非接觸式晶圓厚度測(cè)量系統(tǒng)非接觸式晶圓厚度測(cè)量系統(tǒng)是一種利用氣體動(dòng)靜壓原理工作的非接觸式軸承，由于工作在平面度較好的花崗巖表面，因此本身也能獲得非常理想的運(yùn)動(dòng)平面度及平順性，特別適用于高精度檢測(cè)以及超精加工領(lǐng)域。對(duì)射式非接觸式同軸激光位移傳感器測(cè)量?直線電機(jī)高精度龍門(mén)運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)?兼容拋光、未拋光、透明及非透明晶圓測(cè)量?共面氣浮移動(dòng)軸承確保樣品的移動(dòng)獲得極高的平面度及平順性?兼容1-8英寸規(guī)格晶圓樣品(可擴(kuò)展至300mm12英寸產(chǎn)品)?晶圓的測(cè)量厚度范圍為10um-20mm?抗震式花崗巖底座及高隔振一體式機(jī)架?比較大掃描速度1m/s?可自定義生成快速便捷的自動(dòng)化測(cè)量模式?直觀簡(jiǎn)單的2D或3D數(shù)據(jù)呈現(xiàn)方式?適用于厚度,TTV,LTV,TIR,Sori,Taper,Bow和Warp測(cè)量參數(shù)及標(biāo)準(zhǔn)馬波斯測(cè)量科技是一家專業(yè)提供光譜共焦傳感器的公司，歡迎新老客戶來(lái)電！福建stil傳感器精度

3C行業(yè)應(yīng)用：集成電路自動(dòng)光學(xué)檢測(cè)紅外線傳感器黃金接觸墊微電子的焊線槽形貌印刷線路板的翹曲測(cè)量金線的檢測(cè)玻璃行業(yè)玻璃行業(yè)自吹起顯示器非平面即曲面的想法，市面上2D、2.5D產(chǎn)品相繼出現(xiàn)，經(jīng)iPhone創(chuàng)辦人SteveJobs構(gòu)思3D曲面玻璃發(fā)展藍(lán)圖后，開(kāi)啟了發(fā)展趨勢(shì)，相繼有廠商投入3D產(chǎn)品各種成型技術(shù)的研發(fā)。因符合市場(chǎng)大量產(chǎn)品的設(shè)計(jì)需求，智能手機(jī)、智能手表、平板計(jì)算機(jī)、儀表板等陸續(xù)出現(xiàn)，時(shí)代進(jìn)步已經(jīng)明確引導(dǎo)3D曲面玻璃發(fā)展方向。那么3D曲面玻璃有什么優(yōu)勢(shì)特點(diǎn)使其能深受廣大用戶喜愛(ài)呢？江西Marposs 傳感器測(cè)量速度馬波斯測(cè)量科技的光譜共焦傳感器值得放心。

什么是光譜共焦技術(shù)？光譜共焦位移傳感器提供比較好的技術(shù)以滿足非接觸尺寸測(cè)量**苛刻的要求?；谑褂每臻g彩色編碼的創(chuàng)新光學(xué)原理，光譜共焦傳感器使用戶能夠以非凡的精確度對(duì)任何類型的材料進(jìn)行測(cè)量。傳感器適用于絕大多數(shù)行業(yè)：計(jì)量或研究實(shí)驗(yàn)室中的高精度儀器，工業(yè)生產(chǎn)線上的質(zhì)量控制。用于工業(yè)環(huán)境中的設(shè)計(jì)，傳感器的各系列，吸引集成器與測(cè)量檢測(cè)機(jī)器輕松連接，這歸功于為每臺(tái)儀器提供的動(dòng)態(tài)鏈接庫(kù)（DLL）。光譜共焦成像基于2個(gè)原則：l共焦成像l光軸的彩色編碼。共焦裝置是一種光學(xué)裝置，光學(xué)系統(tǒng)在物體的表面上產(chǎn)生點(diǎn)光源S的圖像S’。反向散射光由相同的光學(xué)系統(tǒng)收集，該光學(xué)系統(tǒng)在***S’’處成像。***被置于光電探測(cè)器的前面，它過(guò)濾可以到達(dá)光電探測(cè)器的光線，因此它也被稱為“空間濾波器”。共焦裝置的特點(diǎn)是具有特殊的信噪比。按照CCI原理，光學(xué)系統(tǒng)是彩色光學(xué)頭，光電探測(cè)器是一個(gè)光譜儀。

