什么是光譜共焦干涉儀？非接觸式輪廓測量技術(shù)中的測量精度，通常受機(jī)械振動和微掃描臺位置不準(zhǔn)確的限制。為不再受此類環(huán)境干擾，開發(fā)了對振動不敏感的全新干涉測量法。采用這種新型干涉儀系統(tǒng)，干涉儀顯微鏡的精度可達(dá)亞納米級。

光譜共焦干涉測量原理干涉測量法基于白光干涉圖（SAWLI）的光譜分析。它包括分析在光譜儀上觀察到的干擾信號，以便測量參比板和樣品之間的氣隙厚度。成熟系統(tǒng)的**性在于將參考板固定在檢測目標(biāo)上。由于參考板和樣品固定在一起，機(jī)械振動不會影響測量結(jié)果。此外，該傳感器可用于測量太薄而不允許使用光譜共焦技術(shù)的透明薄膜。**小可測厚度為0.4μm。 馬波斯測量科技致力于提供專業(yè)的光譜共焦傳感器，有需要可以聯(lián)系我司哦！山西線光譜共焦傳感器精度

什么是光譜共焦干涉儀？

非接觸式輪廓測量技術(shù)中的測量精度通常受到機(jī)械振動和微掃描臺位置不準(zhǔn)確性的限制。為了從這些環(huán)境干擾中解放出來，開發(fā)了一種新的對振動不敏感的干涉測量方法。采用這種新型光譜共焦干涉儀系統(tǒng)，干涉儀顯微鏡的潛在亞納米級精度是極其有效的。

原理：

干涉測量法基于白光干涉圖（SAWLI）的光譜分析。是光譜共焦傳感器等光學(xué)檢測儀器儀表中必然涉及到的概念。它包括分析在光譜儀上觀察到的干擾信號，以便測量參比板和樣品之間的氣隙厚度。發(fā)達(dá)系統(tǒng)的**性在于將參考板固定在檢測目標(biāo)上。由于參考板和樣品固定在一起，機(jī)械振動不會影響測量結(jié)果。此外，該傳感器可用于測量太薄而不允許使用色彩共焦技術(shù)的透明薄膜。**小可測厚度為0.4μm。 浙江點(diǎn)光譜共焦傳感器價(jià)格STIL光譜共焦傳感器對被測物體表面顏色和光潔度無特殊要求，無論物體表面是漫反射或高光面，甚至是鏡面。

STIL光學(xué)傳感器為全球各個行業(yè)提供更好的質(zhì)量控制,我們的產(chǎn)品系列適合于各種應(yīng)用，為更高的質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)提供可靠的控制和檢測。1995年推出點(diǎn)光譜共焦傳感器，2005年創(chuàng)新推出線光譜共焦傳感器，2015出現(xiàn)線光譜共焦相機(jī)，通過持續(xù)創(chuàng)新，2025年將推出適用于工業(yè)4.0智能解決方案。在嚴(yán)苛的工業(yè)環(huán)境下客戶要求速度、精度、質(zhì)量和安全滿足的同時，也要求減少對環(huán)境的影響和降低成本，這正是STIL傳感器產(chǎn)品系列具有的優(yōu)勢。適用于任何材料同軸共焦原理兼容任何折射，同軸共焦原理，易于工業(yè)集成，大角度測量，符合ISO25178-602標(biāo)準(zhǔn)。光譜共焦的特點(diǎn)：1.共焦對環(huán)境光不敏感可過濾雜波；2.彩色光譜在測量范圍內(nèi)形成彩色光譜，各種景深3.光譜儀通過嵌入式光譜儀對反射或漫反射進(jìn)行光譜分析，快速并精確4.同軸同軸光學(xué)設(shè)計(jì)，無陰影影響?？煽俊⒕_、超高分辨率的尺寸測量；高速在線解決方案；適用各種材料和環(huán)境；優(yōu)于傳統(tǒng)測量方案的其他特性，如：大角度測量，亞微米級精度，測量多層厚度。

多個產(chǎn)品同時測量減少成本測量對象可任意擺放，多個產(chǎn)品可同時測量，**節(jié)省測量時間，減少用工成本！

低畸變圖像無變形即便在鏡頭邊緣部位測量，圖像畸變也很小，無需擔(dān)心測量對象所放位置。

缺陷過濾測量位置包含有毛邊或缺陷時系統(tǒng)能自動識別，排除異常點(diǎn)提高測量的準(zhǔn)確度。

數(shù)據(jù)追溯管理更簡單測量結(jié)果自動保存，可按測量日期、產(chǎn)品名稱、產(chǎn)品料號等信息搜索，數(shù)據(jù)追溯管理簡單。測量結(jié)果自動保存，可按測量日期、產(chǎn)品名稱、產(chǎn)品料號等信息搜索，數(shù)據(jù)追溯管理簡單。檢測報(bào)告及統(tǒng)計(jì)報(bào)告都可通過一鍵完成制作，無需數(shù)據(jù)傳輸及電腦輸入等繁瑣的過程，支持多種格式。 使用亞微米級分辨率測量微流體每秒可測量360,000點(diǎn)。

在半導(dǎo)體行業(yè)應(yīng)用：

LED 芯片三維測量

LED 晶圓光學(xué)檢測

BGA 半導(dǎo)體封裝

光伏晶圓表面形貌

測量涂層厚度時與部件無任何接觸。激光和紅外傳感器可分析2至50厘米距離的涂層。這意味著可以在工業(yè)涂層環(huán)境中測量部件，即使它們位于移動產(chǎn)線上、在高溫環(huán)境中，甚至易碎或潮濕環(huán)境中。由于激光束產(chǎn)生的熱量極少，因此測量過程中涂層和部件都不會被損壞或改變。因此，對于那些迄今已有的方法會破壞測試樣品的工業(yè)運(yùn)用，它也可以系統(tǒng)地測量每個部件。測量通常不到一秒鐘，具有高度重復(fù)性。這樣可以控制高達(dá)100％的涂層部件，嚴(yán)格遵循涂層工藝性能并實(shí)時反應(yīng)以保持比較好狀 馬波斯測量科技致力于提供專業(yè)的光譜共焦傳感器，歡迎新老客戶來電！遼寧馬波斯傳感器品牌

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光強(qiáng)信號指示燈顯示當(dāng)前光強(qiáng)是否超過5%。當(dāng)測量樣品未在量程范圍內(nèi)，此時不存在測量信號，該指示燈為熄滅狀態(tài)。當(dāng)光強(qiáng)信號大于5%，信號燈點(diǎn)亮為綠色，表明測量數(shù)據(jù)質(zhì)量較高。當(dāng)光強(qiáng)信號小于5%時，信號燈則會顯示為橙色預(yù)警，提示用戶當(dāng)面光強(qiáng)信號較弱，測量數(shù)據(jù)效果不佳。此時應(yīng)該當(dāng)信號燈點(diǎn)亮為紅色時，表明當(dāng)前光強(qiáng)信號為100%。測量數(shù)據(jù)的質(zhì)量存在不確定性，因此可以嘗試一下方法解決：

量程預(yù)警信號燈當(dāng)前樣品是否在測量范圍內(nèi)，當(dāng)樣品不在量程范圍內(nèi)時，該信號燈為熄滅狀態(tài)。當(dāng)樣品位于量程的15%-85%區(qū)間時，該信號燈點(diǎn)亮為綠色。而當(dāng)樣品位于量程的15%以下或85%以上時，該信號燈則顯示為橙色，此時測量的數(shù)據(jù)仍是有效的，只不過需要警惕樣品超出量程范圍。 山西線光譜共焦傳感器精度

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