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半導(dǎo)體加工超精密晶圓卡盤

來源: 發(fā)布時間:2024-05-16

微泰,精湛的超精密加工技術(shù),可達(dá)到微米級加工,充分考慮材料的特殊性加工超平整零件,平整度公差小于 3 um零件精密加工的關(guān)鍵在于確保高水平的精度和質(zhì)量,并確保與既定尺寸的偏差小實現(xiàn)。 精密加工的半導(dǎo)體晶圓真空卡盤的平面度公差不超過 3 μm,并通過三維接觸測量儀進(jìn)行全數(shù)檢查和系統(tǒng)質(zhì)量的管材,為全球客戶提供精密加工。 鋁(AL5052、AL6061、AL7075)、不銹鋼(SUS304、SUS316、SUS630)。 銅、鎢、鈦和蒙奈爾合金(MONEL)。 處理聚醚醚酮 (PEEK)、聚甲醛 (POM) 和聚酰亞胺 (PI) 等材料,需要精密加工。使用高難度材料,如無氧高導(dǎo)銅 (OFHC)制造半導(dǎo)體精密零件。超精密飛秒激光技術(shù)是一種高精度、非接觸、非熱效應(yīng)的加工方法,適用于各種材料的微細(xì)加工。半導(dǎo)體加工超精密晶圓卡盤

超精密

現(xiàn)有物理切削技術(shù),接觸式加工,磨損基石,需要切削油,加工后需要清洗納秒激光加工有以下問題:細(xì)微裂紋,熔化-再凝固產(chǎn)生熱變形,表面物性發(fā)生變化,周圍會產(chǎn)生多個顆粒飛秒激光打磨:改善現(xiàn)有打磨技術(shù)的問題-熱影響極小,可以局部加工-不需要切削油和化學(xué)藥劑-細(xì)微裂紋極少化表面物理特性變化少,在不改變物性值的情況下,提高表面粗糙度。高功率激光打磨:測量高度→獲取高度數(shù)據(jù)→轉(zhuǎn)換成面數(shù)據(jù)→去除表面凸起中等功率,利用中等功率激光可以刻畫低功率時具有,清洗效果;拋光效果(也有去除微孔邊緣毛刺的效果)拋光后,[AOI(自動光學(xué)檢查)]對孔不良進(jìn)行檢測(手動或自動)(光學(xué)相機(jī)掃描儀)材料的邊緣測量和修正材料位置誤差。加工部件激光光學(xué)系統(tǒng)位移傳感器、光學(xué)相機(jī)、防撞傳感器滑門及外蓋實用程序系統(tǒng)控制系統(tǒng)該激光加工設(shè)備環(huán)保,有利于工藝自動化,本公司通過各工序的聯(lián)動及生產(chǎn)自動化,推進(jìn)智能工廠化,成為超精密激光加工系統(tǒng)領(lǐng)域全球企業(yè),上海安宇泰環(huán)??萍加邢薰救毡炯夹g(shù)超精密真空板由于精度高的緣故,超精密加工常應(yīng)用在光學(xué)元件。也會應(yīng)用在機(jī)械工業(yè)。

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微泰,采用先進(jìn)的飛秒激光的高速螺旋鉆削自主技術(shù),進(jìn)行半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)所需的各種形狀的微孔加工,MIN可做到5微米的微孔,公差可做到±2微米,孔距可做到0.3微米。還可以進(jìn)行MAX10度角的倒錐孔和各種幾何形狀的微孔,飛秒激光利用相對較短的激光脈沖,熱損傷很小,加工對象沒有物性變形層,表面平整,實現(xiàn)超精密微孔加工。MLCC 層壓的真空板相同區(qū)域內(nèi)可加工不規(guī)則位置的孔;可以混合加工不規(guī)則尺寸,孔間距可達(dá) 0.3 μm ;可加工多達(dá) 800,000 個孔,用于MLCC印刷吸膜板,MLCC疊層吸膜板,吸附板。

