非接觸式晶圓厚度測量系統(tǒng)非接觸式晶圓厚度測量系統(tǒng)是一種利用氣體動(dòng)靜壓原理工作的非接觸式軸承,由于工作在平面度較好的花崗巖表面,因此本身也能獲得非常理想的運(yùn)動(dòng)平面度及平順性,特別適用于高精度檢測以及超精加工領(lǐng)域。
對(duì)射式非接觸式同軸激光位移傳感器測量?直線電機(jī)高精度龍門運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)?兼容拋光、未拋光、透明及非透明晶圓測量?共面氣浮移動(dòng)軸承確保樣品的移動(dòng)獲得極高的平面度及平順性?兼容1-8英寸規(guī)格晶圓樣品(可擴(kuò)展至300mm12英寸產(chǎn)品)?晶圓的測量厚度范圍為10um-20mm?抗震式花崗巖底座及高隔振一體式機(jī)架?比較大掃描速度1m/s?可自定義生成快速便捷的自動(dòng)化測量模式?直觀簡單的2D或3D數(shù)據(jù)呈現(xiàn)方式?適用于厚度,TTV,LTV,TIR,Sori,Taper,Bow和Warp測量參數(shù)及標(biāo)準(zhǔn) 馬波斯測量科技光譜共焦傳感器獲得眾多用戶的認(rèn)可。北京線光譜共焦傳感器精度
光強(qiáng)信號(hào)指示燈顯示當(dāng)前光強(qiáng)是否超過5%。當(dāng)測量樣品未在量程范圍內(nèi),此時(shí)不存在測量信號(hào),該指示燈為熄滅狀態(tài)。當(dāng)光強(qiáng)信號(hào)大于5%,信號(hào)燈點(diǎn)亮為綠色,表明測量數(shù)據(jù)質(zhì)量較高。當(dāng)光強(qiáng)信號(hào)小于5%時(shí),信號(hào)燈則會(huì)顯示為橙色預(yù)警,提示用戶當(dāng)面光強(qiáng)信號(hào)較弱,測量數(shù)據(jù)效果不佳。此時(shí)應(yīng)該當(dāng)信號(hào)燈點(diǎn)亮為紅色時(shí),表明當(dāng)前光強(qiáng)信號(hào)為100%。測量數(shù)據(jù)的質(zhì)量存在不確定性,因此可以嘗試一下方法解決:
量程預(yù)警信號(hào)燈當(dāng)前樣品是否在測量范圍內(nèi),當(dāng)樣品不在量程范圍內(nèi)時(shí),該信號(hào)燈為熄滅狀態(tài)。當(dāng)樣品位于量程的15%-85%區(qū)間時(shí),該信號(hào)燈點(diǎn)亮為綠色。而當(dāng)樣品位于量程的15%以下或85%以上時(shí),該信號(hào)燈則顯示為橙色,此時(shí)測量的數(shù)據(jù)仍是有效的,只不過需要警惕樣品超出量程范圍。 黑龍江2D 測量傳感器應(yīng)用案例汽車擋風(fēng)玻璃質(zhì)量控制, 大工作距離和大景深的點(diǎn)傳感器適用于車間環(huán)境,對(duì)3D形狀、輪廓、HUD的多層厚度測量。
光譜共焦技術(shù)的非接觸測量
Irix ?是一系列基于彩色共焦技術(shù)的非接觸式傳感器,能夠測量對(duì)白光透明的任何材料上的距離和厚度。
Irix ? 可同時(shí)測量5層材料。該控制器可與一大系列具有不同測量范圍、機(jī)械尺寸和計(jì)量規(guī)范的光學(xué)探針結(jié)合使用,以滿足多樣化的應(yīng)用需求。
控制器有兩種型號(hào)可供選擇:帶7英寸集成顯示屏,或帶有用于文件柜.display或采用盲板形式,機(jī)柜采用帶DIN導(dǎo)軌連接。
Irix控制器系列由不同型號(hào)(1個(gè)和2個(gè)同步通道)組成,結(jié)合各種各樣的光學(xué)元件(Marposs和STIL),可提供優(yōu)良的計(jì)量性能(高達(dá)納米)。Irix以比較高的質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)制造,是一種堅(jiān)固可靠的產(chǎn)品,適合在工業(yè)環(huán)境中使用。
彩色共焦技術(shù)允許測量任何能夠反射白光的材料(例如:金屬、玻璃、塑料、漆膜、液體)。
