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白光干涉輪廓儀推薦產(chǎn)品

來源: 發(fā)布時間:2023-08-11

    輪廓儀的物鏡知多少?白光干涉輪廓儀是基于白光干涉原理,以三維非接觸時方法測量分析樣片表面形貌的關鍵參數(shù)和尺寸,典型結果包括:表面形貌(粗糙度,平面度,平行度,臺階高度,錐角等)幾何特征(關鍵孔徑尺寸,曲率半徑,特征區(qū)域的面積和集體,特征圖形的位置和數(shù)量等)白光干涉系統(tǒng)基于無限遠顯微鏡系統(tǒng),通過干涉物鏡產(chǎn)生干涉條紋,使基本的光學顯微鏡系統(tǒng)變?yōu)榘坠飧缮鎯x。因此物鏡是輪廓儀*重要部件,物鏡的選擇根據(jù)功能和檢測的精度提出需求,為了滿足各種精度的需求,需要提供各種物鏡,例如標配的10×,還有×,5×,20×,50×,100×,可選。不同的鏡頭價格有很大的差別,因此需要量力根據(jù)需求選配對應的鏡頭哦。 200到400個共焦圖像通常在幾秒內(nèi)被捕獲,之后軟件從共焦圖像的堆棧重建精確的三維高度圖像。白光干涉輪廓儀推薦產(chǎn)品

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NanoX-系列輪廓儀代表性客戶?集成電路相關產(chǎn)業(yè)–集成電路先進封裝和材料:華天科技,通富微電子,江蘇納佩斯半導體,華潤安盛等?MEMS相關產(chǎn)業(yè)–中科院蘇州納米所,中科電子46所,華東光電集成器件等?高效太陽能電池相關產(chǎn)業(yè)–常州億晶光電,中國臺灣速位科技、山東衡力新能源等?微電子、FPD、PCB等產(chǎn)業(yè)–三星電機、京東方、深圳夏瑞科技等具備Globalalignment&Unitalignment自動聚焦范圍:±0.3mmXY運動速度**快如果有什么問題,請聯(lián)系我們白光干涉輪廓儀推薦產(chǎn)品物鏡是輪廓儀蕞和新的部件, 物鏡的選擇根據(jù)功能和檢測的精度提出需求。

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輪廓儀對所測樣品的尺寸有何要求?答:輪廓儀對載物臺xy行程為140*110mm(可擴展),Z向測量范圍蕞大可達10mm,但由于白光干涉儀單次測量區(qū)域比較?。ㄒ?0X鏡頭為例,在1mm左右),因而在測量大尺寸的樣品時,全檢的方式需要進行拼接測量,檢測效率會比較低,建議尋找樣品表面的特征位置或抽取若干區(qū)域進行抽點檢測,以單點或多點反映整個面的粗糙度參數(shù);4.測量的蕞小尺寸是否可以達到12mm,或者能夠測到更小的尺寸?如果需要了解更多,還請訪問岱美儀器的官網(wǎng)。

輪廓儀,能描繪工件表面波度與粗糙度,并給出其數(shù)值的儀器,采用精密氣浮導軌為直線基準。輪廓測試儀是對物體的輪廓、二維尺寸、二維位移進行測試與檢驗的儀器,作為精密測量儀器,在汽車制造和鐵路行業(yè)的應用十分廣范。(來自網(wǎng)絡)先進的輪廓儀集成模塊60年世界水平半導體檢測技術研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化經(jīng)驗所有的關鍵硬件采用美國、德國、日本等PI,納米移動平臺及控制Nikon,干涉物鏡NI,信號控制板和Labview64控制軟件TMC隔震平臺世界先進水平的計算機軟硬件技術平臺VS2012/64位,.NET/C#/WPFIntelXeon計算機擯棄傳統(tǒng)檢測方法耗時耗力,精確度低的缺點,大達提高加工效率。

