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潔凈設(shè)備3Q驗(yàn)證潔凈室檢測頻率

來源: 發(fā)布時間:2024-12-18

6.1.1潔凈廠房的建筑平面和空間布局,應(yīng)根據(jù)電子產(chǎn)品發(fā)展以及生產(chǎn)工藝改造和擴(kuò)大生產(chǎn)規(guī)模的要求確定。6.1.2潔凈廠房的主體結(jié)構(gòu)宜采用大空間及大跨度柱網(wǎng),不應(yīng)采用內(nèi)墻承重體系。6.1.3潔凈廠房的立面設(shè)計(jì)應(yīng)簡潔、明快,并應(yīng)適應(yīng)潔凈室(區(qū))的布置要求。潔凈廠房圍護(hù)結(jié)構(gòu)的材料選型應(yīng)滿足保溫、隔熱、防火、防潮、少產(chǎn)塵、易清潔等要求。6.1.4潔凈廠房主體結(jié)構(gòu)的耐久性應(yīng)與電子產(chǎn)品生產(chǎn)線設(shè)備、生產(chǎn)環(huán)境控制設(shè)施協(xié)調(diào),并應(yīng)具有防火、控制溫度變形和不均勻沉陷性能。廠房變形縫不宜穿越潔凈區(qū)。6.1.5設(shè)有上技術(shù)夾層、下技術(shù)夾層的潔凈廠房的建筑平面、空間布局和構(gòu)造,應(yīng)滿足產(chǎn)品生產(chǎn)工藝、自動化運(yùn)輸和公用動力設(shè)施安裝和維修的要求。潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)之間的壓差不應(yīng)小于5Pa。潔凈設(shè)備3Q驗(yàn)證潔凈室檢測頻率

潔凈設(shè)備3Q驗(yàn)證潔凈室檢測頻率,潔凈室檢測

3.1.1電子工業(yè)潔凈廠房生產(chǎn)環(huán)境的設(shè)計(jì)應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)工藝的要求控制微粒和對產(chǎn)品質(zhì)量有害的雜質(zhì),同時還應(yīng)提出溫度、濕度、壓差、噪聲、振動、靜電防護(hù)、照度等參數(shù)要求。3.1.2生產(chǎn)環(huán)境設(shè)計(jì)應(yīng)根據(jù)產(chǎn)品品種及生產(chǎn)工藝要求,對電子產(chǎn)品生產(chǎn)過程需用的包括化學(xué)品、常用氣體和特種氣體、純水等各種介質(zhì)的質(zhì)量進(jìn)行控制。3.1.3潔凈室(區(qū))內(nèi)產(chǎn)品生產(chǎn)過程所使用的工具、器具和物料儲運(yùn)裝置,其制作的材質(zhì)和清潔方式應(yīng)按生產(chǎn)工藝要求選擇。。。北京潔凈度潔凈室檢測分析潔凈室等級劃分世界各國均有自定規(guī)格。

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D.3.2靜壓差測試,應(yīng)符合下列規(guī)定:1靜壓差的測定應(yīng)在所有的門關(guān)閉時進(jìn)行。2儀器宜采用各種型式的微壓計(jì),儀表靈敏度應(yīng)小于1.0Pa。3潔凈廠房有多個潔凈室(區(qū))時,應(yīng)從極里面的房間與相鄰房間的壓差測試開始,并應(yīng)按順序向外進(jìn)行檢測。D.3.3已安裝的空氣過濾器泄漏測試,應(yīng)符合下列規(guī)定:1儀器應(yīng)使用采樣量大于11/mn的光學(xué)粒子計(jì)數(shù)器。2應(yīng)在過濾器上風(fēng)側(cè)引入大于等于0.1pm(0.5um)粒子,粒子濃度應(yīng)大于3.5×10'P/m3的大氣塵或其他氣溶膠;在過濾器下風(fēng)側(cè)應(yīng)用粒子計(jì)數(shù)器的等動力采樣頭放在距離被檢過濾器表面20~30mm處,并應(yīng)以5~20mm/s速度移動。應(yīng)檢測包括過濾器的整個面和過濾器周邊、過濾器框架及其密封處的掃描。

