所述線(xiàn)圈截面為正方形，線(xiàn)圈上端距離頂部端面不低于150mm；所述線(xiàn)圈纏繞密度從上端至底部依次減少；所述中心加熱筒上端開(kāi)口連接汽水引出管，下端開(kāi)口連接汽水引進(jìn)管，所述外筒體一側(cè)與輔助加熱水套汽水引入管連接。進(jìn)一步地，所述線(xiàn)圈固定裝置包括絕緣支柱，所述絕緣支柱上端通過(guò)支柱定位管與支柱固定塊固定連接，下端與固定于底端平面的支柱底座連接；所述絕緣支柱上設(shè)有若干用于線(xiàn)圈定位的定位螺栓。進(jìn)一步地，所述線(xiàn)圈固定裝置設(shè)有三組，以中心加熱筒軸線(xiàn)為中心呈正三角形分布。進(jìn)一步地，所述絕緣支柱采用耐高溫二苯醚層壓板，壓板外側(cè)設(shè)有陶瓷套。進(jìn)一步地，所述汽水引出管連接鍋筒；所述鍋筒還設(shè)有分別與汽水引進(jìn)管以及輔助加熱水套汽水引入管連接的下降管，形成完整的汽水循環(huán)。進(jìn)一步地，所述電磁感應(yīng)加熱單元結(jié)構(gòu)設(shè)置有若干組，每?jī)山M電磁感應(yīng)加熱單元未封閉端面距離不低于500mm。有益效果：本發(fā)明提供的電磁感應(yīng)加熱單元具有以下優(yōu)點(diǎn)：(1)采用全包覆緊湊型設(shè)計(jì)，一方面減少電磁場(chǎng)泄漏，另一方面可以縮減加熱單元之間或加熱單元與周邊金屬框架之間的間距。(2)采用線(xiàn)圈的分區(qū)段設(shè)計(jì)，針對(duì)立式管內(nèi)被加熱工質(zhì)存在預(yù)熱段、過(guò)冷沸騰段、核態(tài)沸騰段等不同區(qū)段。每一個(gè)芯片的電性能力和電路機(jī)能都被檢測(cè)到。上海 PA2012-FC-PCC20A加熱板

    **減少了加熱器的使用壽命和工藝穩(wěn)定性。技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：本實(shí)用新型目的是提供一種等離子體cvd晶圓加熱器用表面修磨裝置，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，操作方便，修磨效果好，效率高，解決了以上技術(shù)問(wèn)題。為了實(shí)現(xiàn)上述技術(shù)目的，達(dá)到上述的技術(shù)要求，本實(shí)用新型所采用的技術(shù)方案是：一種等離子體cvd晶圓加熱器用表面修磨裝置，其特征在于：從下至上依次設(shè)置有安裝支架、旋轉(zhuǎn)裝置、加熱器支撐圓盤(pán)、研磨盤(pán)，晶圓加熱器設(shè)置在加熱器支撐圓盤(pán)和研磨盤(pán)之間；研磨盤(pán)包括研磨盤(pán)主體，研磨盤(pán)主體底部設(shè)置有研磨塊、調(diào)節(jié)支撐圓柱，研磨盤(pán)主體通過(guò)調(diào)節(jié)螺栓與研磨塊相連接固定，調(diào)節(jié)螺栓的上端設(shè)置有數(shù)顯深度測(cè)量指示表；所述的安裝支架包括安裝支撐柱，安裝支撐柱上端設(shè)置有安裝平板，安裝支撐柱下端設(shè)置有高度調(diào)節(jié)塊，安裝平板上設(shè)置有安裝主體，安裝主體內(nèi)部設(shè)置有臺(tái)階孔，裝有旋轉(zhuǎn)電機(jī)的固定座下部與臺(tái)階孔相配合固定，旋轉(zhuǎn)電機(jī)的上表面設(shè)置有連接圓盤(pán)，連接圓盤(pán)上端設(shè)置有支撐圓盤(pán)本體，支撐圓盤(pán)本體上端通過(guò)螺絲固定有圓環(huán)；所述的調(diào)節(jié)支撐圓柱與圓環(huán)相連接。推薦的：所述的高度調(diào)節(jié)塊與安裝支撐柱之間設(shè)置為螺紋連接。PA8020-CC-PCC200V加熱板說(shuō)明書(shū)沉積利用PECVD沉積一層無(wú)摻雜氧化層，保護(hù)元件，并進(jìn)行退火處理。

