BPO膠/PI膠/BCB膠固化烘箱要求一、技術(shù)指標(biāo)與基本配置：1、潔凈度：Class100級2、氧含量（配氧分析儀）：高溫狀態(tài)氧含量：≤10ppm+氣源氧含量;低溫狀態(tài)氧含量：≤20ppm+氣源氧含量3、使用溫度：RT～400℃，最高溫度：450℃4、控溫穩(wěn)定度：±1℃；5、溫度均勻度：150℃±1.5%，350℃±2%以內(nèi)（空載測試）；6、腔體數(shù)量:2個(gè),上下布置；單獨(dú)控溫7、爐膛材料：SUS304鏡面不銹鋼；加熱元件：不銹鋼加熱器；熱偶8、空爐升溫時(shí)間：1.5h；9、空爐降溫時(shí)間：375℃--80℃；降溫時(shí)間1.5-3.5小時(shí)(采用水冷及風(fēng)冷)；10、智能控制系統(tǒng)：PCL+PC工控電腦儲(chǔ)存、加熱、試驗(yàn)和干燥都是在沒有氧氣或者充滿惰性氣體環(huán)境里進(jìn)行，所以不會(huì)氧化。溫州易維護(hù)真空烘箱維修維護(hù)

一般的電熱真空干燥箱都采用先加熱真空室壁面、再由壁面向工件進(jìn)行輻射加熱的方式。在這種方式下，控溫儀表的溫度傳感器可以布置在真空室外壁。傳感器可以同時(shí)接受對流、傳導(dǎo)、和輻射熱。而處于真空室里的玻璃棒溫度計(jì)只能接受輻射熱，更由于玻璃棒黑度不可能達(dá)到1，相當(dāng)一部分輻射熱被折射了，因此玻璃棒溫度計(jì)反映的溫度值就肯定低于儀表的溫度讀數(shù)。一般講，200℃工況時(shí)儀表的溫度讀數(shù)與玻璃棒溫度計(jì)的讀數(shù)兩者相差30℃以內(nèi)是正常的。如果控溫儀表的溫度傳感器布置在真空室內(nèi)，玻璃棒溫度計(jì)的溫度值與儀表的溫度讀數(shù)之間的差異可以適當(dāng)縮小，但不可能消除，而真空室的密封可靠性增加了一個(gè)可能不可靠環(huán)節(jié)。如果從操作實(shí)用角度考慮不希望看到這個(gè)差異，可以采用控溫儀表特有的顯示修正功能解決。蘇州內(nèi)置泵體真空烘箱定制將露在外面的電鍍件擦凈后涂上中性油脂，以防腐蝕，并套上塑料薄膜防塵罩，放置于干燥的室內(nèi)。

   電子元器件烘烤過程中靜電防護(hù)：集成電路元器件的線路縮小，耐壓降低，線路面積減小，使得器件耐靜電沖擊能力的減弱，靜電電場和靜電電流成為這些高密度元器件的致命危害。同時(shí)大量的塑料制品等高絕緣材料的普遍應(yīng)用，導(dǎo)致產(chǎn)生靜電的機(jī)會(huì)大增。日常生活中如走動(dòng)，空氣流動(dòng)，搬運(yùn)等都能產(chǎn)生靜電。人們一般認(rèn)為只有CMOS類的晶片才對靜電敏感，實(shí)際上，集成度高的元器件電路都很敏感。靜電對電子元件的影響:1)靜電吸附灰塵，改變線路間的阻抗，影響產(chǎn)品的功能與壽命。2)因電場或電流破壞元件的絕緣或?qū)w，使元件不能工作（完全破壞）。3)因瞬間的電場或電流產(chǎn)生的熱，元件受傷，仍能工作，壽命受損。外箱體表面采用先進(jìn)的防靜電烤漆,讓電子元器件與熱風(fēng)空氣摩擦產(chǎn)生的的靜電隨著外箱體導(dǎo)體泄放到大地。

