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蔡司電子顯微鏡隔振臺技術(shù)支持

來源: 發(fā)布時間:2024-04-12

   TS-CTS-C系列是緊湊的動態(tài)防振系統(tǒng),可隔離所有六個平移和旋轉(zhuǎn)振動模式。這些價格適中的動態(tài)振動隔離系統(tǒng)在體積上卻比蕞大,蕞昂貴的無源系統(tǒng)更好地實現(xiàn)了隔離。使用壓電力馬達(dá)的慣性反饋不僅可以隔離建筑物的振動,還可以隔離放置在系統(tǒng)本身上的振動源。例如,這意味著即使通過操作員的手施加了力,由系統(tǒng)隔離的精密顯微鏡也將保持靜止。該系統(tǒng)的固有剛度比1Hz諧振無源隔離器的固有剛度大25倍,可提供出色的方向和位置穩(wěn)定性。有源隔離系統(tǒng)的特性通常表現(xiàn)為幾乎沒有低頻共振,這種共振困擾著所有無源隔離系統(tǒng)。該系統(tǒng)的設(shè)計即使在低至2-3Hz的頻率下也能提供出色的隔離度,在該頻率下,許多建筑物由于繞垂直軸的振蕩而顯示出較大的水平振幅。隔離從大約,并迅速增加到至少10Hz以外的至少40dB。安置好后只需簡單地調(diào)節(jié)彈簧即可使用。蔡司電子顯微鏡隔振臺技術(shù)支持

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所有控制電路都內(nèi)置在該單元鐘功耗小于2.5W。該設(shè)備具有通用輸入,可以連接到100至240VAC的任何交流電源。優(yōu)化設(shè)計以實現(xiàn)對諸如掃描探針顯微鏡(AFM,STM),干涉儀和其他高分辨率儀器,從而使這些儀器能夠達(dá)到蕞終的性能。事實證明,該表在支持靈敏實驗(例如膜片鉗,顯微注射或用于測量Langmuir-Blodgett膜的液體的槽)方面非常成功。技術(shù)指標(biāo):頻率:1.2-300赫茲負(fù)載范圍:0-40公斤尺寸圖300x300x70毫米(長x寬x高)11.8x11.8x2.75英寸隔離:動態(tài)1.2Hz至300Hz,主要在較高頻率下為無源透射率:高于?10Hz的透射率<0.01(-40dB)矯正力:垂直±8N,水平±4N靜態(tài)合規(guī)性:27μm/N最大負(fù)載(中心負(fù)載):40公斤88.18磅重量:9.2公斤20.3磅AVI-600SLP隔振臺激光設(shè)備主動防震應(yīng)用先進(jìn)的主動式隔振系統(tǒng)“TS 系列” 將成為21世紀(jì)納米技術(shù)的隔振技術(shù)基礎(chǔ)。

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AVI400-SAVI400-S的基本配置包括兩個緊湊型單元和一個控制單元,最大負(fù)載為800公斤。通過增加緊湊型模塊的數(shù)量,可以輕松實現(xiàn)對更高負(fù)載的支持。為了使AVI400-S適應(yīng)用戶特定的應(yīng)用,可以使用不同長度的緊湊型裝置。AVI400-S的隔離始于1,2Hz,超過10HZ以上迅速增加至35db減少低頻諧振可得到比普通的被動空氣阻尼系統(tǒng)更好的性能AVI400-S系統(tǒng)固有的剛性賦予其出色的方向性和位置穩(wěn)定性AVI400-S的出色性能包括所有六個方向水平和垂直振動模式AVI400-S緊湊型裝置不需要任何大型安裝工具。我們努力提供一種簡單,友好的概念-因此,在裝置上放置沉重的設(shè)備(例如SEM)時,避免了任何復(fù)雜的過程。技術(shù)指標(biāo):頻率:1,2-200Hz負(fù)載范圍:0-800公斤(單個):400公斤

LFS-2傳感器測量兩個軸的水平加速度,直至頻率為約0.2Hz傳感器直接放置在地板上,并用于前饋回路中與標(biāo)準(zhǔn)AVI/LP系統(tǒng)結(jié)合使用,可在非常低的情況下提高隔振效果頻率。LFS-2可以改裝為現(xiàn)有的AVI-LP系統(tǒng)。下表顯示了在AVI/LP上測得的水平隔離度(透射率)有和沒有LFS的系統(tǒng)。將傳感器連接到AVI/系統(tǒng)?傳感器LFS-2具有單獨的電源,該電源通過D-Sub25插座連接到LFS-2控制單元。用D-Sub25將電源連接到傳感器電纜。每個AVI元素必須連接到背面的D-Sub15插座之一傳感器的LFS的實際位置并不重要,但必須放置它在支持AVI單元的同一表面上。將AVI單元的上部D-Sub15插座連接到傳感器。AVI 200-M的基本配置包括兩個單個承載模塊和一個控制單元,ZUI大可以負(fù)載400公斤。

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隔振臺TS-140+40的技術(shù)指標(biāo):頻率負(fù)載范圍尺寸:0,7-1000Hz50-180公斤500x600x84毫米隔離:動態(tài)(超過1kHz)傳遞率:參見附件曲線10Hz以上的透射率<(-40dB)矯正力:垂直+/-8N水平+/-4N靜態(tài)合規(guī)性:垂直約12μm/N水平30-40μm/N最大負(fù)載:50-180公斤尺寸:500x600x84毫米重量:在公制(M6x25mm)或非公制網(wǎng)格上鉆孔的頂板可將各種設(shè)備安裝在隔離的桌面上。如果您有任何需要了解的,請隨時聯(lián)系我們岱美儀器技術(shù)服務(wù)有限公司。記得訪問官網(wǎng)。TS-140的高度只有84毫米。光刻機隔振臺技術(shù)支持

使用D-Sub 15M-F電纜將T-Box連接到TS的背面。無需單獨的電源。通過模式開關(guān)可以選擇不同的激勵方向。蔡司電子顯微鏡隔振臺技術(shù)支持

我們是岱美儀器。岱美拿到采購HERZAN公司隔振臺的訂單,客戶是某杰出電腦硬盤盤基片制造商,此高性能的防震臺有助于FIB公司推出的Nova600獲得更好的分辨率。訂單于2008年九月完成。此高性能的防震臺由世界杰出的防震專業(yè)廠家HEZAN公司提供。AVI系列的防震臺設(shè)計于結(jié)構(gòu)緊湊,模塊化的系統(tǒng)。它是理想的可以加裝或整合到一個你已有的儀器設(shè)備系統(tǒng)以獲得更好性能,它還可以提供在一定大小的范圍內(nèi)和增加額外的模塊用來支持你想得到即使是蕞大的負(fù)荷。主動隔振范圍從1Hz到200Hz,被動隔振超過200Hz,廣泛應(yīng)用于光刻類儀器、光譜分析類儀器、高精密測量系統(tǒng)、超高真空掃描探針顯微和電鏡及透射電子顯微鏡等系統(tǒng)。蔡司電子顯微鏡隔振臺技術(shù)支持