通常，CVD的反應(yīng)溫度在900℃以上，覆層硬度達到2000HV以上，但高的溫度容易使工件變形，沉積層界面易發(fā)生反應(yīng)。發(fā)展趨勢是降低溫度，開發(fā)新的涂層成分。例如，金屬有機化合物CVD（MOCVD），激光CVD（LCVD），等離子CVD（PCVD）等。高能束熱處理，高能束熱處理的熱源通常是指激光、電子束、離子束等，它們共同的特征是：供給材料表面功率密度至少1000W/cm2。它們的共同特點是：加熱速度快，加熱面積可根據(jù)需要選擇，工件變形小，不需要冷卻介質(zhì)，處理環(huán)境清潔，可控性能好，便于實現(xiàn)自動化處理。國內(nèi)外對高能束熱處理的原理、工藝等均投入較多的研究，比較成熟的是激光相變硬化、小尺寸電子束處理和中等功率的離子注入，并在提高模具壽命方面獲得了應(yīng)用。真空熱處理具有高質(zhì)量、低能耗、無污染（或少污染）等優(yōu)點。上海金屬真空硬化淬火廠商

用真空爐淬火后質(zhì)量得到了很好的保證和提高，操作條件得到了極大的改進。用Cr12MoV鋼制造的針織機上的三角經(jīng)真空淬火后產(chǎn)品質(zhì)量很穩(wěn)定又耐磨，提高了產(chǎn)品的壽命。從此在紡機行業(yè)中，根據(jù)產(chǎn)品的規(guī)格要求，有關(guān)企業(yè)分別購買了各種規(guī)格的國產(chǎn)真空爐，椐不完全統(tǒng)計約30余臺國產(chǎn)真空爐在使用。另外，在精密的小、微型（軸承內(nèi)徑﹤9mm）軸承上應(yīng)用得也較多，如浙江慈溪的慈興、上海微型、上海中隆，上海鳴志等軸承廠的不銹鋼和軸承鋼等材質(zhì)做的軸承套圈進行真空淬火后的質(zhì)量非常好，因為套圈經(jīng)真空淬火后表面沒有脫碳、滲碳現(xiàn)象，套圈的材質(zhì)又可以進行脫氣，其雜質(zhì)可以降低到1.5ppm以下，使硬度分布均勻，畸變極小，從而提高軸承的耐磨性，并具有高的彈性極限和接觸疲勞強度，延長了軸承的使用壽，提高了市場竟爭能力。安徽氣冷真空硬化淬火條件不銹鋼中性淬火提高了其抗腐蝕性和機械性能，延長了使用壽命。

隨著科學(xué)的進步，工業(yè)產(chǎn)品對熱處理要求的提高，自20世紀40年代真空熱處理技術(shù)在美國和日本逐漸發(fā)展，因其無脫碳，零件表面光亮，變形小，節(jié)能環(huán)保，工藝和力學(xué)性能再現(xiàn)性好等優(yōu)點，在目前環(huán)保形式要求下，真空淬火展現(xiàn)出蓬勃發(fā)展的勢頭。真空滲碳熱處理技術(shù)的成熟無疑擴大了真空熱處理技術(shù)的應(yīng)用范圍。真空熱處理水淬一般適用范圍：航空航天行業(yè)中鈦合金的固溶處理，儀表彈性元件中的鈸青銅固溶處理，航天傳感器中的鎳基、鈷基高彈性合金，鎳基恒彈性合金等精密合金固溶處理以及不銹鋼的固溶處理。

常規(guī)滲碳和多用爐滲碳，在排氣時，趕氣和碳勢建立沒有明顯的界限，小件先到溫，先開始滲碳，大小件滲碳起始點不同。低壓真空滲碳的滲碳起始點是一致的，先加熱到溫，所有工件到溫并勻溫后，開始通乙炔滲碳，所以大小滲碳零件的滲碳層均勻性是一致的。表面碳含量易于控制：真空滲碳表面碳含量不必通過碳勢控制，通過控制滲碳壓力和滲碳氣流量即可實現(xiàn)表面碳含量的精確控制。真空滲碳的原理已經(jīng)和傳統(tǒng)氣體滲碳不同，沒有了碳勢的概念。風冷真空硬化淬火快速冷卻零件，提高其力學(xué)性能。

真空淬火實際上就是一道淬火工藝，只是區(qū)別于傳統(tǒng)的零件在加熱過程中與空氣或鹽浴等介質(zhì)接觸，從而出現(xiàn)氧化現(xiàn)象和較大的形變現(xiàn)象，真空淬火是將零件放置于真空爐中抽取真空進行加熱，因此氧化和形變均較小，這就是真空淬火較大的優(yōu)勢，表面淬火是將剛件的表面層淬透到一定的深度，而心部分仍保持未淬火狀態(tài)的一種局部淬火的方法。表面淬火時通過快速加熱，使剛件表面很快到淬火的溫度，在熱量來不及穿到工件心部就立即冷卻，實現(xiàn)局部淬火。真空淬火后，零件表面清潔，并且無需進行額外的清洗步驟。單介質(zhì)真空硬化淬火工藝

真空熱處理是真空技術(shù)與熱處理技術(shù)相結(jié)合的新型熱處理技術(shù)。上海金屬真空硬化淬火廠商

模具的真空脈沖氮碳共滲，真空脈沖氮碳共滲保留了真空脈沖滲氮的優(yōu)點，如深孔、盲孔內(nèi)壁滲層均勻，比真空脈沖滲氮有更好的耐磨性和抗咬合性，而且白亮層少，脆性小，滲層致密，滲速快，并能承受重負荷和沖擊載荷。實例：W9Cr4Mo3V鋼制十字槽沖頭的真空脈沖氮碳共滲。（1）十字槽沖頭在工作時，要承受大的沖擊、壓縮、拉伸和彎曲等應(yīng)力的作用，失效形式為槽筋疲勞斷裂。原采用T10鋼制造，經(jīng)常規(guī)鹽浴加熱淬火、回火處理后，模具平均壽命為3萬件。（2）采用W9Cr4Mo3V鋼制造沖頭，經(jīng)真空加熱淬火、回火和真空脈沖氮碳共滲后，模具壽命提高到近30萬件。真空氮碳共滲采用ZCT65型雙室真空滲碳爐，工作真空度為2.7Pa。上海金屬真空硬化淬火廠商