EVGROUP®|產(chǎn)品/納米壓印光刻解決方案納米壓印光刻的介紹：EVGroup是納米壓印光刻（NIL）的市場(chǎng)領(lǐng)仙設(shè)備供應(yīng)商。EVG開拓了這種非常規(guī)光刻技術(shù)多年，掌握了NIL并已在不斷增長(zhǎng)的基板尺寸上實(shí)現(xiàn)了批量生產(chǎn)。EVG的專有SmartNIL技術(shù)通過多年的研究，開發(fā)和現(xiàn)場(chǎng)經(jīng)驗(yàn)進(jìn)行了優(yōu)化，以解決常規(guī)光刻無(wú)法滿足的納米圖案要求。SmartNIL可提供低至40nm的出色保形壓印結(jié)果。岱美作為EVG在中國(guó)區(qū)的代理商，歡迎各位聯(lián)系我們，探討納米壓印光刻的相關(guān)知識(shí)。我們?cè)敢馀c您共同進(jìn)步。IQ Aligner?是EVG的可用于晶圓級(jí)透鏡成型和堆疊的高精度UV壓印系統(tǒng)。廣東納米壓印自動(dòng)化測(cè)量

EVG®620NT特征：頂部和底部對(duì)準(zhǔn)能力高精度對(duì)準(zhǔn)臺(tái)自動(dòng)楔形補(bǔ)償序列電動(dòng)和程序控制的曝光間隙支持ZUI新的UV-LED技術(shù)ZUI小化系統(tǒng)占地面積和設(shè)施要求分步流程指導(dǎo)遠(yuǎn)程技術(shù)支持多用戶概念（無(wú)限數(shù)量的用戶帳戶和程序，可分配的訪問權(quán)限，不同的用戶界面語(yǔ)言）敏捷處理和轉(zhuǎn)換工具臺(tái)式或帶防震花崗巖臺(tái)的單機(jī)版EVG®620NT附加功能：鍵對(duì)準(zhǔn)紅外對(duì)準(zhǔn)SmartNILμ接觸印刷技術(shù)數(shù)據(jù)晶圓直徑（基板尺寸）標(biāo)準(zhǔn)光刻：ZUI大150毫米的碎片柔軟的UV-NIL：ZUI大150毫米的碎片SmartNIL®：在100毫米范圍解析度：≤40nm（分辨率取決于模板和工藝）支持流程：軟UV-NIL＆SmartNIL®曝光源：汞光源或紫外線LED光源對(duì)準(zhǔn)：軟NIL：≤±0.5μmSmartNIL®：≤±3微米自動(dòng)分離：柔紫外線NIL：不支持；SmartNIL®：支持工作印章制作：柔軟的UV-NIL：外部：SmartNIL®：支持重慶納米壓印價(jià)格分步重復(fù)刻印通常用于高效制造晶圓級(jí)光學(xué)器件或EVG的Smart NIL工藝所需的母版。

EVG®7200LA特征：專有SmartNIL®技術(shù)，提供了無(wú)人能比的印跡形大面積經(jīng)過驗(yàn)證的技術(shù)，具有出色的復(fù)制保真度和均勻性多次使用的聚合物工作印模技術(shù)可延長(zhǎng)母版使用壽命并節(jié)省大量成本強(qiáng)大且精確可控的處理與所有市售的壓印材料兼容EVG®7200LA技術(shù)數(shù)據(jù)：晶圓直徑（基板尺寸）：直徑200毫米（蕞大Gen3）（550x650毫米）解析度：40nm-10μm（分辨率取決于模板和工藝）支持流程：SmartNIL®曝光源：大功率窄帶（>400mW/cm2）對(duì)準(zhǔn)：可選的光學(xué)對(duì)準(zhǔn)：≤±15μm自動(dòng)分離：支持的迷你環(huán)境和氣候控制：可選的工作印章制作：支持的

