【真空鍍膜機真空檢漏方法之靜態(tài)升壓法】 靜態(tài)升壓法屬于真空檢漏法中的一種,也是*簡單易行的真空系統(tǒng)檢漏方法,因為它不需要用額外特殊的儀器或者特殊物質(zhì),通過測量規(guī)管就可以檢測真空系統(tǒng)的總漏率,從而確定真空系統(tǒng)或部件是否滿足工作要求。雖然勝在簡單,但也存在局限。如果真空系統(tǒng)或容器存在漏孔的話,靜態(tài)升壓法是無法確定漏孔所在的。因此在確定系統(tǒng)是否有漏孔的同時還需要確定其位置的話,就需要配合其他方法來進行了。 靜態(tài)升壓法的操作只要將被檢容器抽空至相應的壓力范圍,再關(guān)閉閥門,隔離真空泵與真空容器,然后用真空計測量記錄真空容器中壓力隨時間的變化過程,即可得出泄漏數(shù)據(jù)。《真空系統(tǒng)抽氣達不到工作壓力有哪些原因》中,螺桿真空泵廠家介紹的判斷方法即是通過靜態(tài)升壓法實現(xiàn)的,比較方便。當然在應用過程中,要提高準確性就要減少其他因素干擾,需要在檢測之前對容器進行凈化清洗并烘干,或者用氮氣進行沖洗。更嚴格一點可以在測量規(guī)管與容器之間設置冷阱,處理釋放的可凝氣體,而對可能存在的漏孔所漏進的空氣不會造成影響。 真空鍍膜機使用時,需要注意哪些問題?江西振華真空鍍膜機圖片
【真空鍍膜之磁控濺射】在陰極靶表面形成一正交電磁場,在此區(qū)電子密度高,進而提高離子密度,使得濺鍍率提高(一個數(shù)量級),濺射速度可達0.1—1 um/min膜層附著力較蒸鍍佳,是目前*實用的鍍膜技術(shù)之一。其它有偏壓濺射、反應濺射、離子束濺射等鍍膜技術(shù) 濺鍍機設備與工藝濺鍍機由真空室,排氣系統(tǒng),濺射源和控制系統(tǒng)組成。濺射源又分為電源和濺射qiang(sputter gun)。磁控濺射qiang分為平面型和圓柱型,其中平面型分為矩型和圓型,靶材料利用率30- 40%,圓柱型靶材料利用率>50% 濺射電源分為:直流(DC)、射頻(RF)、脈沖(pulse), 直流:800-1000V(Max)導體用,須可災弧。 射頻:13.56MHZ,非導體用。 脈沖:泛用,*新發(fā)展出 北京真空鍍膜機環(huán)保要求真空鍍膜機的相關(guān)資料。
【真空鍍膜機之輔助抽氣系統(tǒng)】真空腔各部分有連接閥,用來連接各抽氣泵浦。輔助抽氣系統(tǒng):排氣系統(tǒng)為鍍膜機真空系統(tǒng)的重要部分,主要有由機械泵、增壓泵(主要介紹羅茨泵)、油擴散泵三da部分組成。此排氣系統(tǒng)采用“擴散泵+機械泵+羅茨泵+低溫冷阱+polycold”組成。排氣流程為:機械泵先將真空腔抽至小于2.0*10-2PA左右的低真空狀態(tài),為擴散泵后繼抽真空提供前提,之后當擴散泵抽真空腔的時候,機械泵又配合油擴散泵組成串聯(lián),以這樣的方式完成抽氣動作。
【真空鍍膜機有哪些污染源】真空鍍膜機是由許多精密的零部件所組成的,這些零部件均經(jīng)過許多機械加工流程而制作出來,如焊接、磨、車、刨、鏜、銑等工序。正因為有了這些工作,導致設備零部件表面不可避免地會沾染一些加工帶來的油脂、油垢、金屬屑、焊劑、拋光膏、汗痕等污染物。這些污染物在真空條件下易揮發(fā),從而對設備的極限真空造成影響。 此外,這些機械加工帶來的真空污染物在da氣壓環(huán)境中吸附da量的氣體,而到了真空狀態(tài)下,這些原先吸附的氣體也會被再次釋放出來,成為限制真空系統(tǒng)的極限真空的一da主要因素。 1、真空規(guī)管的燈絲在高溫條件下蒸發(fā),將導致陶瓷絕緣子上形成一層薄膜,對其絕緣強度有一定的損壞,對其測量的準確性也有一定的影響; 2、由于高溫蒸發(fā),會使真空中的電子qiang的燈絲附近表面形成一層金屬膜; 3、由于工件濺射,離子束刻蝕設備的內(nèi)壁會被濺散物所污染; 4、真空蒸發(fā)鍍膜設備的內(nèi)壁會被其蒸鍍靶材材料污染; 5、經(jīng)常使用真空干燥系統(tǒng),該系統(tǒng)會受蒸發(fā)出來的物質(zhì)所污染; 6、真空鍍膜設備中的擴散泵油、機械泵油等更是一da主要污染來源,鍍膜機長期工作后,設備內(nèi)部可能會形成一層油膜。 真空鍍膜機參數(shù)怎么調(diào)?