微泰,利用自主自主技術(shù),飛秒激光螺旋鉆孔系統(tǒng)和獨有ELID(電解在線砂輪修正技術(shù)),飛秒激光拋光技術(shù),生產(chǎn)各種超精密零部件。有三星電子,LG電子等諸多企業(yè)的業(yè)績。攝像頭模組的拾取工具,治具。特別是超薄,超鋒利的鏡頭切割器,光滑無毛邊地切割塑料鏡片的澆口,占韓國塑料鏡頭切割刀片90%以上的市場,精密要求極高的攝像機(jī)傳感器與IC、PCB進(jìn)行熱壓接合用治具,也占韓國90%以上市場。有問題請聯(lián)系  上海安宇泰環(huán)保科技有限公司總代理激光超精密加工的對象范圍很寬,包括幾乎所有的金屬材料和非金屬材料,適于材料的打孔、焊接、表面改性等。

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我公司利用自主技術(shù),飛秒激光螺旋鉆孔技術(shù),可以在各種金屬,陶瓷,藍(lán)寶石,超硬材料,PCD上加工各種形狀的微孔,MIN可加工5微米的孔,MIN孔距可做到0.3微米,而且可以對孔壁進(jìn)行拋光,使之孔壁光滑。飛秒激光不同于納秒激光,微孔平整,熱變形和物理變形很小。這是納秒激光加工件,這是飛秒激光加工件。我公司飛秒激光螺旋鉆孔技術(shù)為電子,光學(xué),機(jī)械,化學(xué),醫(yī)療等不同行業(yè)的高精度微孔需求,提供高精度加工服務(wù)。上海安宇泰環(huán)保科技有限公司,利用韓國先進(jìn)技術(shù),飛秒激光螺旋鉆孔系統(tǒng)和獨有ELID(電解在線砂輪修正技術(shù)),飛秒激光拋光技術(shù),生產(chǎn)各種超精密零部件。MLCC方面有三星電機(jī),日本村田等很多企業(yè)的業(yè)績,是韓國三星主要供應(yīng)商。主要生產(chǎn):1,MLCC吸膜板,2,各種MLCC刀具,刀片。3,MLCC掩模板 陣列遮罩板 。4,測包機(jī)分度盤。5,各種MLCC設(shè)備精密零件。MLCC吸膜板,用于在 MLCC 疊層機(jī)和印刷機(jī)上,通過抽真空移動 0.8 微米的生陶瓷片。MLCC吸膜板與MLCC切割刀片在韓國,技術(shù)和質(zhì)量方面有壓倒性優(yōu)勢,有問題請聯(lián)系  上海安宇泰環(huán)??萍加邢薰境芗庸さ木缺葌鹘y(tǒng)的精密加工提高了一個以上的數(shù)量級。日本技術(shù)超精密真空板

超快激光采用的超短脈沖激光是利用場效應(yīng)進(jìn)行加工,不僅可以達(dá)到更高的精度,并且不會對材料表面造成損傷。半導(dǎo)體加工超精密晶圓卡盤

微泰提供半導(dǎo)體精密元件精密制造和供應(yīng)機(jī)械設(shè)備(包括半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備、生物電池、新能源電池、航空航天和羅機(jī)器人)所需的所有精密部件和模型。 根據(jù)客戶的需求,提出改進(jìn)功能的想法和設(shè)計,以及生產(chǎn)、質(zhì)量控制和檢測系統(tǒng)的高效集成基礎(chǔ)設(shè)施、材料和部件。 通過與國內(nèi)外設(shè)備制造商的合作,我們能夠以高速度、高質(zhì)量和有競爭力的優(yōu)化成本提供客戶滿意的產(chǎn)品。尺寸:MCT 5 ~ 6.5 英寸。 CNC 6 ~ 10 英寸, 旋銑  材料:AL5052, AL6061, AL7075, SUS304, SUS316,SUS630, Copper, Tungsten, Titanium, Monel, POM,PEEK。半導(dǎo)體精密元件特性:保持嚴(yán)格的公差,因此零件的制造非常精確,并需要高加工能力,以便與指定公差的偏差小。 在整個加工過程中進(jìn)行嚴(yán)格的質(zhì)量控制,識別和糾正零件的規(guī)格和偏差,從而制造出高質(zhì)量的精密零件。半導(dǎo)體加工超精密晶圓卡盤