微泰的傳輸閥、轉換閥、輸送閥、轉移閥是安裝在半導體 PVD CVD 設備工藝模塊和工藝室之間的閥門系統(tǒng)，起著將工藝模塊中的晶圓轉移到工藝室的關鍵作用，就像一條溝槽。這些閥門能極大程度地減少閘板開閉時造成的真空壓力變化，使腔室內的真空壓力得以穩(wěn)定維持。負責門控半導體晶圓轉移的傳輸閥、轉換閥、輸送閥、轉移閥分為 I 型和 L 型兩種。其產品范圍包括多種尺寸規(guī)格，如 32 x 222、46 x 236、50 x 336、56 x 500 等。維護前使用周期可達 100 萬次，響應時間為 2 秒，并可根據客戶要求定制法蘭。這些轉移閥產品有鋁制或不銹鋼制兩種，用于傳輸晶圓小于 450 毫米的半導體系統(tǒng)和隔離工藝室。I 型的特點是葉片能在垂直方向上快速移動，保證腔室壓力完美維持，它采用具有 LM 導向系統(tǒng)和單連桿的內部機構，確保高耐用性和長壽命。L 型轉移閥產品則設計緊湊，易于維護。I 型和 L 型轉移閥在閘門開啟和關閉過程中能極大限度地減少振動，且對溫度變化非常穩(wěn)定，能確保較長的使用壽命。此外，它們即使長時間使用，產生的顆粒也很少，能避免晶圓缺陷和主器件污染。微泰不斷創(chuàng)新，在壓力控制和控制閥制造方面持續(xù)努力，專注于真空閘閥的研發(fā)。微泰轉移閥是安裝在半導體PVDCVD設備工藝模塊和工藝室之間的閥門系統(tǒng)。轉移閘閥TRANSFER VALVE

閘閥是啟閉件(閘板)，由閥桿帶動，沿閥座(密封面)做直線升降運動的閥門。一般，閘閥不可用來調節(jié)流量，只能作為截斷裝置使用，要么完全開啟，要么完全關閉。在各種類型的閥門中，閘閥是應用很多的一種。既適用于常溫和常壓工況，也適用于高溫及低溫和高壓及低壓工況，并可以通過選用不同的材質，適用于各種不同的介質中。閘閥具有如下優(yōu)點：①流體阻力小。閘閥閥體內部介質通道是直通的，介質流經閘閥時不改變其流動方向，因而流體阻力較小。②結構長度(與管道相連接的兩端面間的距離)較小。由于閘板呈圓盤狀，是垂直置于閥體內的，而截止閥閥瓣(也呈圓盤狀)是平行置于閥體內的，因而與截止閥相比，其結構長度較小。如PN16、DN150的截止閥，其結構長度為480mm，而同一參數的閘閥結構長度只有350mm。③啟閉較省力。啟閉時閘板運動方向與介質流動方向相垂直，而截止閥閥瓣通常在關閉時的運動方向與閥座處介質流動方向相反，因而必須克服介質的作用力。所以與截止閥相比，閘閥的啟閉較為省力。④介質流動方向不受限制。介質可從閘閥兩側任意方向流過閘閥，均能達到接通或截斷的目的。便于安裝，適用于介質的流動方向可能改變的管路中。極高真空閘閥楔式閘閥閘閥按閘板結構形式分為單閘板和雙閘板兩種。

微泰，專門用閘閥應用于? Evaporation? Sputtering? Diamond growth by MW-PACVD? PECV? PVD? Coating? Etch? Diffusion（擴散）?CVD等設備上。可替代VAT閘閥。期特點是*使用維修配件工具包易于維護*將電磁閥和位置傳感器連接到15針D-Sub*鎖定功能*限位開關*?速度控制器&電磁閥（2Port+N2Port）用不銹鋼管連接（φ6）*應用:泵隔離,產品工藝水平要求高的地方。專門用閘閥規(guī)格如下：驅動方式：氣動、法蘭尺寸：4英寸~ 8英寸、法蘭類型：ISO, JIS, ASA, CF、連接方式：焊接波紋管、閥門密封：氟橡膠O型圈/Kalrez O型環(huán)/EPDM、閥蓋密封：Viton O型圈、響應時間：≤ 0.3 sec ~2 sec、操作壓力范圍：1.5? ~ 6? : 1×10-10 mbar to 1400 mbar，8? ~ 12? : 1×10-10 mbar to 1200 mbar 、開始時的壓差：≤ 30 mbar、閘門的差動壓力：4? ~ 6? : ≤ 1400 mbar / 8? ~ 14? ≤ 1200 mbar、泄漏率：< 1×10 -10 Mbar/秒、初次維護前可用次數：200,000次、閥體溫度≤ 200 °、CTemperature for Actuator≤ 80 °C、烤爐溫度≤ 150 °C、材料：閥體(不銹鋼304)/驅動器(鋁6061陽極氧化)、安裝位置：任意、操作壓力(N2)：4 ~ 7 bar。有中國臺灣Micron、UMC、AKT、Micron,Global Foundries、英菲尼亞半導體、日本Micron、三星半導體業(yè)績。

