白光干涉輪廓儀對比激光共聚焦輪廓儀白光干涉3D顯微鏡：干涉面成像，多層垂直掃描蕞好高度測量精度：<1nm高度精度不受物鏡影響性價比好。激光共聚焦3D顯微鏡：點掃描合成面成像，多層垂直掃描Keyence（日本）蕞好高度測量精度：～10nm高度精度由物鏡決定，1um精度@10倍90萬-130萬三維光學(xué)輪廓儀采用白光軸向色差原理（性能優(yōu)于白光干涉輪廓儀與激光干涉輪廓儀）對樣品表面進(jìn)行快速、重復(fù)性高、高分辨率的三維測量，測量范圍可從納米級粗糙度到毫米級的表面形貌，臺階高度，給MEMS、半導(dǎo)體材料、太陽能電池、醫(yī)療工程、制藥、生物材料，光學(xué)元件、陶瓷和先進(jìn)材料的研發(fā)和生產(chǎn)提供了一個精確的、價格合理的計量方案。（來自網(wǎng)絡(luò)）通過收集多個點的數(shù)據(jù)，輪廓儀可以生成物體的三維輪廓圖或曲線圖。高靈敏度的實驗設(shè)備輪廓儀實際價格

輪廓儀的和新團(tuán)隊夏勇博士，江蘇省雙創(chuàng)人才15年ADE，KAL-Tencor半導(dǎo)體檢測設(shè)備公司研發(fā)、項目管理經(jīng)驗SuperSightInc.CEO/共同創(chuàng)始人，太陽能在線檢測設(shè)備唐壽鴻博士，國家千人****25年ADE，KAL-Tencor半導(dǎo)體檢測設(shè)備公司研發(fā)經(jīng)驗KLA-Tencor資申研發(fā)總監(jiān)，世界即圖像處理、算法**許衡博士，軟件系統(tǒng)研發(fā)10年硅谷世界500強研發(fā)經(jīng)驗（BDMedicalInstrument）光學(xué)測量、軟件系統(tǒng)岱美儀器與**組為您提供輪廓儀的技術(shù)支持，為您排憂解難。ADE輪廓儀有哪些品牌菜單式系統(tǒng)設(shè)置，一鍵式操作，自動數(shù)據(jù)存儲。

超納輪廓儀的主設(shè)計簡介:中組部第十一批“qian人計劃”特聘磚家，美國KLA-Tencor（集成電路行業(yè)檢測設(shè)備市場的籠頭企業(yè)）資申研發(fā)總監(jiān)，干涉測量技術(shù)磚家美國上市公司ADE-Phaseift的總研發(fā)工程師，創(chuàng)造多項干涉測量數(shù)字化所需的關(guān)鍵算法，在光測領(lǐng)域發(fā)表23個美國專利和35篇學(xué)術(shù)論文3個研發(fā)的產(chǎn)品獲得大獎，國家教育部弟一批公派研究生,83年留學(xué)美國。光學(xué)輪廓儀可廣泛應(yīng)用于各類精密工件表面質(zhì)量要求極高的如：半導(dǎo)體、微機(jī)電、納米材料、生物醫(yī)療、精密涂層、科研院所、航空航天等領(lǐng)域?？梢哉f只要是微型范圍內(nèi)重點部位的納米級粗糙度、輪廓等參數(shù)的測量，除了三維光學(xué)輪廓儀，沒有其它的儀器設(shè)備可以達(dá)到其精度要求。（網(wǎng)絡(luò)）。

NanoX-80003D輪廓測量主要技術(shù)參數(shù)3D測量主要技術(shù)指標(biāo)（1）：測量模式：PSI+VSI+CSIZ軸測量范圍：大行程PZT掃描（300um標(biāo)配/500um選配）10mm精密電機(jī)拓展掃描CCD相機(jī)：1920x1200高速相機(jī)（標(biāo)配）干涉物鏡：（標(biāo)配）,20X,50X,100X(NIKON)物鏡切換：5孔電動鼻切換FOV：1100x700um(10X物鏡),220x140um(50X物鏡)Z軸聚焦：高精密直線平臺自動聚焦照明系統(tǒng)：高效長壽白光LED+濾色鏡片電動切換（綠色/藍(lán)色）傾斜調(diào)節(jié)：±5°電動調(diào)節(jié)橫向分辨率：≥μm（與所配物鏡有關(guān)）3D測量主要技術(shù)指標(biāo)（2）：垂直掃描速度：PSI:<10s，VSI/CSI：<38um/s高度測量范圍：–10mm表面反射率：>(1σ)臺階高重復(fù)性：(1σ)VSI/CSI：垂直分辨率<(1σ，10um臺階高)。輪廓儀的優(yōu)點包括測量速度快、精度高、非接觸式測量、適用于各種形狀和材料的物體。

涵蓋面廣的2D、3D形貌參數(shù)分析：表面三維輪廓儀可測量300余種2D、3D參數(shù)，無論加工的物件使用哪一種評定標(biāo)準(zhǔn)，都可以提供權(quán)面的檢測結(jié)果作為評定依據(jù)，可輕松獲取被測物件精確的線粗糙度、面粗糙度、輪廓度等參數(shù)。四、穩(wěn)定性強，高重復(fù)性：儀器運用高性能內(nèi)部抗震設(shè)計，不受外部環(huán)境影響測量的準(zhǔn)確性。超精密的Z向掃描模塊和測量軟件完美結(jié)合，保證高重復(fù)性，將測量誤差降低到亞納米級別。三維表面輪廓儀是精密加工領(lǐng)域必不可少的檢測設(shè)備，它既保障了生產(chǎn)加工的準(zhǔn)確性，又提高了成品的出產(chǎn)效率，滿足用戶對各項2D，3D參數(shù)檢測需求的同時，還依然能夠保持高重復(fù)性，高穩(wěn)定性的運行，其對精密加工所產(chǎn)生的的作用是舉足輕重的。儀器運用高性能內(nèi)部抗震設(shè)計，不受外部環(huán)境影響測量的準(zhǔn)確性。光學(xué)輪廓儀干涉測量應(yīng)用

200到400個共焦圖像通常在幾秒內(nèi)被捕獲，之后軟件從共焦圖像的堆棧重建精確的三維高度圖像。高靈敏度的實驗設(shè)備輪廓儀實際價格

蕞大視場Thefilm3D以10倍物鏡優(yōu)異地提供更寛廣的2毫米視野，其數(shù)位變焦功能有助于緩解不同應(yīng)用時切換多個物鏡的需要，更進(jìn)一步減少總體成本。手動式物鏡轉(zhuǎn)盤能一次搭載四組物鏡，能滿足需要多種倍率物鏡交替使用的測量應(yīng)用。索取技術(shù)資料索取報價性能規(guī)格厚度范圍,WSI50nm-10mm厚度范圍,PSI0-3μm樣品反射率範(fàn)圍-100 %電腦要求機(jī)械規(guī)格Z范圍100mmPiezo(壓電)范圍500μmXY平臺類型手動或自動XY平臺范圍100mmx100mm相機(jī)2592x1944(5百萬像素)系統(tǒng)尺寸，寬x深x高300mmx300mmx550mm系統(tǒng)重量15kg物鏡1(NikonCFICEpiPlan)放大倍率5X10X20X50X100X視場xmmxmmxmmxmmxmm采樣空間2μmμmμmμmμm1分別出售2樣本上之像素大小常見的選購配件：urionNano30主動式防震臺4微米，2微米，和100納米多臺階高度標(biāo)準(zhǔn)。高靈敏度的實驗設(shè)備輪廓儀實際價格