微泰半導(dǎo)體閘閥的特點(diǎn)，首先介紹一下起三重保護(hù)的保護(hù)環(huán)機(jī)能，采用鋁質(zhì)材料減少重量，并提高保護(hù)環(huán)的內(nèi)部粗糙度，防止工程副產(chǎn)物堆積黏附。提升保護(hù)環(huán)內(nèi)部流速設(shè)計(jì)，保護(hù)環(huán)逐步收窄，提升流速，防止粉塵黏附。采用三元系O型圈，保證保護(hù)環(huán)驅(qū)動(dòng)穩(wěn)定（保證30萬(wàn)次驅(qū)動(dòng)）。微泰半導(dǎo)體閘閥應(yīng)用于? Evaporation（蒸發(fā)）? Sputtering（濺射）? Diamond growth by MW-PACVD（通過(guò)MW-PACVD生長(zhǎng)金剛石）? PECV? PVD(Cluster,Roll to Roll)（集群、卷對(duì)卷）? Coating（涂層）? Etch（蝕刻）? Diffusion（擴(kuò)散）?CVD（化學(xué)氣相沉積）等設(shè)備上。可替代HVA閘閥、VAT閘閥。上海安宇泰環(huán)?？萍加邢薰?。關(guān)閉真空閥涉及將閘門(mén)移動(dòng)穿過(guò)流路以形成密封。電動(dòng)閘閥楔式閘閥

微泰，多位閘閥，多位置閘閥，多定位閘閥應(yīng)用于? Evaporation（蒸發(fā)）? Sputtering（濺射）? Diamond growth by MW-PACVD（通過(guò)MW-PACVD生長(zhǎng)金剛石）? PECV? PVD(Cluster,Roll to Roll)（集群、卷對(duì)卷）? Coating（涂層）? Etch（蝕刻）? Diffusion（擴(kuò)散）?CVD（化學(xué)氣相沉積）等設(shè)備上。可替代VAT閘閥。微泰多位閘閥，多位置閘閥，多定位閘閥其特點(diǎn)是?操作模式：本地和遠(yuǎn)程?緊急情況：自動(dòng)關(guān)閉?慢速泵送功能。多位閘閥，多位置閘閥，多定位閘閥規(guī)格如下：材料：閥體 STS304， 機(jī)制 STS304、法蘭尺寸(內(nèi)徑) 4英寸~10英寸、閘門(mén)密封 FKM(VITON)、開(kāi)/關(guān)振動(dòng) 無(wú)振動(dòng)、He泄漏率1X10-9 mbar.l/sec、閘門(mén)壓差 ≤1.4 bar、分子流動(dòng)電導(dǎo)（ISO100）1891 l/s、閥座 1X10-10 mbar?L/秒、泄漏率閥體 1X10-10 mbar?L/Sec、壓力范圍 1X10-10mbar 至 1.4 bar、閘門(mén)上任一方向的壓差≤1.4 bar、安裝位置：任意。有中國(guó)臺(tái)灣Micron、UMC、AKT、新加坡Micron,Global Foundries、馬來(lái)西亞的英菲尼亞半導(dǎo)體、日本Micron、三星半導(dǎo)體和其它的設(shè)備使用業(yè)績(jī)，上海安宇泰環(huán)?？萍加邢薰?。 電動(dòng)閘閥楔式閘閥微泰控制系統(tǒng)閥門(mén)是安裝在半導(dǎo)體CVD設(shè)備中的主要閥門(mén)?？刂葡到y(tǒng)閥門(mén)起到調(diào)節(jié)腔內(nèi)壓力的作用。