平板閘閥的選用原則1.石油、天然氣的輸送管線，選用單閘板和雙閘板的平板閘閥。如需清掃管線的，選用單閘板和雙閘板帶導流孔的明桿平板閘閥。2.成品油的輸送管線和貯存設備，選用無導流孔的單閘板或雙閘板的平板閘閥。3.石油、天然氣的開采井口裝置，選用暗桿浮動閥座帶導流孔的單閘板或雙閘板的平板閘閥。4.帶有懸浮顆粒介質的管道，選用刀形平板閘閥。5.城市煤氣輸送管線，選用單閘板或雙閘板軟密封明桿平板閘閥。6.城市自來水工程，選用單閘板或雙閘板無導流孔明桿平板閘閥。需要指出的是：所有的閘閥均不允許用于作調節(jié)介質流量用，因此，在開啟時必須將閘板全部提升到通道上方。當真空閥打開時，閘門移出流路，使氣體以高電導率通過。

微泰半導體主加工設備腔內精確壓力控制的閘閥，控制系統(tǒng)閘閥，控制閘閥、控制系統(tǒng)插板閥、控制系統(tǒng)閘閥具有可隔離的閘閥，以滑動方式操作，可以在高真空環(huán)境中實現精確的壓力控制。如半導體等高真空工藝應用?？刂葡到y(tǒng)閘閥是自動控制到用戶指定的值，通過控制器和步進電機保持一致的真空壓力。微泰半導體閘閥被廣泛應用于 Evaporation（蒸發(fā)）、Sputtering（濺射）、Diamond growth by MW-PACVD（通過 MW-PACVD 生長金剛石）、PECV、PVD(Cluster,Roll to Roll)（集群、卷對卷）、Coating（涂層）、Etch（蝕刻）、Diffusion（擴散）、CVD（化學氣相沉積）等設備上，可替代 HVA 閘閥、VA T閘閥。有中國臺灣Micron、UMC、AKT、新加坡Micron,Global Foundries、馬來西亞的英菲尼亞半導體、日本Micron、三星半導體和其它的設備使用業(yè)績。該閘閥由上海安宇泰環(huán)?？萍加邢薰咎峁?。真空閘閥廣泛應用于各種真空系統(tǒng)和工藝過程中，如半導體生產、電子設備制造、科研實驗、航空航天等領域。UHV閘閥BUTTERFLY VALVE

真空閘閥的設計具有獨特的特征。它們具有堅固的結構，通常使用不銹鋼或鋁等材料來抵抗真空條件。轉移閘閥TRANSFER VALVE

微泰,傳輸閥、轉換閥、輸送閥、轉移閥是安裝在半導體PVDCVD設備工藝模塊和工藝室之間的閥門系統(tǒng)。它充當將位于工藝模塊中的晶圓轉移到工藝室的溝槽。I型和L型轉移閥是用于半導體PVD CVD設備工藝模塊和工藝室之間的閥門系統(tǒng)。它們的作用是將位于工藝模塊中的晶圓轉移到工藝室的溝槽，并極大限度地減少由于閘板打開和關閉造成的真空壓力變化，以維持腔室內的真空壓力。I型轉移閥由鋁或不銹鋼制成，用于傳輸晶圓小于450毫米的半導體系統(tǒng)和隔離工藝室。其特點是葉片在垂直方向上快速移動，以確保完美的腔室壓力維持。而L型轉移閥也由鋁或不銹鋼制造，其特點是設計緊湊，易于維護。L型轉移閥的閘門在兩個階段從垂直到水平方向移動，以確保完美的腔室壓力維護。這兩種類型的轉移閥都具有高耐用性和長壽命的優(yōu)點，并且在閘門開啟和關閉過程中極大限度地減少了振動，對溫度變化也非常穩(wěn)定，以確保較長的使用壽命。如果您需要了解更多關于微泰傳輸閥、轉換閥、輸送閥、轉移閥的信息，請聯系上海安宇泰環(huán)?？萍加邢薰尽＾D移閘閥TRANSFER VALVE