真空鍍膜有三種形式,即蒸發(fā)鍍膜、濺射鍍膜和離子鍍:蒸發(fā)鍍膜,通過(guò)加熱蒸發(fā)某種物質(zhì)使其沉積在固體表面;濺射鍍膜用高能粒子轟擊固體表面時(shí)能使固體表面的粒子獲得能量并逸出表面,沉積在基片上;離子鍍蒸發(fā)物質(zhì)的分子被電子碰撞電離后以離子沉積在固體表面。這三種形式的真空鍍膜技術(shù)都需要一種快速冷卻裝置來(lái)輔助真空鍍膜工程。真空設(shè)備由于在鍍膜過(guò)程中工件處于密閉的真空環(huán)境中,但產(chǎn)品工藝及性能卻喪失了很多,現(xiàn)有的真空鍍膜設(shè)備,也有冷卻裝置,但其冷卻效果不是很理想。不能滿足人們的需要,為彌補(bǔ)現(xiàn)有技術(shù)不足,提供真空鍍膜設(shè)備手套箱蒸鍍一體機(jī),本系統(tǒng)由真空鍍膜系統(tǒng)和手套箱系統(tǒng)集成而成,可在高真空蒸鍍腔室中完成薄膜蒸鍍,并在手套箱高純惰性氣體氛圍下進(jìn)行樣品的存放、制備以及蒸鍍后樣品的檢測(cè)。能保證鍍膜產(chǎn)品工藝及性能質(zhì)量的要求而設(shè)置的快速冷卻系統(tǒng),實(shí)現(xiàn)自動(dòng)控制快速冷卻的目的。蒸發(fā)鍍膜與手套箱組合,實(shí)現(xiàn)蒸鍍、封裝、測(cè)試等工藝全封閉制作,使整個(gè)薄膜生長(zhǎng)和器件制備過(guò)程高度集成在一個(gè)完整的可控環(huán)境氛圍的系統(tǒng)中,消除有機(jī)大面積電路制備過(guò)程中大氣環(huán)境中不穩(wěn)定因素影響,保障了高性能、大面積有機(jī)光電器件和電路的制備。卷繞鍍膜機(jī)如何在使用時(shí)做好保養(yǎng)?小型卷繞鍍膜機(jī)案例
PVD是英文PhysicalVaporDeposition(物***相沉積)的縮寫,是指在真空條件下,采用低電壓、大電流的電弧放電技術(shù),利用氣體放電使靶材蒸發(fā)并使被蒸發(fā)物質(zhì)與氣體都發(fā)生電離,利用電場(chǎng)的加速作用,使被蒸發(fā)物質(zhì)及其反應(yīng)產(chǎn)物沉積在工件上。PVD技術(shù)的發(fā)展PVD技術(shù)出現(xiàn)于二十世紀(jì)七十年代末,制備的薄膜具有高硬度、低摩擦系數(shù)、很好的耐磨性和化學(xué)穩(wěn)定性等優(yōu)點(diǎn)。**初在高速鋼刀具領(lǐng)域的成功應(yīng)用引起了世界各國(guó)制造業(yè)的高度重視,人們?cè)陂_(kāi)發(fā)高性能、高可靠性涂層設(shè)備的同時(shí),也在硬質(zhì)合金、陶瓷類刀具中進(jìn)行了更加深入的涂層應(yīng)用研究。與CVD工藝相比,PVD工藝處理溫度低,在600℃以下時(shí)對(duì)刀具材料的抗彎強(qiáng)度無(wú)影響;薄膜內(nèi)部應(yīng)力狀態(tài)為壓應(yīng)力,更適于對(duì)硬質(zhì)合金精密復(fù)雜刀具的涂層;PVD工藝對(duì)環(huán)境無(wú)不利影響,符合現(xiàn)代綠色制造的發(fā)展方向。目前PVD涂層技術(shù)已普遍應(yīng)用于硬質(zhì)合金立銑刀、鉆頭、階梯鉆、油孔鉆、鉸刀、絲錐、可轉(zhuǎn)位銑刀片、異形刀具、焊接刀具等的涂層處理。PVD技術(shù)不僅提高了薄膜與刀具基體材料的結(jié)合強(qiáng)度,涂層成分也由***代的TiN發(fā)展為TiC、TiCN、ZrN、CrN、MoS2、TiAlN、TiAlCN、TiN-AlN、CNx、DLC和ta-C等多元復(fù)合涂層。真空手套箱金屬件PVD裝飾膜鍍制工藝。江蘇卷繞鍍膜機(jī)卷繞鍍膜機(jī)的涂覆效果均勻,不易出現(xiàn)氣泡和起皺。