微泰半導(dǎo)體閘閥的特點(diǎn)：閥門(mén)驅(qū)動(dòng)部分的所有滾子和軸承都進(jìn)行了防護(hù)處理，形成屏蔽和保護(hù)環(huán)（Shield Blocker 和 Protection Ring）用三重預(yù)防方式切斷粉末（Powder），延長(zhǎng)閥門(mén)驅(qū)動(dòng)和使用壽命。三重預(yù)防驅(qū)動(dòng)方式的Shield功能可防止氣體和粉末侵入閥體內(nèi)部，有三重保護(hù)驅(qū)動(dòng)保護(hù)環(huán)，長(zhǎng)久延長(zhǎng)GV壽命的Shield方法-供應(yīng)給海外半導(dǎo)體T公司、M公司和I公司Utility設(shè)備。擋板與閥體的距離小于1mm，阻擋內(nèi)部粉末和氣體的流入，屏蔽擋板是采用1.5 t AL材料，考慮了復(fù)原力，并采用Viton粉末熱壓制成。三重保護(hù)保護(hù)環(huán)的主要功能說(shuō)明-AL材料的重量減輕和保護(hù)環(huán)內(nèi)部照明的改善-保護(hù)環(huán)內(nèi)部流速的增加-三元環(huán)應(yīng)用確保驅(qū)動(dòng)性能。

微泰主要產(chǎn)品有1、-手動(dòng)鎖定閥：操作鎖定按鈕關(guān)閉正在抽吸中的切斷閥門(mén)切斷現(xiàn)象的源頭：2、特殊閥門(mén)：全金屬配件構(gòu)成，由電磁閥+傳感器+D-Sub+角閥組成；3、三位閥：半開(kāi)功能的壓力控制閥。氣動(dòng)閘閥：?產(chǎn)品范圍：1.5~30英寸?高壓/超高壓都可用?維護(hù)前可用次數(shù)：25萬(wàn)次?響應(yīng)時(shí)間：0.2秒~3秒；手動(dòng)（鎖定）閘閥?產(chǎn)品范圍：1.5~12英寸?高壓/超高壓都可用?維護(hù)前可用次數(shù)：25萬(wàn)次；專(zhuān)門(mén)用閘閥：產(chǎn)品范圍：1.5~12英寸?高壓/超高壓都可用?維護(hù)前可用次數(shù)：25萬(wàn)次，響應(yīng)時(shí)間：0.2秒客戶(hù)指定的法蘭，可安裝角閥；三位閘閥：產(chǎn)品范圍：2.5~12英寸?高壓/超高壓都可用?維護(hù)前可用次數(shù)：20萬(wàn)次?響應(yīng)時(shí)間：0.2秒~3秒；有中國(guó)臺(tái)灣Micron、UMC、AKT、新加坡Micron,Global Foundries、馬來(lái)西亞的英菲尼亞半導(dǎo)體、日本Micron、三星半導(dǎo)體和其它的設(shè)備使用業(yè)績(jī)，可替代HVA閘閥、VAT閘閥。上海安宇泰環(huán)保科技有限公司。高壓閘閥，屬于強(qiáng)制密封式閥門(mén)，所以在閥門(mén)關(guān)閉時(shí)，必須向閘板施加壓力，以強(qiáng)制密封面不泄漏。

