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隔振器隔振臺(tái)原理

來源: 發(fā)布時(shí)間:2024-04-12

TS特點(diǎn):◎在全部的6個(gè)自由度范圍內(nèi),從0.7Hz到100Hz,TS系列產(chǎn)品提供優(yōu)良的主動(dòng)隔振性能。◎當(dāng)儀器裝載時(shí),高度調(diào)整會(huì)自動(dòng)進(jìn)行?!蚣词巩?dāng)負(fù)載偏離中心時(shí),自動(dòng)調(diào)平功能也能保持水準(zhǔn)。當(dāng)高重心的儀器被加載時(shí),給予穩(wěn)定性。◎通過按下前方的按鈕,系統(tǒng)可以鎖定或者解鎖。鎖定功能可以防止在系統(tǒng)重新加載或傳輸中發(fā)生損壞?!蚯胺降娘@示屏展示了在X,Y和Z方向的實(shí)際振動(dòng)水平?!蛑鲃?dòng)隔振也可以通過使用可選的遠(yuǎn)程控制箱來從外部啟用或禁用測(cè)振傳感器不斷監(jiān)測(cè)振動(dòng),制動(dòng)器根據(jù)這些信號(hào)產(chǎn)生反向力,以保持蕞佳的隔振狀態(tài)。隔振器隔振臺(tái)原理

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我們是岱美儀器。岱美拿到采購HERZAN公司隔振臺(tái)的訂單,客戶是某杰出電腦硬盤盤基片制造商,此高性能的防震臺(tái)有助于FIB公司推出的Nova600獲得更好的分辨率。訂單于2008年九月完成。此高性能的防震臺(tái)由世界杰出的防震專業(yè)廠家HEZAN公司提供。AVI系列的防震臺(tái)設(shè)計(jì)于結(jié)構(gòu)緊湊,模塊化的系統(tǒng)。它是理想的可以加裝或整合到一個(gè)你已有的儀器設(shè)備系統(tǒng)以獲得更好性能,它還可以提供在一定大小的范圍內(nèi)和增加額外的模塊用來支持你想得到即使是蕞大的負(fù)荷。主動(dòng)隔振范圍從1Hz到200Hz,被動(dòng)隔振超過200Hz,廣泛應(yīng)用于光刻類儀器、光譜分析類儀器、高精密測(cè)量系統(tǒng)、超高真空掃描探針顯微和電鏡及透射電子顯微鏡等系統(tǒng)。臺(tái)階儀隔振臺(tái)激光設(shè)備主動(dòng)防震應(yīng)用該表在支持靈敏實(shí)驗(yàn)(例如膜片鉗,顯微注射或用于測(cè)量Langmuir-Blodgett膜的液體的槽)方面非常成功。

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TableStable生產(chǎn)的主動(dòng)式微振動(dòng)控制系統(tǒng)AVI是一款多功能的主動(dòng)式防振系統(tǒng),具有獨(dú)力的防振單元和控制器??赡苡卸喾N變化,例如將其用作電子顯微鏡(SEM)的隔振臺(tái),或與光學(xué)平臺(tái)結(jié)合使用的高性能光學(xué)實(shí)驗(yàn)臺(tái)。特點(diǎn):?通過主動(dòng)控制沒有共振點(diǎn),可以防止低頻范圍的振動(dòng)。?安裝時(shí)不需要參數(shù)調(diào)整,安裝后可以立即使用。-由于不使用空氣彈簧,因此不需要空氣彈簧。?振動(dòng)狀態(tài)一目了然。(可以目視觀察控制器的每個(gè)LED閃爍單元的振動(dòng)狀態(tài)。)-加速度信號(hào)可以從外部輸出。(通過將BNC連接器連接到示波器,可以看到活動(dòng)對(duì)象正在正常工作。

TS-300結(jié)合了久經(jīng)考驗(yàn)的技術(shù)特點(diǎn)和優(yōu)雅且用戶友好的設(shè)計(jì)TS-300的隔離始于0.7Hz,超過10Hz時(shí)迅速增加至40dB缺少低頻諧振意味著比大多數(shù)常見的被動(dòng)空氣阻尼方法要好得多TS系統(tǒng)的固有剛度賦予其出色的方向和位置穩(wěn)定性TS-300的出色性能包括所有水平和垂直共計(jì)六個(gè)方向的震動(dòng)隔離模式精確的自動(dòng)高度調(diào)節(jié)機(jī)制即使在負(fù)載發(fā)生重大變化后也能將頂板穩(wěn)定在蕞佳工作水平遙控器允許在外部將隔離開關(guān)“打開”和“關(guān)閉”如果想要了解更多信息請(qǐng)聯(lián)系我們岱美儀器。AVI 200-XL的出色性能包括所有六個(gè)方向水平和垂直振動(dòng)模式。

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LFSLFS傳感器在三個(gè)軸上測(cè)量水平和垂直加速度,直到頻率約為0.2Hz。該傳感器直接放置在地板上,并與標(biāo)準(zhǔn)AVI/LP系統(tǒng)結(jié)合使用在前饋環(huán)路中,以提高非常低頻率的振動(dòng)隔離。LFS可以改裝為現(xiàn)有的AVI-LP系統(tǒng)。LFS-3的設(shè)計(jì)、制造和測(cè)試均符合測(cè)量和控制設(shè)備的安全規(guī)定,并滿足EEC指令73/23的相關(guān)要求。系統(tǒng)符合EEC指令89/336(電磁兼容性)每個(gè)單獨(dú)的AVI元件必須連接到傳感器后部的D-Sub15插座之一。LFS的實(shí)際位置并不重要,但它當(dāng)然必須放置在支持AVI單元的同一表面上。將AVI單元的上D-Sub15插座(診斷插座)連接到傳感器。AVI 200-XL系統(tǒng)固有的剛性使得其有出色的方向性和位置穩(wěn)定性。隔離振動(dòng)隔振臺(tái)一級(jí)代理

先進(jìn)的主動(dòng)式隔振系統(tǒng)“TS 系列” 將成為21世紀(jì)納米技術(shù)的隔振技術(shù)基礎(chǔ)。隔振器隔振臺(tái)原理

桌面必須足夠堅(jiān)硬,以防止兩個(gè)隔離單元繞其長水平軸相對(duì)旋轉(zhuǎn)。蜂窩狀墊板或30mm厚的鋁板效果蕞好,但可以使用石板甚至實(shí)木板。有關(guān)連接孔的位置,將電纜連接至隔離裝置的兩側(cè)。附加裝置通常與弟一個(gè)裝置平行放置,但這并非決對(duì)必要。但是,必須特別注意桌面的正確連接,如下所述。注意,也可以將隔離裝置直接連接到所支持的設(shè)備上。在這種情況下,剛性安裝是決對(duì)必要的。我們很樂意為您提供蕞佳安裝方法的建議。如果想要了解更多信息請(qǐng)聯(lián)系我們岱美儀器。隔振器隔振臺(tái)原理