在CCD（電荷耦合器件）制造過程中，顆粒沾污對(duì)CCD的薄膜質(zhì)量、光刻圖形完整性等有很大的影響，降低CCD的成品率。CCD制造過程中的顆粒來源主要有兩個(gè)方面：一個(gè)制造過程中工藝環(huán)境產(chǎn)生的顆粒；另一個(gè)是薄膜的淀積、光刻和離子注入等CCD工藝過程中產(chǎn)生的顆粒。工藝環(huán)境的顆?？蓙碓从趬w、設(shè)施、設(shè)備、材料和人員，工藝過程的顆粒來源于易產(chǎn)生粉塵的工藝，比如說LPCVD淀積多晶硅和氮化硅及刻蝕工藝等。無塵烘箱，即使在普通環(huán)境下使用，能夠確保烘箱內(nèi)部等級(jí)達(dá)到Class 100，為CCD（電荷耦合器件）制造過程中烘烤提供潔凈環(huán)境，預(yù)防顆粒沾污將真空泵與真空閥連接，開啟真空閥，抽真空；麗水進(jìn)口數(shù)顯真空烘箱規(guī)格尺寸

    本實(shí)用新型的一種新型的真空烘箱，其創(chuàng)新點(diǎn)在于：包括箱體、蓋板、底板、側(cè)板、連接裝置、進(jìn)水管、出水管和導(dǎo)流管；所述箱體與所述蓋板相匹配，且二者之間螺接形成一水平設(shè)置的中空長方體結(jié)構(gòu)；在所述箱體的內(nèi)底面還水平螺接設(shè)有底板，且在所述底板的上表面左右兩端還豎直對(duì)稱固定設(shè)有側(cè)板；在兩個(gè)所述側(cè)板之間還呈矩陣依次間隔設(shè)有數(shù)個(gè)導(dǎo)流管，每一所述導(dǎo)流管均為水平設(shè)置的中空?qǐng)A柱體結(jié)構(gòu)，且其兩端分別水平延伸出兩個(gè)所述側(cè)板；上下相鄰兩個(gè)所述導(dǎo)流管的兩端之間分別錯(cuò)位通過連接裝置密封連接，并形成數(shù)個(gè)豎直設(shè)置的蜿蜒狀結(jié)構(gòu)；在上面一層所述導(dǎo)流管的上方還水平間隔設(shè)有數(shù)個(gè)進(jìn)水管，每一所述進(jìn)水管均為中空的l形圓管結(jié)構(gòu)，且其短邊一端均豎直向上延伸出所述蓋板，每一所述進(jìn)水管的長邊一端均依次水平延伸出兩個(gè)所述側(cè)板，并分別通過連接裝置與上面一層對(duì)應(yīng)位置所述導(dǎo)流管的一端密封連接；在下面一層所述導(dǎo)流管的下方還水平間隔設(shè)有數(shù)個(gè)出水管，每一所述出水管均為中空的l形圓管結(jié)構(gòu)，且其短邊一端均豎直向下延伸出所述箱體，每一所述出水管的長邊一端均依次水平延伸出兩個(gè)所述側(cè)板，并分別通過連接裝置與下面一層對(duì)應(yīng)位置所述導(dǎo)流管的一端密封連接。上海進(jìn)口數(shù)顯真空烘箱規(guī)格尺寸利用真空泵進(jìn)行抽氣抽濕，使工作室內(nèi)形成真空狀態(tài)，降低水的沸點(diǎn)，加快干燥的速度。