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蕞大視場Thefilm3D以10倍物鏡優(yōu)異地提供更寛廣的2毫米視野,其數(shù)位變焦功能有助于緩解不同應用時切換多個物鏡的需要,更進一步減少總體成本。手動式物鏡轉(zhuǎn)盤能一次搭載四組物鏡,能滿足需要多種倍率物鏡交替使用的測量應用。索取技術資料索取報價性能規(guī)格厚度范圍,WSI50nm-10mm厚度范圍,PSI0-3μm樣品反射率範圍-100 %電腦要求機械規(guī)格Z范圍100mmPiezo(壓電)范圍500μmXY平臺類型手動或自動XY平臺范圍100mmx100mm相機2592x1944(5百萬像素)系統(tǒng)尺寸,寬x深x高300mmx300mmx550mm系統(tǒng)重量15kg物鏡1(NikonCFICEpiPlan)放大倍率5X10X20X50X100X視場xmmxmmxmmxmmxmm采樣空間2μmμmμmμmμm1分別出售2樣本上之像素大小常見的選購配件:urionNano30主動式防震臺4微米,2微米,和100納米多臺階高度標準。光學系統(tǒng):同軸照明無限遠干涉成像系統(tǒng)。干涉測量輪廓儀用途是什么

我們的表面三位微觀形貌的此類昂方法非常豐富,通??煞譃榻佑|時和非接觸時兩種,以非接觸式測量方法為主。白光干涉輪廓儀推薦產(chǎn)品

輪廓儀白光干涉的創(chuàng)始人:邁爾爾遜1852-1931美國物理學家曾從事光速的精密測量工作邁克爾遜首倡用光波波長作為長度基準。1881年,他發(fā)明了一種用以測量微小長度,折射率和光波波長的干涉儀,邁克爾遜干涉儀。他和美國物理學家莫雷合作,進行了注明的邁克爾遜-莫雷實驗,否定了以太de存在,為愛因斯坦建立狹義相對論奠定了基礎。由于創(chuàng)制了精密的光學儀器和利用這些儀器所完成光譜學和基本度量學研究,邁克爾遜于1907年獲得諾貝爾物理學獎。白光干涉輪廓儀推薦產(chǎn)品

岱美儀器技術服務(上海)有限公司是一家集研發(fā)、生產(chǎn)、咨詢、規(guī)劃、銷售、服務于一體的貿(mào)易型企業(yè)。公司成立于2002-02-07,多年來在半導體工藝設備,半導體測量設備,光刻機 鍵合機,膜厚測量儀行業(yè)形成了成熟、可靠的研發(fā)、生產(chǎn)體系。EVG,Filmetrics,MicroSense,Herz,Film Sense,Polyteknik,4D,Nanotronics,Subnano,Bruker,FSM,SHB,ThetaMetrisi目前推出了半導體工藝設備,半導體測量設備,光刻機 鍵合機,膜厚測量儀等多款產(chǎn)品,已經(jīng)和行業(yè)內(nèi)多家企業(yè)建立合作伙伴關系,目前產(chǎn)品已經(jīng)應用于多個領域。我們堅持技術創(chuàng)新,把握市場關鍵需求,以重心技術能力,助力儀器儀表發(fā)展。EVG,Filmetrics,MicroSense,Herz,Film Sense,Polyteknik,4D,Nanotronics,Subnano,Bruker,FSM,SHB,ThetaMetrisi為用戶提供真誠、貼心的售前、售后服務,產(chǎn)品價格實惠。公司秉承為社會做貢獻、為用戶做服務的經(jīng)營理念,致力向社會和用戶提供滿意的產(chǎn)品和服務。岱美儀器技術服務(上海)有限公司注重以人為本、團隊合作的企業(yè)文化,通過保證半導體工藝設備,半導體測量設備,光刻機 鍵合機,膜厚測量儀產(chǎn)品質(zhì)量合格,以誠信經(jīng)營、用戶至上、價格合理來服務客戶。建立一切以客戶需求為前提的工作目標,真誠歡迎新老客戶前來洽談業(yè)務。