真空鍍膜應(yīng)用是真空應(yīng)用中的一個(gè)大分支,在光學(xué)、電子學(xué)、理化儀器、包裝、機(jī)械以及表面處理技術(shù)等眾多方面有著十分***的應(yīng)用。真空鍍膜應(yīng)用,簡(jiǎn)單地理解就是在真空環(huán)境下,利用蒸鍍、濺射以及隨后凝結(jié)的辦法,在金屬、玻璃、陶瓷、半導(dǎo)體以及塑料件等物體上鍍上金屬薄膜或者是覆蓋層。相對(duì)于傳統(tǒng)鍍膜方式,真空鍍膜應(yīng)用屬于一種干式鍍膜,它的主要方法包括以下幾種:真空蒸鍍其原理是在真空條件下,用蒸發(fā)器加熱帶蒸發(fā)物質(zhì),使其氣化或升華,蒸發(fā)離子流直接射向基片,并在基片上沉積析出固態(tài)薄膜的技術(shù)。濺射鍍膜濺射鍍膜是真空條件下,在陰極接上2000V高壓電,激發(fā)輝光放電,帶正電的氬離子撞擊陰極,使其射出原子,濺射出的原子通過(guò)惰性氣氛沉積到基片上形成膜層。離子鍍膜即干式螺桿真空泵廠家已經(jīng)介紹過(guò)的真空離子鍍膜。它是在上面兩種真空鍍膜技術(shù)基礎(chǔ)上發(fā)展而來(lái)的,因此兼有兩者的工藝特點(diǎn)。在真空條件下,利用氣體放電使工作氣體或被蒸發(fā)物質(zhì)(膜材)部分離化,并在離子轟擊下,將蒸發(fā)物或其反應(yīng)物沉積在基片表面。在膜的形成過(guò)程中,基片始終受到高能粒子的轟擊,十分清潔。真空卷繞鍍膜真空卷繞鍍膜是一種利用物***相沉積的方法在柔性基體上連續(xù)鍍膜的技術(shù)。
氧化鉍、Bi2O3,氧化鐠、Pr6O11,氧化銻、Sb2O3,氧化釩、V2O5,氧化鎳、NiO,氧化鋅、ZnO,氧化鐵、Fe2O3,氧化鉻、Cr2O3,氧化銅、CuO等。高純氟化物氟化鎂、MgF2,氟化鐿、YbF3,氟化釔、LaF3,氟化鏑、DyF3,氟化釹、NdF3,氟化鉺、ErF3,氟化鉀、KF,氟化鍶、SrF3,氟化釤、SmF3,氟化鈉、NaF,氟化鋇、BaF2,氟化鈰、CeF3,氟化鉛等。高純金屬類高純鋁,高純鋁絲,高純鋁粒,高純鋁片,高純鋁柱,高純銅,高純銅絲,高純銅片,高純銅粒,高純鉻,高純鉻粒,高純鉻粉,高純鉻塊,鉻條,高純鈷,高純鈷粒,高純金,高純金絲,高純金片,高純金粒,高純銀,高純銀絲,高純銀粒,高純銀片,高純鉑,高純鉑絲,高純鉿,高純鉿粉,高純鉿絲,高純鉿粒,高純鎢,高純鎢粒,高純鉬,高純鉬粒,高純鉬片,高純硅,高純單晶硅,高純多晶硅,高純鍺,高純鍺粒,高純錳,高純錳粒,高純鈷,高純鈷粒,高純鈮,高純錫,高純錫粒,高純錫絲,高純鎢,高純鎢粒,高純鋅,高純鋅粒,高純釩,高純釩粒,高純鐵,高純鐵粒,高純鐵粉,高純鈦,高純鈦片,高純鈦粒,海面鈦,高純鋯,高純鋯絲,海綿鋯,碘化鋯,高純鋯粒,高純鋯塊,高純碲,高純碲粒,高純鍺,高純鎳,高純鎳絲,高純鎳片。卷繞鍍膜機(jī)的操作簡(jiǎn)單,非常易于維護(hù)。
