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鄭州單極型集成電路工藝

來源: 發(fā)布時間:2023-11-27

    深圳市美信美科技有限公司于2020年04月17日成立。公司經(jīng)營范圍包括:一般經(jīng)營項目是:電子產(chǎn)品及其配件的技術(shù)開發(fā)與銷售;國內(nèi)貿(mào)易等。本公司主營推廣銷售AD(亞德諾),LINEAR(凌特)以及TI、MAXIM、NXP等國際品牌集成電路。產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于:汽車、通信、消費電子、工業(yè)控制、醫(yī)療器械、儀器儀表、安防監(jiān)控等領(lǐng)域。本公司一直秉承優(yōu)勢服務(wù),誠信合作的原則,以現(xiàn)代化管理以及優(yōu)勢的渠道價格、良好的信譽與廣大客戶建立了長期友好的合作關(guān)系,為廣大廠商和市場客戶提供優(yōu)勢的產(chǎn)品服務(wù)。深圳市美信美科技有限公司于2020年04月17日成立。公司經(jīng)營范圍包括:一般經(jīng)營項目是:電子產(chǎn)品及其配件的技術(shù)開發(fā)與銷售;國內(nèi)貿(mào)易等。本公司主營推廣銷售AD(亞德諾),LINEAR(凌特)以及TI、MAXIM、NXP等國際品牌集成電路。產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于:汽車、通信、消費電子、工業(yè)控制、醫(yī)療器械、儀器儀表、安防監(jiān)控等領(lǐng)域。本公司一直秉承優(yōu)勢服務(wù),誠信合作的原則,以現(xiàn)代化管理以及優(yōu)勢的渠道價格、良好的信譽與廣大客戶建立了長期友好的合作關(guān)系,為廣大廠商和市場客戶提供優(yōu)勢的產(chǎn)品服務(wù)。深圳市美信美科技有限公司于2020年04月17日成立??孔V集成電路,找深圳美信美科技幫你解決。鄭州單極型集成電路工藝

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    在互連層a的上表面上方形成多個底電極通孔。多個底電極通孔由介電層圍繞。在一些實施例中,介電層可以沉積在互連層a上方,并且然后選擇性地被圖案化以限定底電極通孔開口。然后通過在底電極通孔開口內(nèi)的沉積工藝形成多個底電極通孔。在各個實施例中,介電層可以包括碳化硅、富硅氧化物、teos(正硅酸乙酯)等的一種或多種。在各個實施例中,多個底電極通孔可以包括導(dǎo)電材料,諸如鈦、氮化鈦、鉭等。在多個底電極通孔上方形成多個mtj器件、和。多個mtj器件、和分別包括mtj,mtj具有通過介電遂穿阻擋層與自由層分隔開的固定層。在一些實施例中,固定層可以形成為接觸底電極通孔。在其它實施例中。自由層可以形成為接觸底電極通孔。多個mtj器件、和中的一個包括被配置為存儲數(shù)據(jù)狀態(tài)的工作mtj器件。多個mtj器件、和中的一個或多個包括設(shè)置在調(diào)節(jié)訪問裝置內(nèi)的調(diào)節(jié)mtj器件和,調(diào)節(jié)訪問裝置被配置為控制(即,調(diào)節(jié))提供給相關(guān)的工作mtj器件的電流。在一些實施例中,可以同時形成多個mtj器件、和。例如,在一些實施例中,可以通過在介電層和多個底電極通孔上方沉積磁固定膜。在磁固定膜上方形成介電阻擋膜,并且在介電阻擋膜上方形成磁自由膜來形成多個mtj器件、和。天津通用集成電路企業(yè)穩(wěn)定靠譜的集成電路供應(yīng),認準深圳美信美科技現(xiàn)貨商。

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    在磁固定膜上方形成介電阻擋膜,并且在介電阻擋膜上方形成磁自由膜來形成多個mtj器件、和。可以對磁固定膜、介電阻擋層和磁自由膜實施一個或多個圖案化工藝以限定多個mtj器件、和。在其它實施例中,可以在不同時間形成多個mtj器件、和。的截面圖所示,在多個mtj器件、和上方形成多個頂電極通孔。多個頂電極通孔由ild層圍繞。在一些實施例中。可以在多個mtj器件、和上方沉積ild層,并且然后選擇性地圖案化ild層以限定頂電極通孔開口。然后通過沉積工藝在頂電極通孔開口內(nèi)形成多個頂電極通孔。在各個實施例中,ild層可以包括一種或多種介電材料,諸如二氧化硅(sio)、sicoh、氟硅酸鹽玻璃、磷酸鹽玻璃(例如,硼磷硅酸鹽玻璃)等。在各個實施例中,多個頂電極通孔可以包括導(dǎo)電材料,諸如鈦、氮化鈦、鉭等。在多個mtj器件、和上方的第三ild層內(nèi)形成互連層b。在一些實施例中,互連層b包括限定存儲單元a,的位線bl和一條或多條字線wl至wl的多個互連結(jié)構(gòu)。在一些實施例中,第三ild層可以包括通過一個或多個沉積工藝(例如,pvd、cvd、pe-cvd等)形成的電介質(zhì)(例如,氧化物、低k電介質(zhì)或k電介質(zhì))??梢酝ㄟ^選擇性地蝕刻第三ild層以在第三ild層內(nèi)形成開口來形成互連層b。