    真空干燥箱日常使用和維護(hù)：1、產(chǎn)品出廠前都經(jīng)過嚴(yán)格的測試，一般不要進(jìn)行修改，如使用時(shí)的環(huán)境惡劣，環(huán)境溫度超出適宜范圍，會(huì)引起溫度顯示值與箱內(nèi)實(shí)際溫度誤差，如超出技術(shù)指標(biāo)范圍的，可以參照溫度控制器操作說明按所需進(jìn)行修正。2、儀器在正常工作狀態(tài)下，如打開箱門時(shí)間過長，關(guān)上箱門后即使箱內(nèi)溫度有些變動(dòng)，這也是正?，F(xiàn)象。3、除維修外，不能拆開左側(cè)箱體蓋以免損壞電器控制系統(tǒng)。4、放氣閥橡皮塞若旋轉(zhuǎn)困難，可在內(nèi)涂上適量油脂潤滑。5、真空泵不能長時(shí)期工作，因此真空度達(dá)到干燥物品要求時(shí)，應(yīng)先封閉真空閥，再封閉真空泵電源，待真空度小于干燥物品要求時(shí)，再打開真空閥及真空泵電源，繼續(xù)抽真空，這樣可延長真空泵使用壽命。6、干燥的物品如濕潤，則在真空箱與真空泵之間比較好加進(jìn)過濾器，防止?jié)駶櫄怏w抽進(jìn)真空泵，造成真空泵故障。7、真空干燥箱經(jīng)多次使用后，會(huì)產(chǎn)生不能抽真空的現(xiàn)象，此時(shí)應(yīng)更換門封條或調(diào)整箱體上的門扣伸出間隔來解決。真空箱干燥溫度高于200度時(shí)，有可能會(huì)產(chǎn)生慢漏氣現(xiàn)象，此時(shí)拆開箱體背后蓋板用內(nèi)六角板手?jǐn)Q松加熱器底座，調(diào)換密封圈或擰緊加熱器底座來解決。8、真空干燥箱應(yīng)經(jīng)常保持清潔。箱門玻璃切忌用有反應(yīng)的化學(xué)溶液擦拭。

    真空鍍膜蒸鍍塑料件工藝流程：1、來料檢查；2、干燥待真空鍍膜鍍件來料時(shí)含較多的水分，需干燥處理3-5小時(shí)，溫度50-60度；3、上架，一般注塑時(shí)基本按真空鍍膜機(jī)生產(chǎn)，因此待真空鍍膜鍍件表面一般油污較少經(jīng)過一般的擦拭就可上架，但是來料油污多時(shí)需進(jìn)行去污處理。方法是用清沾劑逐件刷洗，漂洗，烘干。油污嚴(yán)重時(shí)還需要用清洗劑在50-60度，浸泡15-20min進(jìn)行脫脂處理；4、除塵，這道工序是保證真空鍍膜鍍膜質(zhì)量的關(guān)鍵之一，方法有兩種：一種是用吸塵器對(duì)準(zhǔn)待真空鍍膜鍍件仔細(xì)地除塵，另一種是用高壓其“吹塵”的方法；5、涂底漆；6、烘干，涂漆流平后進(jìn)行干固處理，方法有紅外線加熱法，電熱加熱法及紫外線(UV)固化法等，固化溫度為60-70度，固化時(shí)間為；7、真空鍍膜，真空鍍膜是保證真空鍍膜鍍膜質(zhì)量的關(guān)鍵。真空鍍膜的鍍膜操作：待真空鍍膜鍍件上架并裝上鎢絲，然后入爐，檢查接觸是否良好，轉(zhuǎn)動(dòng)正常，關(guān)真空鍍膜真空室，抽真空，真空鍍膜蒸發(fā)鋁，作為裝飾膜真空鍍膜蒸鋁時(shí)的真空鍍膜真空度控制在（1-2）*10-2Pa，真空鍍膜蒸發(fā)采用快速蒸發(fā)可減少氧化概率，又不會(huì)使真空鍍膜磨蹭的組織結(jié)構(gòu)變粗。冷卻充氣，真空鍍膜蒸鋁以后，即可充氣出爐；8、涂面漆。 真空泵在運(yùn)行過程中，軸承溫度不能超過環(huán)境溫度35C，最高溫度不得超過80C。

    與普通干燥箱相比，真空烘箱突出的優(yōu)勢為它的加熱方式。真空烘箱是四面安裝有緊貼真空室外箱壁金屬板的功率相同的電熱絲，所以在電熱絲在進(jìn)行加熱時(shí)，熱量通過真空室的不銹鋼金屬壁輻射到工作室內(nèi)，保證了工作室內(nèi)的溫度輻射熱量相同，從而使得烘干中的物料保持均勻性。隨著時(shí)間的推移和設(shè)備的使用，真空烘箱在工作中也暴露了許多缺陷。真空烘箱的維修很麻煩，對(duì)于電熱絲燒斷的維修，只能先把真空烘箱的大門拆掉，然后取下硅膠密封條并拆掉真空室的固定螺絲，再拆掉真空烘箱后面的蓋板，取出所有的保溫巖棉，拆卸出真空室。這樣繁瑣的步驟結(jié)束后才能更換新的電熱絲并重新安裝真空烘箱設(shè)備。此外，真空烘箱的溫度上升慢、下降慢問題，給干燥工作帶來一定的局限性，且真空實(shí)驗(yàn)結(jié)束后，還容易使得實(shí)驗(yàn)人員被真空室的四周金屬壁燙傷，因此真空烘箱的安全性和人性化設(shè)計(jì)需要進(jìn)一步改進(jìn)。檢查真空泵管路及結(jié)合處有無松動(dòng)現(xiàn)象。雙層鋼化玻璃觀察窗真空烘箱定制

