硅片切割加工過程中為了降低機械應(yīng)力、熱應(yīng)力,保障線切割過程成為穩(wěn)定的過程,需要加入大量的切割液,在加工過程中會產(chǎn)生大量的副產(chǎn)物。這種副產(chǎn)物的主要成分為大量有機物(即切割液的主要成分:乙二醇、多乙二醇、乙二醇單甲醚、表面活性劑的混合液),以及在使用該切割液時添加在其中的碳化硅(該碳化硅用作切割液的磨料),和在切割過程中產(chǎn)生的多晶硅(或單晶硅)顆粒。硅片切割加工副產(chǎn)物若處理不當,不僅會產(chǎn)生嚴重的環(huán)境污染,而且浪費了大量的資源。隨著國家節(jié)能降耗,保護環(huán)境政策的實施,從硅片切割加工副產(chǎn)物中回收經(jīng)濟價值較高的碳化硅,可回用于硅片的切割加工過程,也可以用于商品碳化硅使用場合。質(zhì)量好的硅片回收找誰好?蘇州廢硅片回收量
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按照《從硅片切割加工副產(chǎn)物中回收碳化硅的方法》提供的技術(shù)方案,硅片切割加工副產(chǎn)物經(jīng)混合均勻后,加入分離劑,用量為5~50%,混合溫度為常溫或在50℃~80℃(提高溫度可以提高效率);用傳送機械送入機械分離器,機械分離器的操作溫度為5~80℃;由機械分離器獲得50~95%的富碳化硅漿料和5~50%的貧碳化硅懸浮液;富碳化硅漿料再進行多級機械分離,獲得的高純度碳化硅漿料再由機械分離去除切割液及分離劑,然后進行堿洗、酸洗和清洗,所得碳化硅濕料經(jīng)烘干、分級后,得高純度碳化硅產(chǎn)品。
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