COB生產(chǎn)流程：晶粒進料→晶粒檢測→清洗PCB→點膠→粘晶?！婵尽蚓€→過境→OTP燒錄→封膠→測試→QC抽檢→入庫。其中烘烤這一環(huán)節(jié)是很重要的一步之一，烘烤的目的是將前一道的工序中的膠烘干，使得IC在PCB上粘牢，以確保下一道工序中IC在打線過程中不會移動。不同的膠需要的烘烤時間和溫度也是不一樣的。缺氧膠烘烤溫度90度烘烤10分鐘，銀膠烘烤溫度120度烘烤90分鐘，紅膠烘烤溫度120度烘烤30分鐘。無塵烘箱主要應(yīng)用于半導(dǎo)體晶圓片光刻涂膠鍍膜前的基片清洗后的前烘烤(Prebaking)、涂膠后的軟烘焙Softbaking)，曝光、顯影后的堅膜硬烘（Hardbaking)等工藝，適用半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料的潔凈、防氧化烘烤，亦可用于LCD、TFT、COMS、生物、醫(yī)藥、光學(xué)鍍膜、精密元件干燥等生產(chǎn)工藝以及研發(fā)機構(gòu)。 整體成型硅橡密封圈，高真空度密封。溫州易維護真空烘箱安全警報

由外及里，干燥箱的內(nèi)膽有兩種選擇，一是鍍鋅板，二是鏡面不銹鋼。鍍鋅板在長期使用過程中容易生銹，不利于保養(yǎng)；鏡面不銹鋼外觀整潔，易于保養(yǎng)，使用壽命長，屬市場上較好的內(nèi)膽材質(zhì)，但是價格要稍高于鍍鋅板。 內(nèi)膽的樣品架子一般有兩層，可根據(jù)客戶的要求增添。由于樣品架的質(zhì)量是由不銹鋼壓制而成，且多增加的架子不利于內(nèi)部熱風(fēng)的循環(huán)，加大風(fēng)機的質(zhì)量要求，所以每加一個架子的成本在三百元之間。國內(nèi)干燥箱的保溫材質(zhì)主要是以纖維棉為主，少數(shù)采用聚氨酯。江蘇雙層鋼化玻璃觀察窗真空烘箱調(diào)試調(diào)整利用真空泵進行抽氣抽濕，使工作室內(nèi)形成真空狀態(tài)，降低水的沸點，加快干燥的速度。

一般的電熱（鼓風(fēng)）干燥箱均設(shè)有溫度均勻度參數(shù)：自然對流式的干燥箱為工作溫度上限乘3%，強制對流式的干燥箱為工作溫度上限乘2.5%。惟獨電熱真空干燥箱不設(shè)溫度均勻度參數(shù)，這是因為真空干燥箱內(nèi)依靠氣體分子運動使工作室溫度達到均勻的可能性幾乎已經(jīng)沒有了。因此，從概念上我們就不能再把通常電熱（鼓風(fēng)）干燥箱所規(guī)定的溫度均勻度定義用到真空干燥箱上來。在真空狀態(tài)下設(shè)這個指標也是沒有意義的。熱輻射的量與距離的平方成反比。同一個物體，距離加熱壁20cm處所接受的輻射熱只是距離加熱壁10cm處的1/4。差異很大。這種現(xiàn)象與冬天曬太陽時，曬到太陽的一面很暖和，曬不到太陽的一面比較冷是一個道理。由于真空干燥箱在結(jié)構(gòu)上很難做到使工作室三維空間內(nèi)的各點輻射熱的均勻一致，同時也缺乏好的評估方法，這有可能是電熱真空干燥箱標準中不設(shè)溫度均勻度參數(shù)的原因。

