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石家莊扁平形集成電路封裝

來源: 發(fā)布時間:2024-01-26

    可以對磁固定膜、介電阻擋層和磁自由膜實施一個或多個圖案化工藝以限定多個mtj器件、和。在其它實施例中,可以在不同時間形成多個mtj器件、和。的截面圖所示,在多個mtj器件、和上方形成多個頂電極通孔。多個頂電極通孔由ild層圍繞。在一些實施例中??梢栽诙鄠€mtj器件、和上方沉積ild層,并且然后選擇性地圖案化ild層以限定頂電極通孔開口。然后通過沉積工藝在頂電極通孔開口內(nèi)形成多個頂電極通孔。在各個實施例中,ild層可以包括一種或多種介電材料,諸如二氧化硅(sio)、sicoh、氟硅酸鹽玻璃、磷酸鹽玻璃(例如,硼磷硅酸鹽玻璃)等。在各個實施例中,多個頂電極通孔可以包括導(dǎo)電材料,諸如鈦、氮化鈦、鉭等。在多個mtj器件、和上方的第三ild層內(nèi)形成互連層b。在一些實施例中,互連層b包括限定存儲單元a,的位線bl和一條或多條字線wl至wl的多個互連結(jié)構(gòu)。在一些實施例中,第三ild層可以包括通過一個或多個沉積工藝(例如,pvd、cvd、pe-cvd等)形成的電介質(zhì)(例如,氧化物、低k電介質(zhì)或k電介質(zhì))??梢酝ㄟ^選擇性地蝕刻第三ild層以在第三ild層內(nèi)形成開口來形成互連層b。然后在開口內(nèi)沉積導(dǎo)電材料(例如,銅和/或鋁),以及隨后的平坦化工藝(例如。超大規(guī)模集成電路:邏輯門1,001~10k個或 晶體管10,001~100k個。石家莊扁平形集成電路封裝

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    存取晶體管)的存儲單元(例如,mram單元)。而且,存儲單元包括調(diào)節(jié)訪問裝置,該調(diào)節(jié)訪問裝置具有被配置為選擇性地對工作mtj器件提供訪問的一個或多個調(diào)節(jié)mtj器件。在一些實施例中,涉及集成芯片。集成芯片包括連接至位線的工作磁隧道結(jié)(mtj)器件,工作mtj器件被配置為存儲數(shù)據(jù)狀態(tài);以及連接在工作mtj器件和字線之間的調(diào)節(jié)訪問裝置,調(diào)節(jié)訪問裝置包括被配置為控制提供給工作mtj器件的電流的一個或多個調(diào)節(jié)mtj器件。在一些實施例中,一個或多個調(diào)節(jié)mtj器件分別包括固定層、介電阻擋層和通過介電阻擋層與固定層分隔開的自由層。在一些實施例中,調(diào)節(jié)訪問裝置還包括連接在字線和工作mtj器件之間的調(diào)節(jié)mtj器件,字線和字線連接至字線解碼器。在一些實施例中,調(diào)節(jié)mtj器件具有比調(diào)節(jié)mtj器件更大的尺寸。在一些實施例中,調(diào)節(jié)訪問裝置還包括連接在位線和工作mtj器件之間的調(diào)節(jié)mtj器件,字線連接至字線解碼器,并且位線和位線連接至位線解碼器。在一些實施例中,工作mtj器件不位于存取晶體管器件正上方。在一些實施例中,集成芯片還包括連接在調(diào)節(jié)mtj器件和工作mtj器件之間的偏置電壓線。在一些實施例中。工作mtj器件通過設(shè)置在襯底上方的介電結(jié)構(gòu)與調(diào)節(jié)mtj器件橫向分隔開。長沙巨大規(guī)模集成電路報價現(xiàn)貨商深圳市美信美科技有限公司,只做原裝進口集成電路。

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    mram單元)的尺寸,因為該尺寸不再取決于驅(qū)動晶體管的尺寸。出了具有調(diào)節(jié)訪問裝置的存儲器電路的一些實施例的示意圖,該調(diào)節(jié)訪問裝置被配置為選擇性地對工作mtj器件提供訪問。存儲器電路包括具有多個存儲單元a,至b,的存儲器陣列。多個存儲單元a,至b,以行和/或列布置在存儲器陣列內(nèi)。例如,行存儲單元包括存儲單元a,和a,,而列存儲單元包括存儲單元a,和b,。在一些實施例中,多個存儲單元a,至b,可以包括多個mram單元。多個存儲單元a,至b,(例如,mram單元)分別包括連接至調(diào)節(jié)訪問裝置的工作mtj器件。工作mtj器件包括磁隧道結(jié)(mtj),磁隧道結(jié)(mtj)具有通過介電遂穿阻擋層a與自由層a分隔開的固定層a。固定層a具有固定的磁向,而自由層a具有可以在操作期間(通過隧道磁阻(tmr)效應(yīng))改變?yōu)橄鄬τ诠潭▽觓的磁向平行(即,“p”狀態(tài))或反向平行(即,“ap”狀態(tài))的磁向。固定層a和自由層a的磁向之間的關(guān)系限定了mtj的電阻狀態(tài),并且從而使得多個存儲單元a,至b,能夠分別存儲數(shù)據(jù)狀態(tài),數(shù)據(jù)狀態(tài)具有基于存儲單元內(nèi)的工作mtj器件的電阻的值。例如,如果工作mtj器件a,具有低電阻狀態(tài),則存儲單元a,將存儲位值(例如,邏輯“”),或者如果工作mtj器件a,具有高電阻狀態(tài),則存儲單元a,將存儲位值。

