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中芯國際隔振臺技術原理

來源: 發(fā)布時間:2021-11-15

Herz 防震臺/防振臺是世界上****的防震臺/防振臺系統(tǒng)方案供應商之一。 在納米技術的時代,極之微細的振動已對搜索結果造成極大的影響,必須改善測量環(huán)境,以發(fā)揮儀器的極大效能,達到比較好成果。 Nanotechnology正在改變,由高層次的研究波及各個行業(yè)的基本生產(chǎn),要有效地發(fā)展納米技術,消除振動尤為重要!

在過去的40年,HERZ發(fā)展成為被動式隔振設備的領頭供應商,并在此領域積累了豐富的經(jīng)驗。與此同時,測量技術有了很大的進步,一些**靈敏的設備會受被動式隔振系統(tǒng)中低頻共振頻率的干擾,只有主動式隔振系統(tǒng)能消除此類干擾。因此,HERZ在被動式隔振系統(tǒng)產(chǎn)品之外,補充了由瑞士Table Stable Ltd.開發(fā)的先進主動式隔振系統(tǒng)。 勵磁箱允許將激勵信號施加到TS隔離系統(tǒng),以便該系統(tǒng)可以在任何方向上用作振動器。中芯國際隔振臺技術原理

中芯國際隔振臺技術原理,隔振臺

AVI400-MAVI400-M的基本配置包括兩個緊湊型隔振模塊和一個控制單元,最大負載為800公斤。通過增加緊湊型單元的數(shù)量,可以輕松實現(xiàn)對更高負載的支持。


為了使AVI400-M適應用戶特定的應用,可以使用不同長度的緊湊型裝置。


AVI400-M的隔離始于1,2Hz,超過10HZ以上迅速增加至35db減少低頻諧振可得到比普通的被動空氣阻尼系統(tǒng)更好的性能AVI400-M系統(tǒng)固有的剛性賦予其出色的方向性和位置穩(wěn)定性AVI400-M的出色性能包括所有六個方向水平和垂直振動模式AVI400-M緊湊型裝置不需要任何大型安裝工具。我們努力提供一種簡單,友好的概念-因此,在裝置上放置沉重的設備(例如SEM)時,避免了任何復雜的過程。


技術指標:頻率:1.2-200Hz負載范圍:0-800公斤(單件):400公斤 研究所隔振臺原理垂直方向上的振動傳遞衰減,在承重時10hz的頻率以上時,比較大可以達到40dB的衰減。

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該系統(tǒng)的固有剛度比1

Hz諧振無源隔離器的固有剛度大25倍,可提供出色的方向和位置穩(wěn)定性。

有源隔離系統(tǒng)的特性通常表現(xiàn)為幾乎沒有低頻共振,這種共振困擾著所有無源隔離系統(tǒng)。


該系統(tǒng)的設計即使在低至2-3Hz的頻率下也能提供出色的隔離度,在該頻率下,許多建筑物由于繞垂直軸的振蕩而顯示出較大的水平振幅。隔離從大約0.7Hz開始,并迅速增加到至少10Hz以外的至少40 dB。


所有控制電路都內置在該單元**耗小于2.5W。該設備具有通用輸入,可以連接到100至240 VAC的任何交流電源。優(yōu)化設計以實現(xiàn)對諸如掃描探針顯微鏡(AFM, STM),干涉儀和其他高 分辨率儀器,從而使這些儀器能夠達到**終的性能。事實證明,該表在支持靈敏實驗(例如膜片鉗,顯微注射或用于測量Langmuir-Blodgett膜的液體的槽)方面非常成功。

AVI-產(chǎn)品參數(shù):AVI-200系列(負載:**多800kg)

型號:AVI-200SLP,AVI-200MLP,AVI-200XLP

系統(tǒng)形狀:控制器與防振單元分離型

主動控制范圍:被動隔振范圍200Hz以上

確認防振狀態(tài):使用控制器背面的BNC連接器,外部連接前面的8個LED指示防振狀態(tài)

尺寸:120×396×130×636×130×856×

控制器尺寸:241×287×142毫米

承重:400kg

單位重量:約9kg

聯(lián)絡我們

電源電壓:95-240VAC50-60赫茲

耗電量:普通9W

工作溫度范圍:5℃?40℃

工作濕度范圍:10?90%(5?30℃)?10?60%(30?40℃)

可選零件(1)裝載板,石板,鑄鐵板*另行咨詢選裝(2)高剛性支架或高阻尼高剛性支架*單獨咨詢。 傳感器LFS-3有一個單獨的電源,通過D-Sub25插座連接到LFS-3控制單元。

中芯國際隔振臺技術原理,隔振臺

傳感器LFS-3有一個單獨的電源,通過D-Sub25插座連接到LFS-3控制單元。用D-Sub25電纜將電源連接到傳感器。每個單獨的AVI元件必須連接到傳感器后部的D-Sub15插座之一。LFS的實際位置并不重要,但它當然必須放置在支持AVI單元的同一表面上。將AVI單元的上D-Sub 15插座(診斷插座)連接到傳感器

設置并將電源連接到傳感器后,系統(tǒng)即可使用。

按下電源上的電源旋鈕,打開電源。綠色的LED將亮起。紅色的發(fā)光二極管開始閃爍,這意味著存在一些振動。現(xiàn)在您可以通過按下啟用按鈕來啟用系統(tǒng)。紅色的發(fā)光二極管不應該再亮了。如果它們亮了,那意味著系統(tǒng)超載,建筑物內的振動太嚴重。 HERZ在被動式隔振系統(tǒng)產(chǎn)品之外,補充了由瑞士Table Stable Ltd.開發(fā)的先進主動式隔振系統(tǒng)。晶片隔振臺質量怎么樣

LFS傳感器在三個軸上測量水平和垂直加速度,直到頻率約為0.2Hz。中芯國際隔振臺技術原理

1、使用2 mm內六角扳手(包括在內)拆下模塊端板。

2、根據(jù)掃描電鏡的重量調整模塊。

在每個中心柱上的橫梁上方和下方應該有一個間隙,允許每側大約有2mm的行程。

B、使用M6活動扳手(包括)轉動位于支撐彈簧頂部的調整螺母。向右轉動扳手可降低模塊并增加上部間隙(在**止動螺母和橫撐之間)。向左轉動扳手可升高模塊并減小上部間隙。

C、計算每個螺母的圈數(shù);盡可能均勻地調整所有螺母。并非所有中心柱上的間隙都完全相同。

D、不要轉動螺母太遠,否則可能損壞系統(tǒng)。在任何情況下,外露螺紋不得超過10mm

3.裝回模塊上的端板 中芯國際隔振臺技術原理

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