1.更換SEM側(cè)面板（如有必要）。檢查隔離系統(tǒng)和SEM的所有電纜是否松動連接。檢查并確保沒有將SEM耦合到地面或其他振動源。2.將電源線插入控制器背面。翻轉(zhuǎn)前面板上的“ON”開關(guān)。按紅色按鈕啟用活動隔離。3.幾秒鐘后，使能LED指示燈將變穩(wěn)定，指示系統(tǒng)已正確隔離。輕輕敲擊SEM時，控制器上的紅燈應(yīng)短暫點(diǎn)亮然后熄滅。4.如果一個或多個指示燈持續(xù)亮起，或者在正常情況下指示燈不熄滅，或者如果點(diǎn)擊不亮，則表明傳感器過載。請仔細(xì)檢查以下內(nèi)容：沒有任何東西觸及模塊，連接模塊和SEM的所有電纜均松弛，并且已針對負(fù)載適當(dāng)調(diào)整了模塊。AVI系列可以在非常寬的頻率范圍內(nèi)為原子力顯微鏡、非接觸式表面輪廓儀等提供極好的隔振效果。輪廓測量隔振臺推薦產(chǎn)品

使用AVI系統(tǒng)時，系統(tǒng)只能插入單獨(dú)接地的插座。無論是在插座處，還是使用未接地的延長電纜，都不要斷開此接地。如果您懷疑系統(tǒng)以任何方式不安全，請拔下插頭并防止任何可能的意外使用。聯(lián)系蕞近的服務(wù)中心。在打開此設(shè)備之前，請確保它連接到正確的電源電壓。不要取下任何蓋子或讓任何金屬物體進(jìn)入通風(fēng)槽。在取下任何蓋子之前，斷開電源。請向合格人員咨詢服務(wù)。不要在可能報(bào)炸的環(huán)境中使用。保險(xiǎn)絲位于控制單元后側(cè)的電源插座中。未先拔下電源線，不要試圖更換保險(xiǎn)絲。只能更換類型正確的保險(xiǎn)絲。不要試圖繞過保險(xiǎn)絲。確?？刂茊卧械耐L(fēng)縫沒有被覆蓋，并且空氣可以自由循環(huán)。堵塞狹縫可能導(dǎo)致過熱，從而引發(fā)火災(zāi)。對于控制單元和隔離元件之間的連接，瑾使用提供的D-Sub 15電纜（m/f）。輪廓測量隔振臺推薦產(chǎn)品主動防振臺通過電氣控制，向傳入振動瞬間施加反方向的力，從而消除振動。

AVI600-MAVI600-M的基本配置包括兩個緊湊型單元和一個控制單元，最大負(fù)載為800公斤。通過增加緊湊型單元的數(shù)量，可以輕松實(shí)現(xiàn)對更高負(fù)載的支持。為了使AVI600-S適應(yīng)用戶特定的應(yīng)用，可以使用不同長度的緊湊型裝置。AVI600-M的隔離始于1,2Hz，超過10HZ以上迅速增加至35db減少低頻諧振可得到比普通的被動空氣阻尼系統(tǒng)更好的性能AVI600-M系統(tǒng)固有的剛性賦予其出色的方向性和位置穩(wěn)定性AVI600-M的出色性能包括所有六個方向水平和垂直振動模式AVI600-M緊湊型設(shè)備不需要任何大型安裝工具。我們努力提供一種簡單，友好的處理概念-從而避免在設(shè)備上放置沉重的設(shè)備（例如SEM）時進(jìn)行任何復(fù)雜的操作。技術(shù)指標(biāo)：頻率：1.2-200Hz負(fù)載范圍：0-1200公斤（單件）：600公斤

把手輕輕地放在桌面上?？赡軙幸粋€或多個LED亮起，表示過載。了解在不造成過載的情況下可以施加多少力。如果您現(xiàn)在對桌面施加很大的力，所有過載指示燈都將亮起，隔離指示燈將閃爍幾秒鐘，表示系統(tǒng)在過載解除（待機(jī)模式）之前暫時不再隔離。卸下過載后，隔離燈應(yīng)再次亮起，系統(tǒng)開始隔離。一些過載LED可能會亮起并持續(xù)幾秒鐘。即使在這個階段，系統(tǒng)也在隔離，但增益降低。嚴(yán)重過載后，系統(tǒng)可能需要半分鐘才能完全隔離，但通常只需要幾秒鐘。HERZ在被動式隔振系統(tǒng)產(chǎn)品之外，補(bǔ)充了由瑞士Table Stable Ltd.開發(fā)的先進(jìn)主動式隔振系統(tǒng)。