    深圳市美信美科技有限公司于年月日成立。公司經(jīng)營范圍包括:一般經(jīng)營項目是:電子產(chǎn)品及其配件的技術(shù)開發(fā)與銷售;國內(nèi)貿(mào)易等。本公司主營推廣銷售AD(亞德諾),LINEAR(凌特)以及TI、MAXIM、NXP等國際有名品牌集成電路。產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于:汽車、通信、消費電子、工業(yè)控制、醫(yī)療器械、儀器儀表、安防監(jiān)控等領(lǐng)域。本申請涉及一種集成電路封裝結(jié)構(gòu),尤其是集成電路的小型化與高功率密度化的封裝結(jié)構(gòu)。背景技術(shù):集成電路在滿足摩爾定律的基礎(chǔ)上尺寸越做越小。尺寸越小,技術(shù)進步越困難。而設(shè)備的智能化,小型化,功率密度的程度越來越高,為解決設(shè)備小型化,智能化,超高功率密度這些問題,不但需要提升各種功能的管芯的功能,效率,縮小其面積,體積;還需要在封裝技術(shù)層面上完成小型化,集成化,高功率密度化等技術(shù)要求,并解決由此帶來的集成電路的散熱問題,生產(chǎn)工藝復(fù)雜,生產(chǎn)周期長,生產(chǎn)成本高等問題。現(xiàn)有很多集成電路封裝結(jié)構(gòu),有沿用常規(guī)的封裝方式,采用框架安裝各種管芯,采用線材鍵合作電氣聯(lián)結(jié),在功率較大時,常常采用較粗的鍵合線和較多的鍵合線。此類封裝方式有比如ipm模組的dip封裝,單顆mosfet的to封裝等,此類封裝體積通常都比較大。不適宜小型化應(yīng)用。深圳美信美科技有限公司是集成電路實力供貨商。

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    固定層a和自由層a的磁向之間的關(guān)系限定了mtj的電阻狀態(tài),并且從而使得多個存儲單元a,至b,能夠分別存儲數(shù)據(jù)狀態(tài),數(shù)據(jù)狀態(tài)具有基于存儲單元內(nèi)的工作mtj器件的電阻的值。例如,如果工作mtj器件a,具有低電阻狀態(tài),則存儲單元a,將存儲位值(例如,邏輯“”),或者如果工作mtj器件a,具有高電阻狀態(tài),則存儲單元a,將存儲位值。深圳市美信美科技有限公司于2020年04月17日成立。公司經(jīng)營范圍包括:一般經(jīng)營項目是:電子產(chǎn)品及其配件的技術(shù)開發(fā)與銷售;國內(nèi)貿(mào)易等。本公司主營推廣銷售AD(亞德諾),LINEAR(凌特)以及TI、MAXIM、NXP等國際品牌集成電路。產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于:汽車、通信、消費電子、工業(yè)控制、醫(yī)療器械、儀器儀表、安防監(jiān)控等領(lǐng)域。本公司一直秉承優(yōu)勢服務(wù),誠信合作的原則,以現(xiàn)代化管理以及優(yōu)勢的渠道價格、良好的信譽與廣大客戶建立了長期友好的合作關(guān)系,為廣大廠商和市場客戶提供優(yōu)勢的產(chǎn)品服務(wù)。例如,邏輯“”)。調(diào)節(jié)訪問裝置分別具有通過其可以控制提供給相關(guān)的工作mtj器件的電流的電阻。例如,調(diào)節(jié)訪問裝置a,被配置為控制提供給工作mtj器件a,的電流,調(diào)節(jié)訪問裝置b,被配置為控制提供給工作mtj器件b,的電流等。好的集成電路供應(yīng),深圳美信美科技就是牛。成都計算機集成電路廠家

2020年我國集成電路產(chǎn)量達2612.6億塊,同比增長16.2%。石家莊扁平形集成電路封裝

    國內(nèi)貿(mào)易等。本公司主營推廣銷售AD(亞德諾),LINEAR(凌特)以及TI、MAXIM、NXP等國際有名品牌集成電路。產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于:汽車、通信、消費電子、工業(yè)控制、醫(yī)療器械、儀器儀表、安防監(jiān)控等領(lǐng)域。下面將對實施例描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹,顯而易見地,下面描述中的附圖是本申請的一些實施例,對于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講,在不付出創(chuàng)造性勞動的前提下,還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。圖示出依據(jù)本申請一實施例的單芯片集成電路封裝結(jié)構(gòu);圖示出依據(jù)本申請另一實施例的雙芯片集成電路封裝結(jié)構(gòu)。具體實現(xiàn)方式為了使本技術(shù)領(lǐng)域的人員更好地理解本申請方案,下面將結(jié)合本申請實施例中的附圖,對本申請實施例中的技術(shù)方案進行清楚地描述,顯然,所描述的實施例是本申請一部分的實施例,而不是全部的實施例?;诒旧暾堉械膶嵤├?,本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例,都應(yīng)當屬于本申請保護的范圍。下面結(jié)合本申請實施例的附圖,對本實用新型實施例的技術(shù)方案描述如下。圖示出依據(jù)本申請一實施例的單芯片集成電路封裝結(jié)構(gòu),包括上基板、元件及下基板。上基板上的上層金屬層、下層金屬層以及下層金屬層上的聯(lián)結(jié)pad6、、。石家莊扁平形集成電路封裝