    如表1:表16月18日高頻系統(tǒng)改進(jìn)效果分析原始數(shù)據(jù)(°C)權(quán)利要求1.一種精確控溫的高頻加熱裝置，包括有對(duì)物件進(jìn)行升溫的高頻機(jī)，其特征在于，還包括有監(jiān)測(cè)物件溫度并反饋正比電壓信號(hào)的溫度測(cè)控模塊和接收電壓信號(hào)并控制高頻機(jī)輸出功率的信號(hào)調(diào)理模塊。2.一種利用如權(quán)利要求1所述的精確控溫的高頻加熱裝置的加熱方法，其特征在于包括有如下步驟第一步，開(kāi)始高頻加熱，高頻機(jī)滿(mǎn)負(fù)荷加熱升溫，溫度測(cè)控模塊監(jiān)測(cè)物件溫度，當(dāng)物件溫度距目標(biāo)溫度80120°C時(shí)，改為動(dòng)態(tài)功率加熱；第二步，溫度測(cè)控模塊根據(jù)不同溫度，反饋與溫度成正比的電壓值，信號(hào)調(diào)理模塊根據(jù)電壓值的大小反比例調(diào)節(jié)高頻機(jī)的功率輸出，使其越接近目標(biāo)溫度，輸出功率越??；第三步，信號(hào)調(diào)理模塊動(dòng)態(tài)調(diào)節(jié)高頻機(jī)的功率輸出，物件溫度保持在目標(biāo)溫度值的士5°C的范圍內(nèi)。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的精確控溫的高頻加熱裝置，其特征在于所述的溫度測(cè)控模塊為紅外線(xiàn)溫度測(cè)控模塊。全文摘要本發(fā)明涉及一種高頻加熱時(shí)溫度控制的方法，具體涉及一種晶體管高頻加熱時(shí)精確控制溫度的裝置及方法；包括高頻機(jī)、溫度測(cè)控模塊和信號(hào)調(diào)理模塊；方法為1，開(kāi)始高頻機(jī)滿(mǎn)負(fù)荷加熱升溫，溫度測(cè)控模塊監(jiān)測(cè)物件溫度。

    晶圓放置在墊柱3上，使晶圓與加熱盤(pán)1之間形成間隙，防止晶圓與加熱盤(pán)1直接接觸從而損壞晶圓，。加熱盤(pán)1上還設(shè)有限位柱4，限位柱4的數(shù)量為6個(gè)，晶圓放置在6個(gè)限位柱之間，這方每次加熱晶圓時(shí)，晶圓都能放置在加熱盤(pán)1的固定位置。底板2上設(shè)置有溫度傳感器5，溫度傳感器5用于檢測(cè)底板2上溫度值。底板2上設(shè)置有過(guò)溫保護(hù)器6，當(dāng)溫度過(guò)高使，對(duì)加熱器及時(shí)斷電，防止加熱器損壞。實(shí)施例二、加熱器在工作過(guò)程中溫度較高，這樣加熱器的周?chē)臏囟纫矔?huì)較高，很容易燙傷工作人員，因此在上述實(shí)施例的基礎(chǔ)上，曾設(shè)了隔熱環(huán)7，隔熱環(huán)7套設(shè)在加熱器**，起到了對(duì)周?chē)魺岬淖饔?，同時(shí)也減少了加熱器熱量的散發(fā)，同時(shí)也保證的工作人員與底板2或加熱盤(pán)的直接接觸，有效的避免了。以上*是本發(fā)明的推薦實(shí)施方式，應(yīng)當(dāng)指出，對(duì)于本技術(shù)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來(lái)說(shuō)，在不脫離本發(fā)明技術(shù)原理的前提下，還可以做出若干改進(jìn)和潤(rùn)飾，這些改進(jìn)和潤(rùn)飾也應(yīng)視為本發(fā)明的保護(hù)范圍。輔助加熱水套與中心加熱筒2連通的一端用于輔助加熱，封閉端用于線(xiàn)圈7的安裝檢修。

    這也使得控制溫度在目標(biāo)溫度士20°C范圍內(nèi)波動(dòng)，波動(dòng)范圍較大。發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明所要解決的技術(shù)問(wèn)題是提供一種能夠在高頻加熱時(shí)將工件溫度控制在目標(biāo)溫度士5°C范圍內(nèi)的溫度控制裝置及方法。為達(dá)到上述目的，本發(fā)明提供一種高頻加熱時(shí)精確控制溫度的裝置及方法，其中，裝置包括有對(duì)物件進(jìn)行升溫的高頻機(jī)，監(jiān)測(cè)物件溫度并反饋正比電壓信號(hào)的溫度測(cè)控模塊和接收電壓信號(hào)并控制高頻機(jī)輸出功率的信號(hào)調(diào)理模塊。加熱方法，包括有如下步驟第一步，開(kāi)始高頻加熱，高頻機(jī)滿(mǎn)負(fù)荷加熱升溫，溫度測(cè)控模塊監(jiān)測(cè)物件溫度，當(dāng)物件溫度距目標(biāo)溫度80120°C時(shí)，改為動(dòng)態(tài)功率加熱；第二步，溫度測(cè)控模塊根據(jù)不同溫度，反饋與溫度成正比的電壓值，信號(hào)調(diào)理模塊根據(jù)電壓值的大小反比例調(diào)節(jié)高頻機(jī)的功率輸出，使其越接近目標(biāo)溫度，輸出功率越?。坏谌?，信號(hào)調(diào)理模塊動(dòng)態(tài)調(diào)節(jié)高頻機(jī)的功率輸出，物件溫度保持在目標(biāo)溫度值的士5°c的范圍內(nèi)。采用上述技術(shù)方案所達(dá)到的技術(shù)效果是信號(hào)調(diào)理模塊接受溫度測(cè)控模塊的信號(hào)，動(dòng)態(tài)調(diào)節(jié)高頻機(jī)的功率輸出，使得物件溫度越接近目的溫度時(shí)，高頻機(jī)的輸出功率越小，減小因高頻時(shí)間斷開(kāi)滯后造成的誤差，可將工件溫度控制在目標(biāo)溫度的士5°C范圍內(nèi)。進(jìn)一步。而成為有特定電性功能的集成電路產(chǎn)品。MSA FACTORYPA6010-PCC10A加熱板總代理

