基于能量高度集中、熱影響區(qū)小、無(wú)飛濺無(wú)熔渣、不需特殊的氣體環(huán)境、無(wú)后續(xù)工藝、雙光子聚合加工精度可達(dá)0.7um等優(yōu)勢(shì)，飛秒激光在誘導(dǎo)金屬微結(jié)構(gòu)加工應(yīng)用方面和精細(xì)加工方面都取得了很大的進(jìn)展。1.孔加工在1mm厚的不銹鋼薄片上，飛秒激光進(jìn)行了具有深孔邊緣清晰、表面干凈等特點(diǎn)的納米級(jí)深孔加工；在金屬薄膜上，鈦寶石飛秒激光加工制備出了微納米級(jí)陣列孔，孔徑至小達(dá)2.5um，孔直徑在2.5~10um間可調(diào)，至小間距可達(dá)10um，很容易實(shí)現(xiàn)10-50um間距調(diào)整。2.金屬材料表面改性1999年德國(guó)漢諾威激光中心Noltes等人報(bào)道了結(jié)合鈦寶石飛秒激光三倍頻光（260nm）和SNOM（掃描進(jìn)場(chǎng)光學(xué)顯微鏡）在金屬鎘層制出了線寬200nm的凹槽。為以后的無(wú)孔徑近場(chǎng)掃描光學(xué)顯微鏡（ANSOM）取代SNOM奠定了基礎(chǔ)，獲得了高達(dá)70nm的空間分辨率，開(kāi)拓了遠(yuǎn)場(chǎng)技術(shù)在納米范圍下的物理化學(xué)特性以及運(yùn)輸機(jī)制的研究。飛秒激光加工設(shè)備是光、機(jī)、電、自動(dòng)化技術(shù)為一體的綜合科學(xué)，是一種先進(jìn)的智能工具。韓國(guó)加工飛秒激光掩模板

飛秒激光在模具制造和加工領(lǐng)域中具有廣泛的應(yīng)用。飛秒激光是一種極短脈沖的激光，其脈沖寬度通常在飛秒（即百萬(wàn)億分之一秒）級(jí)別。這種特殊的激光特性使得它在刻蝕和加工方面具有很多優(yōu)勢(shì)，特別是在需要高精度和微觀結(jié)構(gòu)的應(yīng)用中。在模具制造中，飛秒激光可以用來(lái)進(jìn)行微細(xì)圖案的刻蝕，以實(shí)現(xiàn)模具表面的精細(xì)加工。飛秒激光刻蝕可以用于：微納米結(jié)構(gòu)的制備：飛秒激光能夠在模具表面刻蝕出微觀甚至納米級(jí)別的結(jié)構(gòu)，這些結(jié)構(gòu)可以用于制備微透鏡陣列、微流體器件、微型反應(yīng)器等。光學(xué)模具加工：飛秒激光可用于加工光學(xué)模具表面，以創(chuàng)建具有復(fù)雜形狀和微觀結(jié)構(gòu)的光學(xué)元件，如透鏡、光柵等。3.模具表面改性：飛秒激光可以通過(guò)表面改性來(lái)改善模具的性能，例如提高表面硬度、改善耐磨性等。4.模具修復(fù)：當(dāng)模具表面出現(xiàn)缺陷或磨損時(shí)，飛秒激光也可以用于局部修復(fù)，從而延長(zhǎng)模具的使用壽命。上海超精密飛秒激光加工使用飛秒激光可以實(shí)現(xiàn)?0.01mm的鉆孔，并且正在不斷開(kāi)發(fā)以實(shí)現(xiàn)比這更小尺寸的微米級(jí)孔。

我們的超快激光微加工平臺(tái)，只需簡(jiǎn)單裝夾即可滿足對(duì)于單個(gè)噴油嘴上多個(gè)不同尺寸噴孔的需求。設(shè)計(jì)人員可以輕松改變各個(gè)孔的直徑來(lái)微調(diào)每個(gè)噴孔所產(chǎn)生的噴霧。擺脫了鉆孔和電火花加工等方法的工藝束縛，從而快速制作噴油器設(shè)計(jì)原型并測(cè)試新的燃燒方案。全球?qū)I(yè)GDI噴油嘴廠商多年前就已經(jīng)開(kāi)始采用飛秒激光加工的這一先進(jìn)制造方案，并通過(guò)多次檢測(cè)證明通過(guò)此方案生產(chǎn)的噴油嘴流量誤差可以控制在1%以內(nèi)。相較其他加工技術(shù)流量誤差在3%以上，飛秒激光技術(shù)所帶來(lái)的穩(wěn)定性優(yōu)勢(shì)尤為明顯。市面上已經(jīng)出現(xiàn)此類的批量生產(chǎn)機(jī)型，微孔檢測(cè)+激光鉆噴孔或機(jī)械鉆盲孔+激光鉆噴孔是該機(jī)型的兩款衍生機(jī)型，滿足客戶的各種工藝需求，是專為GDI大批量生產(chǎn)提供的全自動(dòng)化的交鑰匙解決方案。目前，這些超快激光微孔加工解決方案正在世界各地的工廠工作，協(xié)助汽車制造商生產(chǎn)出高效的噴油器，提高發(fā)動(dòng)機(jī)性能，并滿足管理機(jī)構(gòu)嚴(yán)格的排放要求。