5、模塊將放置在腳輪板下。將AVI模塊滑到后傾角板下，使模塊從一側(cè)到另一側(cè)（而不是從前到后）橫跨立柱底面。將它們盡量放在外側(cè)，不要碰到腿的側(cè)壁。如果您安裝的是EVO、Supra25–55、Ultra55或Neon40，則每個隔離模塊的寬度為7.5英寸。在這種情況下，每個模塊上的電纜端口應(yīng)朝內(nèi)，相互朝向。如果您安裝的是Supra60/VP、Ultra60或PLUS、Neon60或NVision40，則每個隔離模塊的寬度為11.3英寸。在這種情況下，每個模塊上的電纜端口應(yīng)朝外，彼此遠(yuǎn)離。6、再次在AVI模塊頂部滑動第二個安裝板，前后各27.5英寸，兩側(cè)各27英寸，在掃描電鏡腳輪板下方居中。重新連接時，確保AVI模塊和安裝板都不會與掃描電鏡側(cè)板接觸。確保AVI模塊和安裝板都不與前端或后端的掃描電鏡支架接觸。7、系統(tǒng)就位后，使用掃描電鏡水平尺降低掃描電鏡，直到其落在安裝板上。抬起水平尺，直到它們向上并離開。在過去的40年，HERZ發(fā)展成為被動式隔振設(shè)備的領(lǐng)頭供應(yīng)商 ，并在此領(lǐng)域積累了豐富的經(jīng)驗(yàn)。主動防振系統(tǒng)隔振臺電子顯微鏡AEM

TS-140結(jié)合了久經(jīng)考驗(yàn)的技術(shù)卓悅性與優(yōu)雅且對用戶友好的設(shè)計(jì)。輪廓測量隔振臺推薦產(chǎn)品

Herz防震臺/防振臺是世界上蕞知銘的防震臺/防振臺系統(tǒng)方案供應(yīng)商之一。在納米技術(shù)的時代，極之微細(xì)的振動已對搜索結(jié)果造成極大的影響，必須改善測量環(huán)境，以發(fā)揮儀器的極大效能，達(dá)到蕞佳成果。Nanotechnology正在改變，由高層次的研究波及各個行業(yè)的基本生產(chǎn)，要有效地發(fā)展納米技術(shù)，消除振動尤為重要！在過去的40年，HERZ發(fā)展成為被動式隔振設(shè)備的領(lǐng)頭供應(yīng)商，并在此領(lǐng)域積累了豐富的經(jīng)驗(yàn)。與此同時，測量技術(shù)有了很大的進(jìn)步，一些蕞靈敏的設(shè)備會受被動式隔振系統(tǒng)中低頻共振頻率的干擾，只有主動式隔振系統(tǒng)能消除此類干擾。因此，HERZ在被動式隔振系統(tǒng)產(chǎn)品之外，補(bǔ)充了由瑞士TableStableLtd.開發(fā)的先進(jìn)主動式隔振系統(tǒng)。輪廓測量隔振臺推薦產(chǎn)品

岱美儀器技術(shù)服務(wù)（上海）有限公司成立于2002-02-07，同時啟動了以EVG,Filmetrics,MicroSense,Herz,Film Sense,Polyteknik,4D,Nanotronics,Subnano,Bruker,FSM,SHB,ThetaMetrisi為主的半導(dǎo)體工藝設(shè)備，半導(dǎo)體測量設(shè)備，光刻機(jī) 鍵合機(jī)，膜厚測量儀產(chǎn)業(yè)布局。業(yè)務(wù)涵蓋了半導(dǎo)體工藝設(shè)備，半導(dǎo)體測量設(shè)備，光刻機(jī) 鍵合機(jī)，膜厚測量儀等諸多領(lǐng)域，尤其半導(dǎo)體工藝設(shè)備，半導(dǎo)體測量設(shè)備，光刻機(jī) 鍵合機(jī)，膜厚測量儀中具有強(qiáng)勁優(yōu)勢，完成了一大批具特色和時代特征的儀器儀表項(xiàng)目；同時在設(shè)計(jì)原創(chuàng)、科技創(chuàng)新、標(biāo)準(zhǔn)規(guī)范等方面推動行業(yè)發(fā)展。同時，企業(yè)針對用戶，在半導(dǎo)體工藝設(shè)備，半導(dǎo)體測量設(shè)備，光刻機(jī) 鍵合機(jī)，膜厚測量儀等幾大領(lǐng)域，提供更多、更豐富的儀器儀表產(chǎn)品，進(jìn)一步為全國更多單位和企業(yè)提供更具針對性的儀器儀表服務(wù)。值得一提的是，岱美中國致力于為用戶帶去更為定向、專業(yè)的儀器儀表一體化解決方案，在有效降低用戶成本的同時，更能憑借科學(xué)的技術(shù)讓用戶極大限度地挖掘EVG,Filmetrics,MicroSense,Herz,Film Sense,Polyteknik,4D,Nanotronics,Subnano,Bruker,FSM,SHB,ThetaMetrisi的應(yīng)用潛能。