電熱恒溫加熱板由箱殼、微晶玻璃加熱面、陶瓷纖維加熱盤(pán)及高溫鎳鎘爐絲，控制盒構(gòu)成。上海 PA2012-FC-PCC20A加熱板

    本發(fā)明涉及鍋爐加熱技術(shù)領(lǐng)域，主要涉及一種電磁感應(yīng)加熱單元結(jié)構(gòu)。背景技術(shù)：當(dāng)前電鍋爐通過(guò)電加熱器對(duì)通過(guò)供水管流入的冷水進(jìn)行加熱，加熱的水用于供暖或作為生活用水使用。根據(jù)水的加熱方法鍋爐可分為供熱水鍋爐和蓄熱水鍋爐。該鍋爐因不易發(fā)生、不易泄漏有害氣體、噪音小而普遍使用。近年來(lái)，隨著油價(jià)的上漲，電鍋爐因取暖費(fèi)用低而備受人們關(guān)注。目前國(guó)內(nèi)電阻式、電磁式、電極式等各種電加熱技術(shù)都在鍋爐加熱領(lǐng)域得到了***運(yùn)用。國(guó)內(nèi)低壓電磁加熱技術(shù)應(yīng)用較為普遍，其電磁加熱原理是通過(guò)電子線(xiàn)路板組成部分產(chǎn)生交變磁場(chǎng)，當(dāng)用含鐵質(zhì)容器放置在上面時(shí)，容器表面即切割交變磁力線(xiàn)而在容器底部金屬部分產(chǎn)生交變的電流(即渦流)，渦流使容器底部的鐵原子高速無(wú)規(guī)則運(yùn)動(dòng)，原子相互碰撞、摩擦而產(chǎn)生熱能。從而起到加熱物品的效果。因?yàn)槭氰F制容器自身發(fā)熱，所以熱轉(zhuǎn)化率特別高。但該項(xiàng)技術(shù)大多數(shù)應(yīng)用在家庭電器上，電壓技術(shù)參數(shù)局限于220～380vac，功率等級(jí)*幾十千瓦，無(wú)法實(shí)現(xiàn)大型化從而滿(mǎn)足工業(yè)蒸汽及城市集中采暖等領(lǐng)域使用?，F(xiàn)有電鍋爐的加熱裝置是在一個(gè)加熱桶內(nèi)設(shè)置線(xiàn)圈式或串聯(lián)式加熱器后注入冷水進(jìn)行加熱，或者層疊多個(gè)桶并在每個(gè)桶內(nèi)設(shè)置多個(gè)加熱器。上海 PA2012-FC-PCC20A加熱板

上海九展自動(dòng)化技術(shù)有限公司是一家有著先進(jìn)的發(fā)展理念，先進(jìn)的管理經(jīng)驗(yàn)，在發(fā)展過(guò)程中不斷完善自己，要求自己，不斷創(chuàng)新，時(shí)刻準(zhǔn)備著迎接更多挑戰(zhàn)的活力公司，在上海市等地區(qū)的機(jī)械及行業(yè)設(shè)備中匯聚了大量的人脈以及**，在業(yè)界也收獲了很多良好的評(píng)價(jià)，這些都源自于自身不努力和大家共同進(jìn)步的結(jié)果，這些評(píng)價(jià)對(duì)我們而言是比較好的前進(jìn)動(dòng)力，也促使我們?cè)谝院蟮牡缆飞媳３謯^發(fā)圖強(qiáng)、一往無(wú)前的進(jìn)取創(chuàng)新精神，努力把公司發(fā)展戰(zhàn)略推向一個(gè)新高度，在全體員工共同努力之下，全力拼搏將共同上海九展自動(dòng)化供應(yīng)和您一起攜手走向更好的未來(lái)，創(chuàng)造更有價(jià)值的產(chǎn)品，我們將以更好的狀態(tài)，更認(rèn)真的態(tài)度，更飽滿(mǎn)的精力去創(chuàng)造，去拼搏，去努力，讓我們一起更好更快的成長(zhǎng)！