1、使用2mm內(nèi)六角扳手（包括在內(nèi)）拆下模塊端板。2、根據(jù)掃描電鏡的重量調(diào)整模塊。在每個(gè)中心柱上的橫梁上方和下方應(yīng)該有一個(gè)間隙，允許每側(cè)大約有2mm的行程。B、使用M6活動(dòng)扳手（包括）轉(zhuǎn)動(dòng)位于支撐彈簧頂部的調(diào)整螺母。向右轉(zhuǎn)動(dòng)扳手可降低模塊并增加上部間隙（在中間止動(dòng)螺母和橫撐之間）。向左轉(zhuǎn)動(dòng)扳手可升高模塊并減小上部間隙。C、計(jì)算每個(gè)螺母的圈數(shù)；盡可能均勻地調(diào)整所有螺母。并非所有中心柱上的間隙都完全相同。D、不要轉(zhuǎn)動(dòng)螺母太遠(yuǎn)，否則可能損壞系統(tǒng)。在任何情況下，外露螺紋不得超過10mm3.裝回模塊上的端板AVI 的隔振性能在負(fù)載低于 30Hz 以下時(shí)是一個(gè)重要的參照。AVI-400MLP隔振臺(tái)應(yīng)用

AVI600-MAVI600-M的基本配置包括兩個(gè)緊湊型單元和一個(gè)控制單元，最大負(fù)載為800公斤。通過增加緊湊型單元的數(shù)量，可以輕松實(shí)現(xiàn)對(duì)更高負(fù)載的支持。為了使AVI600-S適應(yīng)用戶特定的應(yīng)用，可以使用不同長度的緊湊型裝置。AVI600-M的隔離始于1,2Hz，超過10HZ以上迅速增加至35db減少低頻諧振可得到比普通的被動(dòng)空氣阻尼系統(tǒng)更好的性能AVI600-M系統(tǒng)固有的剛性賦予其出色的方向性和位置穩(wěn)定性AVI600-M的出色性能包括所有六個(gè)方向水平和垂直振動(dòng)模式AVI600-M緊湊型設(shè)備不需要任何大型安裝工具。我們努力提供一種簡單，友好的處理概念-從而避免在設(shè)備上放置沉重的設(shè)備（例如SEM）時(shí)進(jìn)行任何復(fù)雜的操作。技術(shù)指標(biāo)：頻率：1.2-200Hz負(fù)載范圍：0-1200公斤（單件）：600公斤山東隔振臺(tái)測樣先進(jìn)的主動(dòng)式隔振系統(tǒng)“TS 系列” 將成為21世紀(jì)納米技術(shù)的隔振技術(shù)基礎(chǔ)。

傳感器LFS-3有一個(gè)單獨(dú)的電源，通過D-Sub25插座連接到LFS-3控制單元。用D-Sub25電纜將電源連接到傳感器。每個(gè)單獨(dú)的AVI元件必須連接到傳感器后部的D-Sub15插座之一。LFS的實(shí)際位置并不重要，但它當(dāng)然必須放置在支持AVI單元的同一表面上。將AVI單元的上D-Sub15插座（診斷插座）連接到傳感器設(shè)置并將電源連接到傳感器后，系統(tǒng)即可使用。按下電源上的電源旋鈕，打開電源。綠色的LED將亮起。紅色的發(fā)光二極管開始閃爍，這意味著存在一些振動(dòng)?，F(xiàn)在您可以通過按下啟用按鈕來啟用系統(tǒng)。紅色的發(fā)光二極管不應(yīng)該再亮了。如果它們亮了，那意味著系統(tǒng)超載，建筑物內(nèi)的振動(dòng)太嚴(yán)重。

TS-300結(jié)合了久經(jīng)考驗(yàn)的技術(shù)特點(diǎn)和優(yōu)雅且用戶友好的設(shè)計(jì)TS-300的隔離始于0.7Hz，超過10Hz時(shí)迅速增加至40dB缺少低頻諧振意味著比大多數(shù)常見的被動(dòng)空氣阻尼方法要好得多TS系統(tǒng)的固有剛度賦予其出色的方向和位置穩(wěn)定性TS-300的出色性能包括所有水平和垂直共計(jì)六個(gè)方向的震動(dòng)隔離模式精確的自動(dòng)高度調(diào)節(jié)機(jī)制即使在負(fù)載發(fā)生重大變化后也能將頂板穩(wěn)定在蕞佳工作水平遙控器允許在外部將隔離開關(guān)“打開”和“關(guān)閉”如果想要了解更多信息請(qǐng)聯(lián)系我們岱美儀器。AVI 200-M的基本配置包括兩個(gè)單個(gè)承載模塊和一個(gè)控制的單元，蕞大可以負(fù)載400公斤。

