好的支撐將顯示出良好的阻尼共振。瑞士隔振臺(tái)電子顯微鏡ATM

岱美儀器技術(shù)服務(wù)(上海)有限公司成立于2002-02-07,位于金高路2216弄35號(hào)6幢306-308室,公司自成立以來(lái)通過(guò)規(guī)范化運(yùn)營(yíng)和高質(zhì)量服務(wù),贏得了客戶及社會(huì)的一致認(rèn)可和好評(píng)。本公司主要從事半導(dǎo)體工藝設(shè)備,半導(dǎo)體測(cè)量設(shè)備,光刻機(jī) 鍵合機(jī),膜厚測(cè)量?jī)x領(lǐng)域內(nèi)的半導(dǎo)體工藝設(shè)備,半導(dǎo)體測(cè)量設(shè)備,光刻機(jī) 鍵合機(jī),膜厚測(cè)量?jī)x等產(chǎn)品的研究開(kāi)發(fā)。擁有一支研發(fā)能力強(qiáng)、成果豐碩的技術(shù)隊(duì)伍。公司先后與行業(yè)上游與下游企業(yè)建立了長(zhǎng)期合作的關(guān)系。EVG,Filmetrics,MicroSense,Herz,Film Sense,Polyteknik,4D,Nanotronics,Subnano,Bruker,FSM,SHB,ThetaMetrisi集中了一批經(jīng)驗(yàn)豐富的技術(shù)及管理專業(yè)人才,能為客戶提供良好的售前、售中及售后服務(wù),并能根據(jù)用戶需求,定制產(chǎn)品和配套整體解決方案。岱美儀器技術(shù)服務(wù)(上海)有限公司以先進(jìn)工藝為基礎(chǔ)、以產(chǎn)品質(zhì)量為根本、以技術(shù)創(chuàng)新為動(dòng)力,開(kāi)發(fā)并推出多項(xiàng)具有競(jìng)爭(zhēng)力的半導(dǎo)體工藝設(shè)備,半導(dǎo)體測(cè)量設(shè)備,光刻機(jī) 鍵合機(jī),膜厚測(cè)量?jī)x產(chǎn)品,確保了在半導(dǎo)體工藝設(shè)備,半導(dǎo)體測(cè)量設(shè)備,光刻機(jī) 鍵合機(jī),膜厚測(cè)量?jī)x市場(chǎng)的優(yōu)勢(shì)。