    例如,邏輯“”)。調(diào)節(jié)訪問裝置分別具有通過其可以控制提供給相關(guān)的工作mtj器件的電流的電阻。例如,調(diào)節(jié)訪問裝置a,被配置為控制提供給工作mtj器件a,的電流,調(diào)節(jié)訪問裝置b,被配置為控制提供給工作mtj器件b,的電流等。調(diào)節(jié)訪問裝置被配置為通過控制提供給工作mtj器件的電流來選擇性地對存儲器陣列內(nèi)的一個或多個工作mtj器件提供訪問。在一些實施例中,調(diào)節(jié)訪問裝置可以包括一個或多個調(diào)節(jié)mtj器件,一個或多個調(diào)節(jié)mtj器件分別包括mtj,mtj具有通過介電遂穿阻擋層b與自由層b分隔開的固定層b。例如,在一些實施例中,調(diào)節(jié)訪問裝置可以包括與相關(guān)的工作mtj器件連接的并聯(lián)連接的調(diào)節(jié)mtj器件和調(diào)節(jié)mtj器件。在一些實施例中。調(diào)節(jié)mtj器件、調(diào)節(jié)mtj器件和工作mtj器件分別包括mtj,mtj具有通過介電遂穿阻擋層與自由層分隔開的固定層。在一些實施例中,固定層可以包括鈷(co)、鐵(fe)、硼(b)、鎳(ni)、釕(ru)、銥(ir)、鉑(pt)等。在一些實施例中,介電遂穿阻擋層可以包括氧化鎂(mgo)、氧化鋁(alo)等。在一些實施例中,自由層可以包括鈷(co)、鐵(fe)、硼(b)等。在其它實施例中,調(diào)節(jié)訪問裝置可以包括一個或多個電阻器(例如,包括氮化鉭、鉭、氮化鈦、鈦、鎢等的薄膜電阻器)。例如。深圳美信美集成電路價格好。

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    字線解碼器和偏置電路可以包括相同的電路元件(即,字線解碼器可以將信號施加至偏置電壓線bvly)。在操作期間,為了訪問工作mtj器件,偏置電路和字線解碼器可以將電壓施加至偏置電壓線bvly和字線wlx,以設(shè)置存儲器陣列的行內(nèi)的調(diào)節(jié)mtj器件的值。隨后,位線解碼器可以施加位線電壓,該位線電壓允許訪問多個存儲單元a,至c,中的選擇的存儲單元,而不訪問多個存儲單元a,至c,中的未選擇的存儲單元。例如,為了將數(shù)據(jù)寫入存儲單元a,內(nèi)的工作mtj器件,可以將組偏置電壓施加至字線wl和偏置電壓線bvl。組偏置電壓賦予行內(nèi)的調(diào)節(jié)訪問裝置低電阻??梢詫⒔M偏置電壓施加至其它行中的偏置電壓線bvl和字線wl,以賦予其它行內(nèi)的調(diào)節(jié)訪問裝置高電阻。然后將位線電壓施加至位線bl。存儲單元a,內(nèi)的調(diào)節(jié)訪問裝置的低電阻使得大電流(例如,大于切換電流)流過存儲單元a,內(nèi)的工作mtj器件,同時存儲單元a,內(nèi)的調(diào)節(jié)訪問裝置的高電阻使得小電流(例如,小于切換電流)流過存儲單元a,內(nèi)的工作mtj器件。圖b示出了對應(yīng)于圖a的存儲器電路的集成電路的一些實施例的截面圖。圖a至圖b示出了包括存儲器電路的集成芯片的一些額外實施例,該存儲器電路具有被配置為選擇性地對工作mtj器件提供訪問的調(diào)節(jié)訪問裝置。未來的人工智能、汽車電子、物聯(lián)網(wǎng)、5G等行業(yè)都可以為集成電路行業(yè)提供新的發(fā)展空間。重慶集成電路報價

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    調(diào)節(jié)mtj器件的尺寸賦予調(diào)節(jié)mtj器件更大的切換電流,這可以允許更大的電流。在一些實施例中,工作mtj器件具有與尺寸和尺寸不同的第三尺寸(例如,第三寬度w)。圖a至圖b示出了包括存儲器電路的集成芯片的一些額外實施例,存儲器電路具有被配置為選擇性地對工作mtj器件提供訪問的調(diào)節(jié)訪問裝置。圖a示出了具有以行和列布置的多個存儲單元a,至c,的存儲器電路的示意圖。多個存儲單元a,至c,分別包括被配置為存儲數(shù)據(jù)的工作mtj器件和被配置為選擇性地對工作mtj器件提供訪問的調(diào)節(jié)訪問裝置。調(diào)節(jié)訪問裝置包括連接在字線wlx(x=,,)和偏置電壓線bvly(y=,。)之間的調(diào)節(jié)mtj器件。工作mtj器件連接在偏置電壓線bvly(y=,,)和位線blz(z=,,)之間。多個存儲單元a,至c,連接至控制電路。控制電路包括被配置為選擇性地將信號施加至一條或多條位線blz的位線解碼器、被配置為選擇性地將信號施加至一條或多條字線wlx的字線解碼器以及被配置為選擇性地將信號施加至一條或多條偏置電壓線bvly的偏置電路。在一些實施例中。字線解碼器和偏置電路可以包括相同的電路元件(即,字線解碼器可以將信號施加至偏置電壓線bvly)。在操作期間,為了訪問工作mtj器件。鄭州單極型集成電路工藝