AVI-600系列（負(fù)載：1200kg）型號(hào)：AVI-600SLP，AVI-600MLP，AVI-600XLP形狀：控制器與防振單元分離型主動(dòng)控制范圍：被動(dòng)隔振范圍200Hz以上確認(rèn)防振狀態(tài)：使用控制器背面的BNC連接器，外部連接，前面的8個(gè)LED指示防振狀態(tài)單位尺寸：288×396×288×720×318×856×控制器尺寸；448x286x143毫米承重：1200kg（相等）單位重量：約20kg，約26kg，聯(lián)絡(luò)我們電源電壓：95-240VAC，50-60赫茲耗電量：正常27W工作溫度范圍：5℃?40℃工作濕度范圍：10?90％（5?30℃）?10?60％（30?40℃）可選零件（1）裝載板，石板，鑄鐵板*另行咨詢。選裝（2）高剛性支架或高阻尼高剛性支架*單獨(dú)咨詢選擇隔振臺(tái)選擇岱美儀器。山東隔振臺(tái)測樣

LFS-3傳感器在三個(gè)軸上測量水平和垂直加速度，頻率約為0.2Hz。AVI-400MLP隔振臺(tái)應(yīng)用

AVI-產(chǎn)品參數(shù)：AVI-200系列（負(fù)載：蕞多800kg）型號(hào)：AVI-200SLP，AVI-200MLP，AVI-200XLP系統(tǒng)形狀：控制器與防振單元分離型主動(dòng)控制范圍：被動(dòng)隔振范圍200Hz以上確認(rèn)防振狀態(tài)：使用控制器背面的BNC連接器，外部連接前面的8個(gè)LED指示防振狀態(tài)尺寸：120×396×130×636×130×856×控制器尺寸：241×287×142毫米承重：400kg單位重量：約9kg聯(lián)絡(luò)我們電源電壓：95-240VAC50-60赫茲耗電量：普通9W工作溫度范圍：5℃?40℃工作濕度范圍：10?90％（5?30℃）?10?60％（30?40℃）可選零件（1）裝載板，石板，鑄鐵板*另行咨詢選裝（2）高剛性支架或高阻尼高剛性支架*單獨(dú)咨詢。AVI-400MLP隔振臺(tái)應(yīng)用

岱美儀器技術(shù)服務(wù)（上海）有限公司是一家集生產(chǎn)科研、加工、銷售為一體的****，公司成立于2002-02-07，位于金高路2216弄35號(hào)6幢306-308室。公司誠實(shí)守信，真誠為客戶提供服務(wù)。公司現(xiàn)在主要提供半導(dǎo)體工藝設(shè)備，半導(dǎo)體測量設(shè)備，光刻機(jī) 鍵合機(jī)，膜厚測量儀等業(yè)務(wù)，從業(yè)人員均有半導(dǎo)體工藝設(shè)備，半導(dǎo)體測量設(shè)備，光刻機(jī) 鍵合機(jī)，膜厚測量儀行內(nèi)多年經(jīng)驗(yàn)。公司員工技術(shù)嫻熟、責(zé)任心強(qiáng)。公司秉承客戶是上帝的原則，急客戶所急，想客戶所想，熱情服務(wù)。公司與行業(yè)上下游之間建立了長久親密的合作關(guān)系，確保半導(dǎo)體工藝設(shè)備，半導(dǎo)體測量設(shè)備，光刻機(jī) 鍵合機(jī)，膜厚測量儀在技術(shù)上與行業(yè)內(nèi)保持同步。產(chǎn)品質(zhì)量按照行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行研發(fā)生產(chǎn)，絕不因價(jià)格而放棄質(zhì)量和聲譽(yù)。岱美儀器技術(shù)服務(wù)（上海）有限公司依托多年來完善的服務(wù)經(jīng)驗(yàn)、良好的服務(wù)隊(duì)伍、完善的服務(wù)網(wǎng)絡(luò)和強(qiáng)大的合作伙伴，目前已經(jīng)得到儀器儀表行業(yè)內(nèi)客戶認(rèn)可和支持，并贏得長期合作伙伴的信賴。