常用PI/BCB/BPO膠的固化方法如下：1、在半導(dǎo)體芯片表面涂覆一層粘附劑；2、通過旋轉(zhuǎn)方式在半導(dǎo)體芯片表面的粘附劑上涂覆一層液態(tài)PI/BCB/BPO膠，接著將涂覆好PI/BCB/BPO膠的半導(dǎo)體芯片放入固化爐中，并通入氮?dú)獗Ｗo(hù)；3、加熱固化爐，使涂覆PI/BCB/BPO膠的半導(dǎo)體芯片達(dá)到一溫度，穩(wěn)定一段時(shí)間，使PI/BCB/BPO膠中的溶劑分布均勻4、再將加熱固化爐升高到第二溫度，穩(wěn)定一段時(shí)間，使PI/BCB/BPO膠中的溶劑充分揮發(fā)；5、再將加熱固化爐升高至第三溫度，穩(wěn)定一段時(shí)間，在半導(dǎo)體芯片表面形成低介電常數(shù)PI/BCB/BPO膠薄膜；6、將加熱固化爐的溫度降至一預(yù)定溫度，關(guān)氮?dú)猓〕鰳悠?，完成固化工藝。真空泵在寒冬季?jié)使用時(shí)，停車后，需將泵體下部放水螺塞擰開將介質(zhì)放凈。防止凍裂。

烘箱結(jié)構(gòu)真空烘箱能在較低溫度下獲得較高的干燥速率，熱量利用充足，主要合用于對熱敏性物料和含有容劑及需回收溶劑物料的干燥。在干燥前可進(jìn)行消毒辦理，干燥過程中任何不純物無混入，本干燥器屬于靜態(tài)真空干燥器，故干燥物料的形成不會(huì)破壞。加熱方式有：蒸汽、熱水、導(dǎo)熱油、電熱。在真空條件下，溶劑沸點(diǎn)明顯降低，箱內(nèi)保持溫度恒定，實(shí)現(xiàn)樣品在較低溫度下快速干燥，同時(shí)供給一個(gè)無塵、無旋渦、平和的干燥環(huán)境，還使得溶劑的蒸汽易于采集，排放或再利用?？諝庋h(huán)系統(tǒng)采納雙電機(jī)水平循環(huán)送風(fēng)方式，風(fēng)循環(huán)平均高效。真空泵在運(yùn)行過程中，軸承溫度不能超過環(huán)境溫度35C，最高溫度不得超過80C。湖州真空泵抽濕真空烘箱調(diào)試調(diào)整

本所物料的干燥周期，每隔一段時(shí)間觀察一下，歷力表，溫度表，和箱體內(nèi)的變化，來處理。溫州易維護(hù)真空烘箱維修維護(hù)

真空干燥箱先抽真空再升溫加熱的原因1)工件放入真空箱里抽真空是為了抽去工件材質(zhì)中可以抽去的氣體成分。如果先加熱工件，氣體遇熱就會(huì)膨脹。由于真空箱的密封性非常好，膨脹氣體所產(chǎn)生的巨大壓力有可能使觀察窗鋼化玻璃爆裂。這是一個(gè)潛在的危險(xiǎn)。按先抽真空再升溫加熱的程序操作，就可以避免這種危險(xiǎn)。2)如果按先升溫加熱再抽真空的程序操作，加熱的空氣被真空泵抽出去的時(shí)候，熱量必然會(huì)被帶到真空泵上去，從而導(dǎo)致真空泵溫升過高，有可能使真空泵效率下降。3)加熱后的氣體被導(dǎo)向真空壓力表，真空壓力表就會(huì)產(chǎn)生溫升。如果溫升超過了真空壓力表規(guī)定的使用溫度范圍，就可能使真空壓力表產(chǎn)生示值誤差。正確的使用方法應(yīng)該先抽真空再升溫加熱。待達(dá)到了額定溫度后如發(fā)現(xiàn)真空度有所下降時(shí)再適當(dāng)加抽一下。這樣做對于延長設(shè)備的使用壽命是有利的。溫州易維護(hù)真空烘箱維修維護(hù)

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