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來源: 發(fā)布時間:2024-06-11

TS-300結(jié)合了久經(jīng)考驗的技術(shù)特點和優(yōu)雅且用戶友好的設計TS-300的隔離始于0.7Hz,超過10Hz時迅速增加至40dB缺少低頻諧振意味著比大多數(shù)常見的被動空氣阻尼方法要好得多TS系統(tǒng)的固有剛度賦予其出色的方向和位置穩(wěn)定性TS-300的出色性能包括所有水平和垂直共計六個方向的震動隔離模式精確的自動高度調(diào)節(jié)機制即使在負載發(fā)生重大變化后也能將頂板穩(wěn)定在蕞佳工作水平遙控器允許在外部將隔離開關(guān)“打開”和“關(guān)閉”如果想要了解更多信息請聯(lián)系我們岱美儀器。HERZ在被動式隔振系統(tǒng)產(chǎn)品之外,補充了由瑞士Table Stable Ltd.開發(fā)的先進主動式隔振系統(tǒng)。晶圓隔振臺供應商家

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5、模塊將放置在腳輪板下。將AVI模塊滑到后傾角板下,使模塊從一側(cè)到另一側(cè)(而不是從前到后)橫跨立柱底面。將它們盡量放在外側(cè),不要碰到腿的側(cè)壁。如果您安裝的是EVO、Supra25–55、Ultra55或Neon40,則每個隔離模塊的寬度為7.5英寸。在這種情況下,每個模塊上的電纜端口應朝內(nèi),相互朝向。如果您安裝的是Supra60/VP、Ultra60或PLUS、Neon60或NVision40,則每個隔離模塊的寬度為11.3英寸。在這種情況下,每個模塊上的電纜端口應朝外,彼此遠離。6、再次在AVI模塊頂部滑動第二個安裝板,前后各27.5英寸,兩側(cè)各27英寸,在掃描電鏡腳輪板下方居中。重新連接時,確保AVI模塊和安裝板都不會與掃描電鏡側(cè)板接觸。確保AVI模塊和安裝板都不與前端或后端的掃描電鏡支架接觸。7、系統(tǒng)就位后,使用掃描電鏡水平尺降低掃描電鏡,直到其落在安裝板上。抬起水平尺,直到它們向上并離開。福建隔振臺出廠價先進的主動式隔振系統(tǒng)“TS 系列” 將作為21世紀納米技術(shù)的隔振技術(shù)基礎。

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AVI主動隔振臺AVI主動隔振系統(tǒng)幫助精密儀器在基礎研究、應用研究、生產(chǎn)等方面創(chuàng)造穩(wěn)定的測量和生產(chǎn)環(huán)境。AVI系列可以在非常寬的頻率范圍內(nèi)為原子力顯微鏡、非接觸式表面輪廓儀、激光干涉計、微檢測設備等提供極好的隔振效果。AVI產(chǎn)品特點:·安置好后只需簡單地調(diào)節(jié)彈簧即可使用?!ぐ惭b好后參數(shù)不需要調(diào)整?!牡皖l率起提高一個隔振環(huán)境?!た刂浦行挠谐d指示燈。Cu(100)-O表面低溫AFM圖像如果想要了解更多信息請聯(lián)系我們岱美儀器。

LFS-2傳感器測量兩個軸的水平加速度,直至頻率為約0.2Hz傳感器直接放置在地板上,并用于前饋回路中與標準AVI/LP系統(tǒng)結(jié)合使用,可在非常低的情況下提高隔振效果頻率。LFS-2可以改裝為現(xiàn)有的AVI-LP系統(tǒng)。下表顯示了在AVI/LP上測得的水平隔離度(透射率)有和沒有LFS的系統(tǒng)。將傳感器連接到AVI/系統(tǒng)?傳感器LFS-2具有單獨的電源,該電源通過D-Sub25插座連接到LFS-2控制單元。用D-Sub25將電源連接到傳感器電纜。每個AVI元素必須連接到背面的D-Sub15插座之一傳感器的LFS的實際位置并不重要,但必須放置它在支持AVI單元的同一表面上。將AVI單元的上部D-Sub15插座連接到傳感器。測振傳感器不斷監(jiān)測振動,制動器根據(jù)這些信號產(chǎn)生反向力,以保持蕞佳隔振狀態(tài)。

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AVI200-XL的隔離始于1,2Hz,然后迅速增加至超過10Hz的35dB減少低頻諧振可得到比普通的被動空氣阻尼系統(tǒng)更好的性能AVI200-XL系統(tǒng)固有的剛性賦予其出色的方向性和位置穩(wěn)定性AVI200-XL的出色性能包括所有六個方向水平和垂直振動模式AVI200-XL隔振模塊不需要任何大型工具即可安裝。我們努力提供一種簡單,友好的概念-避免在安裝出現(xiàn)中比較復雜的過程。技術(shù)指標:頻率:1,2-200Hz負載范圍:0-400公斤AVI200-M的基本配置包括兩個單個承載模塊和一個控制單元,蕞大可以負載400公斤。通過增加隔離模塊的數(shù)量,可以輕松承受更高的負載。為了使AVI200-M適應用戶特定的應用,可以按特殊順序提供不同長度的單個模塊。所有范圍內(nèi)為±5%。控制單元必須與相應的測量頭一起使用!半導體隔振臺用途是什么

LFS傳感器在三個軸上測量水平和垂直加速度,直到頻率約為0.2Hz。晶圓隔振臺供應商家

   TS-CTS-C系列是緊湊的動態(tài)防振系統(tǒng),可隔離所有六個平移和旋轉(zhuǎn)振動模式。這些價格適中的動態(tài)振動隔離系統(tǒng)在體積上卻比蕞大,蕞昂貴的無源系統(tǒng)更好地實現(xiàn)了隔離。使用壓電力馬達的慣性反饋不僅可以隔離建筑物的振動,還可以隔離放置在系統(tǒng)本身上的振動源。例如,這意味著即使通過操作員的手施加了力,由系統(tǒng)隔離的精密顯微鏡也將保持靜止。該系統(tǒng)的固有剛度比1Hz諧振無源隔離器的固有剛度大25倍,可提供出色的方向和位置穩(wěn)定性。有源隔離系統(tǒng)的特性通常表現(xiàn)為幾乎沒有低頻共振,這種共振困擾著所有無源隔離系統(tǒng)。該系統(tǒng)的設計即使在低至2-3Hz的頻率下也能提供出色的隔離度,在該頻率下,許多建筑物由于繞垂直軸的振蕩而顯示出較大的水平振幅。隔離從大約,并迅速增加到至少10Hz以外的至少40dB。晶圓隔振臺供應商家