【真空鍍膜之離子束濺射鍍膜】離子束濺射沉積法在離子源內(nèi)由惰性氣體(通常為氬)產(chǎn)生具有較高能量的離子轟擊靶材料,把靶材料沉積到基片上的方法。離子束濺射沉積法的一da優(yōu)點是基片相對于離子源和靶是du立的,它的溫度可以單獨控制?;ǔ=拥匚唬桶信c高頻電路無關(guān),不會象陰極濺射鍍膜那樣受到高能電子的轟擊,因而溫度較低。所以只要配置一臺較好的恒溫循環(huán)器(如HX1050型,控溫范圍為-10℃~50℃,精度≤0。5℃),實現(xiàn)對樣品臺的單獨控溫,就可以根據(jù)不同樣品的要求以及薄膜生長不同階段的溫度需要進行適當調(diào)節(jié)。根據(jù)現(xiàn)有離子束濺射設備的構(gòu)造,設計、加工了專門的金屬樣品架,放上樣品后蓋上金屬壓片,用螺絲緊密地固定在鍍膜腔體的樣品臺上,可使樣品和控溫的樣品臺有良好的熱接觸。并在樣品架中放置了一個測溫鉑電阻,用螺絲把金屬壓片連同其下的鉑電阻一起固定壓緊,再用導線引出與高精度的萬用表相連,以監(jiān)測薄膜生長過程中的樣品溫度。真空鍍膜機的主要應用。河南振華真空鍍膜機安裝
真空鍍膜機真空度多少?江西振華真空鍍膜機圖片
【機械泵分類】機械泵有很多種,常用的有滑閥式、活塞往復式、定片式和旋片式四種類型。 機械泵是從da氣開始工作的,它的主要參數(shù)有極限真空,抽氣速率,此為設計與選用機械泵的重要依據(jù)。單級泵可以將容器從da氣抽到1.0*10-1PA的極限真空,雙級機械泵可以將容器從da氣抽到6.7*10-2帕,甚至更高。抽氣速率,是指旋片泵按額定轉(zhuǎn)數(shù)運轉(zhuǎn)時,單位時間內(nèi)所能排出氣體的體積,可以用下公式計算:Sth=2nVs=2nfsL fs表示吸氣結(jié)束時空腔截面積,L表示空腔長度,系數(shù)表示轉(zhuǎn)子每旋轉(zhuǎn)一周有兩次排氣過程,Vs表示當轉(zhuǎn)子處于水平位置的時候,吸氣結(jié)束,此時空腔內(nèi)的體積*da,轉(zhuǎn)速為n。機械泵排氣的效果還與電機的轉(zhuǎn)速及皮帶的松緊度有關(guān)系,當電機的皮帶比較松,電機轉(zhuǎn)速很慢的時候,機械泵的排氣效果也會變差,所以要經(jīng)常保養(yǎng),點檢,機械泵油的密封效果也需要常常點檢,油過少,達不到密封效果,泵內(nèi)會漏氣,油過多,把吸氣孔堵塞,無法吸氣和排氣,一般,在油位在線下0.5厘米即可。 江西振華真空鍍膜機圖片
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