    充氮潔凈烘箱是一種新型可造就潔凈的恒溫環(huán)境的電熱干燥箱，可滿足電子、醫(yī)療衛(wèi)生儀器、儀表，工廠，高等院校、科研部門等有關(guān)單位作凈化烘箱的需要。充氮潔凈烘箱采用不銹鋼工作室，不銹鋼管作加熱，內(nèi)膽周身做密閉氬弧焊接，保證箱體內(nèi)部潔凈度高，箱內(nèi)充以氮氣等惰性氣體有效防止產(chǎn)品氧化，有助于保證產(chǎn)品質(zhì)量!充氮潔凈烘箱采用精確的控溫系統(tǒng)-數(shù)顯溫控系統(tǒng)。安裝在箱體的頂部。其特點具有讀數(shù)清晰、調(diào)節(jié)方便、控溫精度高、結(jié)構(gòu)簡單、安全可靠之優(yōu)點。充氮潔凈烘箱采用水平送風(fēng)強鼓風(fēng)循環(huán)系統(tǒng)，特殊風(fēng)道設(shè)計，使箱內(nèi)溫度均勻，確保了溫度的穩(wěn)定性。充氮潔凈烘箱擁有完善的安全保護措施，超溫報警、欠相缺相保護、過電流保護、快速熔斷器、接地保護等系統(tǒng)，該功能充分保護實驗人員的安全！ 經(jīng)常調(diào)整填料壓蓋，保證填料室內(nèi)的滴漏情況正常（以成滴漏出為宜）。

在CCD（電荷耦合器件）制造過程中，顆粒沾污對CCD的薄膜質(zhì)量、光刻圖形完整性等有很大的影響，降低CCD的成品率。CCD制造過程中的顆粒來源主要有兩個方面：一個制造過程中工藝環(huán)境產(chǎn)生的顆粒；另一個是薄膜的淀積、光刻和離子注入等CCD工藝過程中產(chǎn)生的顆粒。工藝環(huán)境的顆?？蓙碓从趬w、設(shè)施、設(shè)備、材料和人員，工藝過程的顆粒來源于易產(chǎn)生粉塵的工藝，比如說LPCVD淀積多晶硅和氮化硅及刻蝕工藝等。無塵烘箱，即使在普通環(huán)境下使用，能夠確保烘箱內(nèi)部等級達到Class 100，為CCD（電荷耦合器件）制造過程中烘烤提供潔凈環(huán)境，預(yù)防顆粒沾污真空箱應(yīng)在相對濕度≤85%RH，周圍無腐蝕性氣體、無強烈震動源及強電磁場存在的環(huán)境中使用。麗水雙層鋼化玻璃觀察窗真空烘箱監(jiān)控系統(tǒng)

工作室采用不銹鋼板(或拉絲板)制成，確保產(chǎn)品經(jīng)久耐用。溫州易維護真空烘箱安全警報

使用注意事項：7.真空箱經(jīng)多次使用后，會產(chǎn)生不能抽真空的現(xiàn)象，此時應(yīng)更換門封條或調(diào)整箱體上的門扣伸出距離來解決。當真空箱干燥溫度高于200℃時，會產(chǎn)生慢漏氣現(xiàn)象（除6050、6050B、6051、6053外），此時拆開箱體背后蓋板用內(nèi)六角扳手擰松加熱器底座，調(diào)換密封圈或擰緊加熱器底座來解決。8.放氣閥橡皮塞若旋轉(zhuǎn)困難，可在內(nèi)涂上適量油脂潤滑。（如凡士林）9.除維修外，不能拆開左側(cè)箱體蓋（6090及6210型除外）以免損壞電器控制系統(tǒng)。10.真空箱應(yīng)經(jīng)常保持清潔。箱門玻璃切忌用有反應(yīng)的化學(xué)溶液擦拭，應(yīng)用松軟棉布擦拭。11.若真空箱長期不用，將露在外面的電鍍件擦凈后涂上中性油脂，以防腐蝕，并套上塑料薄膜防塵罩，放置于干燥的室內(nèi)，以免電器元件受潮損壞，影響使用。12.真空箱不需連續(xù)抽氣使用時，應(yīng)先關(guān)閉真空閥，再關(guān)閉真空泵電源，否則真空泵油要倒灌至箱內(nèi)。溫州易維護真空烘箱安全警報

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