測(cè)試結(jié)果:涂層表面無(wú)明顯破壞的痕跡.測(cè)試項(xiàng)目五:耐化妝品測(cè)試測(cè)試程式:先用棉布將產(chǎn)品的表面檫拭干凈,將凡士林護(hù)手霜涂在產(chǎn)品的表面上,將產(chǎn)品防在恒溫箱中(溫度55-65,90-98%RH),保持24小時(shí),將產(chǎn)品取出,用棉布將化妝品檫拭干凈,觀察外表,24小時(shí)后做附著力測(cè)試.測(cè)試工具:棉布,凡士林,高低試驗(yàn)箱測(cè)試結(jié)果:涂層表面無(wú)異常現(xiàn)象,附著力OK.測(cè)試項(xiàng)目六:耐手汗測(cè)試測(cè)試程式:將手汗(主要的成分:氨水1.07%,NaCl0.48%,其余為水)浸泡后的無(wú)紡布貼在產(chǎn)品的表面,用塑料袋密封后,在常溫的環(huán)境放置12小時(shí),將產(chǎn)品表面的汗液檫拭干凈,檢查涂層的外觀,24小時(shí)后做附著力測(cè)試.測(cè)試工具:高低溫試驗(yàn)箱測(cè)試結(jié)果:涂層外觀無(wú)異常現(xiàn)象,附著力OK測(cè)試項(xiàng)目七:耐滲透測(cè)試測(cè)試程式:用材料(PE袋子,吸塑)分別剪成直徑1cm的圓塊放在上面,上面平放500gf的重物(壓強(qiáng)為637g/cm*cm)之后放進(jìn)60度烤箱中48小時(shí),檢查與圓塊接觸面外觀,24小時(shí)后做附著力測(cè)試.測(cè)試工具:高低溫試驗(yàn)箱測(cè)試結(jié)果:不黏連,外觀無(wú)異常現(xiàn)象,附著力OK測(cè)試項(xiàng)目八:低溫保存測(cè)試程式:將恒溫箱設(shè)置為20度,95%RH。卷繞鍍膜機(jī)在使用中有哪些注意事項(xiàng)?江蘇卷繞鍍膜機(jī)專業(yè)服務(wù)
鍍膜機(jī)的使用可以提高產(chǎn)品的質(zhì)量和外觀效果。小型卷繞鍍膜機(jī)案例
常采用旋轉(zhuǎn)基片或多蒸發(fā)源的方式以保證膜層厚度的均勻性。從蒸發(fā)源到基片的距離應(yīng)小于蒸氣分子在殘余氣體中的平均自由程,以免蒸氣分子與殘氣分子碰撞引起化學(xué)作用。蒸氣分子平均動(dòng)能約為~。蒸發(fā)源有三種類型。①電阻加熱源:用難熔金屬如鎢、鉭制成舟箔或絲狀,通以電流,加熱在它上方的或置于坩堝中的蒸發(fā)物質(zhì)(圖1[蒸發(fā)鍍膜設(shè)備示意圖])電阻加熱源主要用于蒸發(fā)Cd、Pb、Ag、Al、Cu、Cr、Au、Ni等材料;②高頻感應(yīng)加熱源:用高頻感應(yīng)電流加熱坩堝和蒸發(fā)物質(zhì);③電子束加熱源:適用于蒸發(fā)溫度較高(不低于2000[618-1])的材料,即用電子束轟擊材料使其蒸發(fā)。蒸發(fā)鍍膜與其他真空鍍膜方法相比,具有較高的沉積速率,可鍍制單質(zhì)和不易熱分解的化合物膜。為沉積高純單晶膜層,可采用分子束外延方法。生長(zhǎng)摻雜的GaAlAs單晶層的分子束外延裝置如圖2[分子束外延裝置示意圖]。噴射爐中裝有分子束源,在超高真空下當(dāng)它被加熱到一定溫度時(shí),爐中元素以束狀分子流射向基片?;患訜岬揭欢囟龋练e在基片上的分子可以徙動(dòng),按基片晶格次序生長(zhǎng)結(jié)晶用分子束外延法可獲得所需化學(xué)計(jì)量比的高純化合物單晶膜,薄膜慢生長(zhǎng)速度可控制在1單層/秒。小型卷繞鍍膜機(jī)案例