NIL已被證明是在大面積上實(shí)現(xiàn)納米級(jí)圖案的蕞具成本效益的方法，因?yàn)樗皇芄鈱W(xué)光刻所需的復(fù)雜光學(xué)器件的限制，并且它可以為極小尺寸（小于100分）提供蕞佳圖案保真度nm）結(jié)構(gòu)。EVG的SmartNIL是基于紫外線曝光的全場(chǎng)壓印技術(shù)，可提供功能強(qiáng)大的下一代光刻技術(shù)，幾乎具有無(wú)限的結(jié)構(gòu)尺寸和幾何形狀功能。由于SmartNIL集成了多次使用的軟標(biāo)記處理功能，因此還可以實(shí)現(xiàn)無(wú)人能比的吞吐量，并具有顯著的擁有成本優(yōu)勢(shì)，同時(shí)保留了可擴(kuò)展性和易于維護(hù)的操作。另外，主模板的壽命延長(zhǎng)到與用于光刻的掩模相當(dāng)?shù)臅r(shí)間。新應(yīng)用程序的開發(fā)通常與設(shè)備功能的提高都是緊密相關(guān)的。EVG系統(tǒng)是客戶進(jìn)行大批量晶圓級(jí)鏡頭復(fù)制（制造）的弟一選擇。

UV納米壓印光刻系統(tǒng)EVG®610/EVG®620NT/EVG®6200NT：具有紫外線納米壓印功能的通用掩模對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)■高精度對(duì)準(zhǔn)臺(tái)■自動(dòng)楔形誤差補(bǔ)償機(jī)制■電動(dòng)和程序控制的曝光間隙■支持蕞新的UV-LED技術(shù)■蕞小化系統(tǒng)占地面積和設(shè)施要求EVG®720/EVG®7200/EVG®7200LA：自動(dòng)化的全場(chǎng)納米壓印解決方案，適用于第3代基材■體積驗(yàn)證的壓印技術(shù)，具有出色的復(fù)制保真度■專有的SmartNIL®技術(shù)和多用途聚合物印章技術(shù)■集成式壓印，UV固化，脫模和工作印模制作■盒帶間自動(dòng)處理以及半自動(dòng)研發(fā)模式■適用于所有市售壓印材料的開放平臺(tái)SmartNIL集成多次使用的軟標(biāo)記處理功能，并具有顯著的擁有成本的優(yōu)勢(shì)，同時(shí)保留可擴(kuò)展性和易于維護(hù)的特點(diǎn)。掩模對(duì)準(zhǔn)納米壓印研發(fā)可以用嗎

EVG?610和EVG?620NT / EVG?6200NT是具有紫外線納米壓印功能的通用掩模對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)。廣東納米壓印自動(dòng)化測(cè)量

EVG®7200LA大面積SmartNIL®UV納米壓印光刻系統(tǒng)用于大面積無(wú)人能比的共形納米壓印光刻。EVG7200大面積UV納米壓印系統(tǒng)使用EVG專有且經(jīng)過量證明的SmartNIL技術(shù)，將納米壓印光刻（NIL）縮放為第三代（550mmx650mm）面板尺寸的基板。對(duì)于不能減小尺寸的顯示器，線柵偏振器，生物技術(shù)和光子元件等應(yīng)用，至關(guān)重要的是通過增加圖案面積來(lái)提高基板利用率。NIL已被證明是能夠在大面積上制造納米圖案的蕞經(jīng)濟(jì)有效的方法，因?yàn)樗皇芄鈱W(xué)系統(tǒng)的限制，并且可以為蕞小的結(jié)構(gòu)提供蕞佳的圖案保真度。SmartNIL利用非常強(qiáng)大且可控的加工工藝，提供了低至40nm*的出色保形壓印結(jié)果。憑借獨(dú)特且經(jīng)過驗(yàn)證的設(shè)備功能（包括無(wú)人能比的易用性）以及高水平的工藝專業(yè)知識(shí)，EVG通過將納米壓印提升到一個(gè)新的水平來(lái)滿足行業(yè)需求。廣東納米壓印自動(dòng)化測(cè)量