非接觸式測量適用于所有需要在不接觸目標(biāo)的情況下進(jìn)行測量的情況一個(gè)光學(xué)探針可同時(shí)測量多達(dá)五個(gè)透明層高測量精度可互換傳感器;
Irix可保存多達(dá)32張地圖,以便使用比較合適的探頭。
集成7“顯示器不受熱噪聲和電噪聲影響的無源光學(xué)探頭SDK和協(xié)議命令的可用性,便于集成到任何系統(tǒng)中縮小測量點(diǎn)動(dòng)態(tài)采集用編碼器同步測量(空間同步)粗糙度測量
什么是光譜共焦?光學(xué)傳感器提供比較好的技術(shù)以滿足非接觸尺寸測量**苛刻的要求?;谑褂每臻g彩色編碼的創(chuàng)新光學(xué)原理,我們的傳感器使用戶能夠以非凡的精確度對(duì)任何類型的材料進(jìn)行測量。用于工業(yè)環(huán)境中的設(shè)計(jì),STIL傳感器的各系列,吸引集成器與測量檢測機(jī)器輕松連接,這歸功于為每臺(tái)儀器提供的動(dòng)態(tài)鏈接庫(DLL)
光學(xué)原理我們的光學(xué)傳感器基于高度創(chuàng)新的共焦彩色成像原理。入射的白光***通過彩色物鏡成像為沿Z軸的連續(xù)單色圖像,從而沿光軸提供“顏色編碼”反向散射的光束通過過濾***進(jìn)入光譜儀,該光譜儀確定波長已完全聚焦于物體上,然后精確地確定其在測量場的位置。共聚焦光譜成像技術(shù)以極高的分辨率提供可靠、精確和可再現(xiàn)的尺寸測量。 馬波斯測量科技為您提供專業(yè)的光譜共焦傳感器,有需求可以來電咨詢!
汽車行業(yè)汽車是現(xiàn)代工業(yè)自動(dòng)化的產(chǎn)物。汽車行業(yè)高速發(fā)展,汽車各個(gè)部件的生產(chǎn)制造過程中,涉及到各種各樣的測量、識(shí)別、分選和檢查,例如微小工件尺寸的精確測量,工件裝配的段差和間隙的測量,產(chǎn)品包裝上的條碼和字符識(shí)別等。它們可能具有以下一些特點(diǎn):高速大批量檢測、檢測精度要求高、被測對(duì)象尺寸微小等。
在上述的這些情況下,利用人工無法連續(xù)穩(wěn)定的進(jìn)行檢測;另外,每個(gè)人的判斷標(biāo)準(zhǔn)不統(tǒng)一也導(dǎo)致檢測結(jié)果的不一致。這時(shí),人們開始考慮把利用相機(jī)鏡頭來代替人類視覺并結(jié)合圖像處理技術(shù)來實(shí)現(xiàn)檢測,于是形成了一門新學(xué)科----機(jī)器視覺。光譜共焦傳感器運(yùn)用高分辨率線性相機(jī)(亞微米探測)和高掃描速度,滿足了汽車制造過程對(duì)精度和速度的要求。 光譜共焦傳感器,就選馬波斯測量科技,有需要可以聯(lián)系我司哦!江西2D 測量傳感器價(jià)格
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其工作時(shí),先由激光二極管對(duì)準(zhǔn)目標(biāo)發(fā)射激光脈沖,經(jīng)目標(biāo)反射后激光向各方向散射,部分散射光返回到傳感器接收器。3.紅外測距傳感器利用紅外信號(hào)遇到障礙物距離的不同反射的強(qiáng)度也不同的原理,進(jìn)行障礙物遠(yuǎn)近的檢測
4.毫米波雷達(dá)通過發(fā)射與接收微波來感應(yīng)物體的存在、運(yùn)動(dòng)速度、靜止距離、物體所處角度等。采用平面微帶天線技術(shù),具有高集成化的特點(diǎn)。關(guān)于激光雷達(dá)的相關(guān)問題,推薦咨詢北醒光子科技有限公司。北醒現(xiàn)已實(shí)現(xiàn)量產(chǎn),年產(chǎn)能達(dá)到60萬臺(tái),合作伙伴覆蓋全球超過64個(gè)國家和地區(qū),為智慧軌道交通、智慧民航、智慧航運(yùn)、車路協(xié)同及自動(dòng)駕駛、無人機(jī)、機(jī)器人、物位檢測、安防、IOT等行業(yè)實(shí)現(xiàn)技術(shù)升級(jí)。 北京線光譜共焦傳感器精度
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