D.3.10自凈時間檢測,應(yīng)符合下列規(guī)定:1自凈時間的檢測,宜用于非單向流潔凈室。2自凈時間的檢測,宜采用大氣塵或煙霧發(fā)生器等人工塵源為基準(zhǔn),并宜以粒子計(jì)數(shù)器進(jìn)行檢測,同時應(yīng)符合下列要求.1)以大氣塵為基準(zhǔn)時,則必須將潔凈室停止運(yùn)行相當(dāng)時間,在室內(nèi)含塵濃度已接近于大氣濃度時,測出潔凈室內(nèi)靠近回風(fēng)口處的含塵濃度(N。)。然后開機(jī),定時讀數(shù)(一般可設(shè)置每間隔6s讀數(shù)一次),直到回風(fēng)口處的含塵濃度回復(fù)到原來的穩(wěn)定狀態(tài),記錄下所需的時間(t)。2)以人工塵源為基準(zhǔn)時,應(yīng)將煙霧發(fā)生器放置在離地面1.8m以上室中心,發(fā)煙1~2min后停止,等待1min,測出潔凈室內(nèi)靠近回風(fēng)口處的含塵濃度(N。)。然后開機(jī),方法同上。3由初始濃度(No)、室內(nèi)達(dá)到穩(wěn)定的濃度(N)、實(shí)際換氣次數(shù)(n),可得到計(jì)算自凈時間(to),與實(shí)測自凈時間(t)進(jìn)行對比,如果t≤12to,為合格。4自凈時間檢測方法除上述方法外,還有微粒濃度變化率評估法等。自凈時間檢測方法應(yīng)洽商確定。潔凈室是指空氣潔凈度達(dá)到規(guī)定級別的可供人活動的空間。

潔凈設(shè)備3Q驗(yàn)證潔凈室檢測頻率,潔凈室檢測

C.1.1檢測目的檢測的目的是確認(rèn)過濾系統(tǒng)安裝正確,使用過程中無滲漏發(fā)生,不要將已裝過濾器系統(tǒng)的檢漏與過濾器出廠時的效率檢測混為一談,過濾器出廠前應(yīng)經(jīng)過檢漏雨測試。此項(xiàng)檢測用于驗(yàn)證過濾系統(tǒng)不存在影響設(shè)施潔凈狀況的滲漏;確認(rèn)過濾系統(tǒng)下風(fēng)向空氣中懸浮粒子的濃度足夠滿足潔凈室設(shè)計(jì)潔凈度。C.1.2檢測過程檢測中,在過濾器的上風(fēng)向注入氣溶膠,在下風(fēng)向緊靠過濾器的安裝框架的地方掃描,或在風(fēng)管中的過濾器下風(fēng)向采樣。檢漏包括濾材、過濾器邊框、密封墊和支撐架在內(nèi)的整個過濾系統(tǒng)。已裝過濾系統(tǒng)的檢漏只在“空態(tài)”或“靜態(tài)”下進(jìn)行,且該項(xiàng)檢測是在新建潔凈室調(diào)試時,或現(xiàn)有設(shè)施需要再檢測時,或更換了末端過濾器之后進(jìn)行。應(yīng)避免出現(xiàn)不易吹除的盲管、死角和不易清掃的部位。北京風(fēng)速潔凈室檢測規(guī)范性強(qiáng)

以前常稱為亂流型潔凈室,室內(nèi)的氣流并不都按單一方向流動。潔凈設(shè)備3Q驗(yàn)證潔凈室檢測頻率

7.4.2風(fēng)機(jī)過濾器機(jī)組的設(shè)置應(yīng)符合下列要求:1應(yīng)根據(jù)空氣潔凈度等級和送風(fēng)量選用;2應(yīng)按潔凈室(區(qū))內(nèi)生產(chǎn)工藝對氣流流型的要求布置,3終阻力時的疊加噪聲及振動應(yīng)滿足生產(chǎn)工藝和本規(guī)范的規(guī)定;4送風(fēng)量應(yīng)能調(diào)節(jié);5應(yīng)便于安裝、維修及過濾器更換。滿布或布置率較高時,外殼強(qiáng)度應(yīng)滿足檢修要求。7.4.3層流罩的設(shè)置應(yīng)符合下列要求:1潔凈室(區(qū))內(nèi)等于或嚴(yán)于5級的局部凈化區(qū)域宜采用層流罩;2層流罩的形式和進(jìn)風(fēng)方式應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)工藝或設(shè)備需要選用;3終阻力時的疊加噪聲及振動應(yīng)滿足生產(chǎn)工藝和本規(guī)范的規(guī)定;4安裝方式不應(yīng)影響生產(chǎn)操作。潔凈設(shè)備3Q驗(yàn)證潔凈室檢測頻率