輪廓儀對精密加工的意義

現(xiàn)代化高新技術的飛速發(fā)展離不開硬件設施和軟件系統(tǒng)的配套支持，在精密加工領域同樣如此，雖然我們在生活中不曾注意到超精密加工產(chǎn)品的“身影”，但是它卻與我們的生活息息相關。例如在光學玻璃、集成電路、汽車零部件、機器人**器件、航空航天材料、****設備等領域，都需要對加工的成品進行檢測，從物體表面光滑到粗糙的參數(shù)，其中包含了從納米到微米級別的輪廓、線粗糙度、面粗糙度等二維、三維參數(shù)，作為評定該物件是否合格的標準。因此光學輪廓儀應運而生，以下是表面三維輪廓儀對精密加工的作用： 隔振系統(tǒng)：集成氣浮隔振 + 大理石基石。自動測量輪廓儀美元價

1.3. 培訓計劃

    在完成系統(tǒng)布線并開始設備安裝后，即向甲方和業(yè)主介紹整個系統(tǒng)的概況及性能、特點、設備布置情況和相互之間的關系等，讓甲方和業(yè)主對整個系統(tǒng)有一個***的認識。

    在整個系統(tǒng)驗收前后，安排有關人員在進行培訓。

1.4. 培訓形式

    公司指派技術人員向相關人員講解系統(tǒng)的原理、功能、操作及維修保養(yǎng)要點；

    向受訓學員提供和解釋有關設計文件及圖紙等資料，使學員對系統(tǒng)的各個方面都能熟練掌握；

    針對系統(tǒng)的具體操作一一指導，使相關人員掌握技術要領；

    對學員提出的問題進行詳細解答；

CSI輪廓儀實際價格NanoX-8000 的XY 平臺比較大移動速度：200mm/s 。

輪廓儀對所測樣品的尺寸有何要求？

答：輪廓儀對載物臺xy行程為140*110mm（可擴展），Z向測量范圍比較大可達10mm，但由于白光干涉儀單次測量區(qū)域比較?。ㄒ?0X鏡頭為例，在1mm左右），因而在測量大尺寸的樣品時，全檢的方式需要進行拼接測量，檢測效率會比較低，建議尋找樣品表 面的特征位置或抽取若干區(qū)域進行抽點檢測，以單點或多點反映整個面的粗糙度參數(shù)；

4.測量的**小尺寸是否可以達到12mm，或者能夠測到更小的尺寸？

如果需要了解更多，請訪問官網(wǎng)。

輪廓儀產(chǎn)品概述：  

NanoX-2000/3000

系列 3D 光學干涉輪廓儀建立在移相干涉測量（PSI）、白光垂直掃描干涉測量（VSI）和單色光

垂直掃描干涉測量（CSI）等技術的基礎上，以其納米級測量準確度和重復性（穩(wěn)定性）定量地反映出被測件的表面粗

糙度、表面輪廓、臺階高度、關鍵部位的尺寸及其形貌特征等。廣泛應用于集成電路制造、MEMS、航空航天、精密加

工、表面工程技術、材料、太陽能電池技術等領域。

想要了解更多的信息，請聯(lián)系我們岱美儀器。 輪廓儀可用于Oled 特征結構測量，表面粗糙度，外延片表面缺 陷檢測，硅片外延表面缺 陷檢測。

輪廓儀的物鏡知多少?  

白光干涉輪廓儀是基于白光干涉原理，以三維非接觸時方法測量分析樣片表面形貌的關鍵參數(shù)和尺寸，典型結果包括：

表面形貌（粗糙度，平面度，平行度，臺階高度，錐角等）

幾何特征（關鍵孔徑尺寸，曲率半徑，特征區(qū)域的面積和集體，特征圖形的位置和數(shù)量等）

白光干涉系統(tǒng)基于無限遠顯微鏡系統(tǒng)，通過干涉物鏡產(chǎn)生干涉條紋，使基本的光學顯微鏡系統(tǒng)變?yōu)榘坠飧缮鎯x。  

因此物鏡是輪廓儀****的部件，

物鏡的選擇根據(jù)功能和檢測的精度提出需求，為了滿足各種精度的需求，需要提供各種物鏡，例如標配的10×， 還有2.5×，5×，20×，50×，100×，可選。  

不同的鏡頭價格有很大的差別，因此需要量力根據(jù)需求選配對應的鏡頭哦。

輪廓儀在晶圓的IC封裝中的應用：

晶圓的IC制造過程可簡單看作是將光罩上的電路圖通過UV刻蝕到鍍膜和感光層后的硅晶圓上這一過程，其中由于光罩中電路結構尺寸極小，任何微小的黏附異物和下次均會導致制造的晶圓IC表面存在缺 陷，因此必須對光罩和晶圓的表面輪廓進行檢測，檢測相應的輪廓尺寸。 200到400個共焦圖像通常在幾秒內(nèi)被捕獲，之后軟件從共焦圖像的堆棧重建精確的三維高度圖像。三維輪廓儀高性價比選擇

粗糙度儀的功能是測量零件表面的磨加工/精車加工工序的表面加工質(zhì)量。自動測量輪廓儀美元價

輪廓儀的自動拼接功能：

條件： 被測區(qū)域明顯大于視場的區(qū)域，使用自動圖片拼接。  

需要點擊自動拼接， 輪廓儀會把移動路徑上的拍圖自動拼接起來。

軟件會自適應計算路徑上移動的偏差，自動消除移動中偏差，減小誤差。

但是誤差是一定存在的。

白光輪廓儀的典型應用：

對各種產(chǎn)品，不見和材料表面的平面度，粗糙度，波溫度，面型輪廓，表面缺 陷，磨損情況，腐蝕情況，孔隙間隙，臺階高度，完全變形情況，加工情況等表面形貌特征進行測量和分析。  

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