不只是汽車行業(yè)的噴油器微孔，微細(xì)小型化是當(dāng)下的一個(gè)明顯趨勢(shì)，迫使各行業(yè)的制造商去挑戰(zhàn)精密微細(xì)零件的生產(chǎn)，并有效控制每個(gè)零件的生產(chǎn)成本。1）工作空間的有效利用：航空航天應(yīng)用的理想選擇高成本效益的發(fā)動(dòng)機(jī)葉片和燃燒室內(nèi)襯的鉆孔和成型是MicrolutionML-10的特長(zhǎng)領(lǐng)域，該解決方案是根據(jù)航空航天業(yè)的需求而設(shè)計(jì)的。其占地面積小，可以有效降低每平方米的生產(chǎn)成本。該機(jī)床內(nèi)嵌光學(xué)相干斷層成像(OCT)系統(tǒng)，允許非接觸式測(cè)量、穿透檢測(cè)/深度跟蹤、形狀分析和燒蝕實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)，眾多益處觸手可得。2）簡(jiǎn)化醫(yī)用管材切割的復(fù)雜加工過(guò)程使用超快MLTC激光管材切割平臺(tái)可以消除大部分甚至所有的后續(xù)加工步驟。這一用于醫(yī)療設(shè)備行業(yè)及其他應(yīng)用的解決方案的特點(diǎn)是能夠以極高的精度快速準(zhǔn)確地加工金屬和聚合物管材。飛秒激光加工3）實(shí)現(xiàn)優(yōu)異的邊緣和表面質(zhì)量以及筆直的側(cè)壁創(chuàng)造獨(dú)特的形狀，如負(fù)錐度孔、變形孔（包括圓形入口和橢圓形出口）、星形圖案等。由于該解決方案采用五軸掃描測(cè)頭，可以加工出在機(jī)械設(shè)備上不可能實(shí)現(xiàn)的形狀。飛秒激光主要應(yīng)用領(lǐng)域集中在脆性材料加工，諸如手機(jī)LCD屏異形切割、手機(jī)攝像頭藍(lán)寶石蓋板切割等。

在氮化硅領(lǐng)域，飛秒激光技術(shù)已經(jīng)被廣泛應(yīng)用于各種應(yīng)用場(chǎng)景，包括微加工、光學(xué)元件制造、半導(dǎo)體加工等。例如，飛秒激光可以用于制作微型通孔、槽道、芯片切割等高精度加工任務(wù)。在光學(xué)領(lǐng)域，飛秒激光還可以用于制作具有復(fù)雜結(jié)構(gòu)的光學(xué)器件，如光波導(dǎo)、光柵等。另外，在半導(dǎo)體工業(yè)中，飛秒激光也可以用于修復(fù)芯片表面缺陷、切割硅片等工藝。飛秒激光切割和打孔技術(shù)為氮化硅等高硬度材料的加工提供了一種高效、精密且無(wú)損傷的解決方案，有望在未來(lái)得到更廣泛的應(yīng)用。對(duì)于飛秒激光而言，脈沖作用時(shí)間已經(jīng)實(shí)際小于1 ps，電子沒(méi)有足夠的時(shí)間將能量傳遞給晶格。上海微米級(jí)飛秒激光精密噴嘴

飛秒激光是指時(shí)域脈沖寬度在飛秒（10-15秒）量級(jí)的激光，在時(shí)間分辨率上屬于超快激光（ultra-fast laser）。韓國(guó)加工飛秒激光掩模板

秒激光在鉬片上打沉頭孔的應(yīng)用鉬片作為一種重要的工業(yè)材料，具有高熔點(diǎn)、高導(dǎo)電、高導(dǎo)熱等優(yōu)良性能，廣泛應(yīng)用于電子、能源、航空航天等領(lǐng)域。在鉬片上打沉頭孔是鉬片加工中的一項(xiàng)重要技術(shù)，傳統(tǒng)的加工方式存在加工效率低下、精度不高等問(wèn)題。而飛秒激光技術(shù)在鉬片上打沉頭孔的應(yīng)用，則可以很好地解決這些問(wèn)題。飛秒激光在鉬片上打沉頭孔的原理是利用飛秒激光的超快、超短、高能束的特點(diǎn)，在極短時(shí)間內(nèi)對(duì)鉬片進(jìn)行加工，形成所需的沉頭孔。加工過(guò)程中，飛秒激光的能量被精確地控制，避免了熱影響和熱損傷等問(wèn)題，保證了加工質(zhì)量和精度。同時(shí)，飛秒激光加工速度極快，可以大幅提高加工效率。韓國(guó)加工飛秒激光掩模板