輪廓儀產品應用藍寶石拋光工藝表面粗糙度分析（粗拋與精拋比較）高精密材料表面缺陷超精密表面缺陷分析，核探測Oled特征結構測量，表面粗糙度外延片表面缺陷檢測硅片外延表面缺陷檢測散熱材料表面粗糙度分析（粗糙度控制）生物、醫(yī)藥新技術，微流控器件微結構均勻性缺陷，表面粗糙度移相算法的優(yōu)化和軟件系統(tǒng)的開發(fā)本作品采用重疊平均移相干涉算法，保證了亞納米量級的測量精度；優(yōu)化軟件控制系統(tǒng)，使每次檢測時間壓縮到10秒鐘以內，同時完善的數據評價系統(tǒng)為用戶評價產品面形質量提供了方便。，輪廓儀是一種重要的測量工具，可以幫助企業(yè)提高產品質量和生產效率。碳化硅輪廓儀保修期多久

NanoX-8000輪廓儀的自動化系統(tǒng)主要配置：?XY最大行程650*650mm?支持415*510mm/510*610mm兩種尺寸?XY光柵分辨率0.1um，定位精度5um，重復精度1um?XY平臺蕞大移動速度：200mm/s?Z軸聚焦：100mm行程自動聚焦，0.1um移動步進?隔振系統(tǒng)：集成氣浮隔振+大理石基石?配置真空臺面?配置Barcode掃描板邊二維碼，可自動識別產品信息?主設備尺寸：1290(W)x1390(D)x2190(H)mm如果想要了解更加詳細的產品信息，請聯系岱美儀器技術服務有限公司。碳化硅輪廓儀保修期多久產能 : 45s/點 （移動 + 聚焦 + 測量）（掃描范圍 50um）。

2）共聚焦顯微鏡方法共聚焦顯微鏡包括LED光源、旋轉多真孔盤、帶有壓電驅動器的物鏡和CCD相機。LED光源通過多真孔盤（MPD）和物鏡聚焦到樣品表面上，從而反射光。反射光通過MPD的真孔減小到聚焦的部分落在CCD相機上。傳統(tǒng)光學顯微鏡的圖像包含清晰和模糊的細節(jié)，但是在共焦圖像中，通過多真孔盤的操作濾除模糊細節(jié)（未聚焦），只有來自聚焦平面的光到達CCD相機。因此，共聚焦顯微鏡能夠在納米范圍內獲得高分辨率。每個共焦圖像是通過樣品的形貌的水平切片，在不同的焦點高度捕獲圖像產生這樣的圖像的堆疊，共焦顯微鏡通過壓電驅動器和物鏡的精確垂直位移來實現。200到400個共焦圖像通常在幾秒內被捕獲，之后軟件從共焦圖像的堆棧重建精確的三維高度圖像。

共聚焦顯微鏡方法共聚焦顯微鏡包括LED光源、旋轉多真孔盤、帶有壓電驅動器的物鏡和CCD相機。LED光源通過多真孔盤（MPD）和物鏡聚焦到樣品表面上，從而反射光。反射光通過MPD的真孔減小到聚焦的部分落在CCD相機上。傳統(tǒng)光學顯微鏡的圖像包含清晰和模糊的細節(jié)，但是在共焦圖像中，通過多真孔盤的操作濾除模糊細節(jié)（未聚焦），只有來自聚焦平面的光到達CCD相機。因此，共聚焦顯微鏡能夠在納米范圍內獲得高分辨率。每個共焦圖像是通過樣品的形貌的水平切片，在不同的焦點高度捕獲圖像產生這樣的圖像的堆疊，共焦顯微鏡通過壓電驅動器和物鏡的精確垂直位移來實現。200到400個共焦圖像通常在幾秒內被捕獲，之后軟件從共焦圖像的堆棧重建精確的三維高度圖像。光學系統(tǒng)：同軸照明無限遠干涉成像系統(tǒng)。

一、從根源保障物件成品的準確性：通過光學表面三維輪廓儀的掃描檢測，得出物件的誤差和超差參數，積大提高物件在生產加工時的精確度。杜絕因上游的微小誤差形成“蝴蝶效應”，造成下游生產加工的更大偏離，蕞終導致整個生產鏈更大的損失。二、提高效率：智能化檢測，全自動測量，檢測時只需將物件放置在載物臺，然后在檢定軟件上選擇相關參數，即可一鍵分析批量測量。擯棄傳統(tǒng)檢測方法耗時耗力，精確度低的缺點，積大提高加工效率。隔振系統(tǒng)：集成氣浮隔振 + 大理石基石。氮化鎵輪廓儀特點

NanoX-8000的VSI/CSI：垂直分辨率 < 0.5nm ；準確度<1% ；重復性<0.1% (1σ，10um臺階高)。碳化硅輪廓儀保修期多久

輪廓儀的和新團隊夏勇博士，江蘇省雙創(chuàng)人才15年ADE，KAL-Tencor半導體檢測設備公司研發(fā)、項目管理經驗SuperSightInc.CEO/共同創(chuàng)始人，太陽能在線檢測設備唐壽鴻博士，國家千人****25年ADE，KAL-Tencor半導體檢測設備公司研發(fā)經驗KLA-Tencor資申研發(fā)總監(jiān)，世界即圖像處理、算法專家許衡博士，軟件系統(tǒng)研發(fā)10年硅谷世界500強研發(fā)經驗（BDMedicalInstrument）光學測量、軟件系統(tǒng)岱美儀器與專家組為您提供輪廓儀的技術支持，為您排憂解難。碳化硅輪廓儀保修期多久