真空烘箱能在較低溫度下得到較高的干燥速率，熱量利用充分。麗水進(jìn)口數(shù)顯真空烘箱規(guī)格尺寸

真空烘箱的真空泵-維護(hù)保養(yǎng)1、經(jīng)常檢查油位位置，不符合規(guī)定時(shí)須調(diào)整使之符合要求。以真空泵運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)，油位到油標(biāo)中心為準(zhǔn)。2、經(jīng)常檢查油質(zhì)情況，發(fā)現(xiàn)油變質(zhì)應(yīng)及時(shí)更換新油，確保真空泵工作正常。3、換油期限按實(shí)際使用條件和能否滿足性能要求等情況考慮，由用戶酌情決定。一般新真空泵，抽除清潔干燥的氣體時(shí)，建議在工作100小時(shí)左右換油一次。待油中看不到黑色金屬粉末后，以后可適當(dāng)延長換油期限。4、一般情況下，真空泵工作2000小時(shí)后應(yīng)進(jìn)行檢修，檢查桷膠密封件老化程度，檢查排氣閥片是否開裂，清理沉淀在閥片及排氣閥座上的污物。清洗整個(gè)真空泵腔內(nèi)的零件，如轉(zhuǎn)子、旋片、彈簧等。一般用汽油清洗，并烘干。對(duì)橡膠件類清洗后用干布擦干即可。清洗裝配時(shí)應(yīng)輕拿輕放小心碰傷。麗水進(jìn)口數(shù)顯真空烘箱規(guī)格尺寸

杭州宏譽(yù)智能科技有限公司是一家一般項(xiàng)目：物聯(lián)網(wǎng)技術(shù)研發(fā)；物聯(lián)網(wǎng)設(shè)備制造；工業(yè)互聯(lián)網(wǎng)數(shù)據(jù)服務(wù)；物聯(lián)網(wǎng)應(yīng)用服務(wù)；半導(dǎo)體器件設(shè)備制造；電子設(shè)備制造；通用設(shè)備制造（不含特種設(shè)備制造）；金屬結(jié)構(gòu)制造；烘爐、熔爐及電爐制造；計(jì)算機(jī)軟硬件及外圍設(shè)備制造；儀器儀表制造；工業(yè)自動(dòng)控制系統(tǒng)裝置制造；通信設(shè)備制造；試驗(yàn)機(jī)制造；物聯(lián)網(wǎng)設(shè)備銷售；半導(dǎo)體器件設(shè)備銷售；烘爐、熔爐及電爐銷售；泵及真空設(shè)備銷售；智能倉儲(chǔ)設(shè)備銷售；低溫倉儲(chǔ)（不含危險(xiǎn)化學(xué)品等需許可審批的項(xiàng)目）工程和技術(shù)研究和試驗(yàn)發(fā)展；實(shí)驗(yàn)分析儀器銷售；機(jī)械設(shè)備研發(fā)；電子材料銷售；電子產(chǎn)品銷售；普通機(jī)械設(shè)備安裝服務(wù)（除依法須經(jīng)批準(zhǔn)的項(xiàng)目外，憑營業(yè)執(zhí)照依法自主開展經(jīng)營活動(dòng)）。的公司，致力于發(fā)展為創(chuàng)新務(wù)實(shí)、誠實(shí)可信的企業(yè)。公司自創(chuàng)立以來，投身于防潮防氧化設(shè)備，精密烘箱，設(shè)備高可靠性實(shí)驗(yàn)設(shè)備，智能安全存儲(chǔ)設(shè)備，是機(jī)械及行業(yè)設(shè)備的主力軍。杭州宏譽(yù)科技始終以本分踏實(shí)的精神和必勝的信念，影響并帶動(dòng)團(tuán)隊(duì)取得成功。杭州宏譽(yù)科技創(chuàng)始人田光宏，始終關(guān)注客戶，創(chuàng)新科技，竭誠為客戶提供良好的服務(wù)。