所有不同波長(zhǎng)的可見(jiàn)光重疊在一起，形成白光。人類肉眼可見(jiàn)光的波長(zhǎng)范圍從400nm(藍(lán)光)到700nm(紅光)。通過(guò)透鏡，不同顏色的光不會(huì)聚焦到同一個(gè)點(diǎn)上。這種現(xiàn)象稱為色差透鏡錯(cuò)誤或者叫色差透鏡偏差。眾所周知，自然界的日光屬白光一種，白光不是純潔的光，而是許多單色光組成的。光在不同介質(zhì)中傳播可能會(huì)有角度偏差的現(xiàn)象產(chǎn)生，而實(shí)際的白光照射下不同介質(zhì)將有很多單線光的折射。光學(xué)材料（透鏡）對(duì)于不同單色光的折射率是不同的，也就是折射角度不同波長(zhǎng)愈短折射率愈**長(zhǎng)愈長(zhǎng)折射率愈?。ㄟ@也是不同望遠(yuǎn)鏡所謂的色差不同的原因），同一薄透鏡對(duì)不同單色光，每一種單色光都有不同的焦距，按色光的波長(zhǎng)由短到長(zhǎng)，它們的像點(diǎn)離開(kāi)透鏡由近到遠(yuǎn)地排列在光軸上（不同的單色光的波長(zhǎng)是不同的）這樣成像就產(chǎn)生了所謂色差透鏡錯(cuò)誤。色差透鏡錯(cuò)誤使成像產(chǎn)生色斑或暈環(huán)。在攝影器材中，應(yīng)通過(guò)特殊處理，盡量消減色差透鏡錯(cuò)誤導(dǎo)致的成像問(wèn)題。常用的消除方法有雙膠合系統(tǒng)與雙分離系統(tǒng)。馬波斯測(cè)量科技為您提供專業(yè)的光譜共焦傳感器。

生物醫(yī)療-人造膝關(guān)節(jié)粗糙度測(cè)量符合ISO標(biāo)準(zhǔn)25178-602,傳感器適用任何反射表面機(jī)械手表特別用于于在線測(cè)量的傳感器比較大樣本斜率±45°；高達(dá)±88°的漫反射微流體類通過(guò)塑料或玻璃等透明層，使用亞微米級(jí)分辨率測(cè)量微流體每秒可測(cè)量360,000點(diǎn)渦輪葉片特別用于于在線測(cè)量的傳感器比較大樣本斜率±45°；高達(dá)±88°的漫反射電池點(diǎn)對(duì)點(diǎn)厚度測(cè)量2個(gè)傳感器和2個(gè)單通道控制器或1個(gè)雙通道控制器點(diǎn)對(duì)點(diǎn)測(cè)量對(duì)于邊緣區(qū)域可使用卡鉗結(jié)構(gòu)測(cè)量非接觸式測(cè)量，一體化設(shè)計(jì)，3D輪廓掃描，多功能數(shù)據(jù)處理適用于各種材料的精確測(cè)量；使用簡(jiǎn)單，拆裝方便，掃描速度快，定位精度高重復(fù)精度±0.5~±1μm；穩(wěn)定性高，抗干擾能力強(qiáng)膜厚其他半導(dǎo)體用于膜厚的在線測(cè)量和質(zhì)量控制非接觸測(cè)量，適用于易變形和不透明的材料小厚度測(cè)量5μm，適用于在線應(yīng)用高靈敏度和高精度可提供卡鉗結(jié)構(gòu)或測(cè)量設(shè)備可結(jié)合馬波斯Quick-SPC軟件進(jìn)行數(shù)據(jù)處理馬波斯測(cè)量科技致力于提供專業(yè)的光譜共焦傳感器，有想法的可以來(lái)電咨詢！福建stil傳感器精度

用點(diǎn)光譜或線光譜傳感器測(cè)量晶圓上的翹曲/平面度 凸塊測(cè)量CLMG/EVERESTK1/K2傳感器系列可達(dá)360,000測(cè)點(diǎn)/秒。福建stil傳感器精度

多個(gè)產(chǎn)品同時(shí)測(cè)量減少成本測(cè)量對(duì)象可任意擺放，多個(gè)產(chǎn)品可同時(shí)測(cè)量，**節(jié)省測(cè)量時(shí)間，減少用工成本！低畸變圖像無(wú)變形即便在鏡頭邊緣部位測(cè)量，圖像畸變也很小，無(wú)需擔(dān)心測(cè)量對(duì)象所放位置。缺陷過(guò)濾測(cè)量位置包含有毛邊或缺陷時(shí)系統(tǒng)能自動(dòng)識(shí)別，排除異常點(diǎn)提高測(cè)量的準(zhǔn)確度。數(shù)據(jù)追溯管理更簡(jiǎn)單測(cè)量結(jié)果自動(dòng)保存，可按測(cè)量日期、產(chǎn)品名稱、產(chǎn)品料號(hào)等信息搜索，數(shù)據(jù)追溯管理簡(jiǎn)單優(yōu)勢(shì)：測(cè)量更準(zhǔn)確采用雙倍率雙側(cè)遠(yuǎn)心光學(xué)鏡頭，具有較高的遠(yuǎn)心度，即使有段差情況下也能高精度正確的測(cè)量。倍率涵蓋0.16X大視野/0.7X高精度。福建stil傳感器精度

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