微泰,傳輸閥、轉(zhuǎn)換閥、輸送閥、轉(zhuǎn)移閥是安裝在半導(dǎo)體PVDCVD設(shè)備工藝模塊和工藝室之間的閥門(mén)系統(tǒng)。它充當(dāng)將位于工藝模塊中的晶圓轉(zhuǎn)移到工藝室的溝槽。此外，它極大限度地減少了由于閘板打開(kāi)和關(guān)閉造成的真空壓力變化，使腔室內(nèi)的真空壓力得以維持。負(fù)責(zé)門(mén)控半導(dǎo)體晶圓轉(zhuǎn)移的傳輸閥、轉(zhuǎn)換閥、輸送閥、轉(zhuǎn)移閥分為兩種類(lèi)型:I型和L型? Product Range : 32 x 222 / 46 x 236 ，50 x 336 / 56 x 500 ，? Cycles of first service : 1,000,000 ? Response Time : 2sec ? Customer Specified Flanges ，轉(zhuǎn)移閥產(chǎn)品由鋁或不銹鋼制成，用于傳輸晶圓小于450毫米的半導(dǎo)體系統(tǒng)和隔離工藝室。本型的特點(diǎn)是葉片在垂直方向上快速移動(dòng)，確保完美的腔室壓力維持。它采用具有LM導(dǎo)向系統(tǒng)和單連桿的內(nèi)部機(jī)構(gòu)，保證高耐用性和長(zhǎng)壽命。二、L型轉(zhuǎn)移閥。L型轉(zhuǎn)移閥產(chǎn)品由鋁或不銹鋼制造，其特點(diǎn)是設(shè)計(jì)緊湊，易于維護(hù)。I型和L型轉(zhuǎn)移閥在在閘門(mén)開(kāi)啟和關(guān)閉過(guò)程中極大限度地減少了振動(dòng)，并且對(duì)溫度變化非常穩(wěn)定，確保了較長(zhǎng)的使用壽命。此外，即使長(zhǎng)時(shí)間使用柵極，它們產(chǎn)生的顆粒也很少，從而避免了晶圓缺陷或主器件的污染。微泰不斷創(chuàng)新，在開(kāi)發(fā)先進(jìn)的壓力控制和控制閥制造專(zhuān)業(yè)從事真空閘閥不懈努力。閘閥的結(jié)構(gòu)長(zhǎng)度(系殼體兩連接端面之間的距離)較小。專(zhuān)門(mén)用閘閥英菲尼亞半導(dǎo)體

金屬閥體襯里高壓閥門(mén)主要有襯膠閥門(mén)、襯氟閥門(mén)、襯鉛閥門(mén)、襯塑閥門(mén)、襯搪瓷閥門(mén)。電動(dòng)閘閥楔式閘閥

微泰，傳輸閥 (I-MOTION)、I型轉(zhuǎn)換閥、輸送閥、轉(zhuǎn)移閥應(yīng)用于晶圓加工，半導(dǎo)體加工，可替代VAT閘閥。其特點(diǎn)是? 主體材料：鋁或不銹鋼? 緊湊型設(shè)計(jì)? 使用維修配件工具包易于維護(hù)? 應(yīng)用：半導(dǎo)體系統(tǒng)中小于 450mm 晶圓的傳輸和處理室隔離，傳輸閥 (I-MOTION)、輸送閥、轉(zhuǎn)移閥規(guī)格如下：閘門(mén)密封類(lèi)型：傳輸閥 (I-MOTION)、右動(dòng)轉(zhuǎn)換閥、驅(qū)動(dòng)方式：氣動(dòng)、法蘭尺寸（內(nèi)徑） 32×222/46×236/50×336/56×500 、連接方式：焊接波紋管、閘門(mén)密封 Viton O 形圈/硫化密封件、閥蓋密封：氟橡膠O型圈、響應(yīng)時(shí)間：≤ 2 sec、工作壓力范圍：1×10-10 mbar to 1200 mbar、開(kāi)始時(shí)的壓差：≤ 30 mbar、開(kāi)啟時(shí)壓差： ≤ 1200 mbar r、泄漏率不銹鋼：< 1×10 -9Mbar?/秒/鋁：< 1×10 -5  mbar ?/秒、維護(hù)前可用次數(shù)： ≥1,000,000次、閥體溫度≤ 200 °、機(jī)構(gòu)溫度≤ 80 °C、烤爐溫度≤ 200 °C、材料：閥體(不銹鋼304)/驅(qū)動(dòng)器(鋁6061陽(yáng)極氧化)、安裝位置：任意、操作壓力(N2)：4 ~ 7 bar。有中國(guó)臺(tái)灣Micron、UMC、AKT、新加坡Micron,Global Foundries、馬來(lái)西亞的英菲尼亞半導(dǎo)體、日本Micron、三星半導(dǎo)體和其它的設(shè)備使用業(yè)績(jī)，上海安宇泰環(huán)?？萍加邢薰尽ｋ妱?dòng)閘閥楔式閘閥