由外及里，干燥箱的內(nèi)膽有兩種選擇，一是鍍鋅板，二是鏡面不銹鋼。鍍鋅板在長(zhǎng)期使用過(guò)程中容易生銹，不利于保養(yǎng)；鏡面不銹鋼外觀整潔，易于保養(yǎng)，使用壽命長(zhǎng)，屬市場(chǎng)上較好的內(nèi)膽材質(zhì)，但是價(jià)格要稍高于鍍鋅板。 內(nèi)膽的樣品架子一般有兩層，可根據(jù)客戶的要求增添。由于樣品架的質(zhì)量是由不銹鋼壓制而成，且多增加的架子不利于內(nèi)部熱風(fēng)的循環(huán)，加大風(fēng)機(jī)的質(zhì)量要求，所以每加一個(gè)架子的成本在三百元之間。國(guó)內(nèi)干燥箱的保溫材質(zhì)主要是以纖維棉為主，少數(shù)采用聚氨酯。本所物料的干燥周期，每隔一段時(shí)間觀察一下，歷力表，溫度表，和箱體內(nèi)的變化，來(lái)處理。溫州進(jìn)口數(shù)顯真空烘箱維修維護(hù)

    為獲得平坦而均勻的光刻膠涂層并使光刻膠與晶片之間有良好的黏附性，通常在涂膠前對(duì)晶片進(jìn)行預(yù)處理。預(yù)處理第一步常是脫水烘烤，在真空或干燥氮?dú)獾臋C(jī)臺(tái)中，以150～200℃烘烤。工藝目的是除去晶片表面吸附的水分，在此溫度下，晶片表面大約保留了一個(gè)單分子層的水。涂膠后，晶片須經(jīng)過(guò)一次烘烤，稱之軟烘或前烘。工藝作用是除去膠中大部分溶劑并使膠的曝光特性固定。通常，軟烘時(shí)間越短或溫度越低會(huì)使得膠在顯影劑中的溶解速率增加且感光度更高，但對(duì)比度會(huì)有降低。實(shí)際上軟烘工藝需要通過(guò)優(yōu)化對(duì)比度而保持可接受感光度的試湊法用實(shí)驗(yàn)確定，典型的軟烘溫度是90～100℃，時(shí)間從用熱板的30秒到用烘箱的30分鐘。在晶片顯影后，為了后面的高能工藝，如離子注入和等離子體刻蝕，也須對(duì)晶片進(jìn)行高溫烘烤，稱之后烘或硬烘。這一工藝目的在于：減少駐波效應(yīng)；激發(fā)化學(xué)增強(qiáng)光刻膠PAG產(chǎn)生的酸與光刻膠上的保護(hù)基團(tuán)發(fā)生反應(yīng)并移除基團(tuán)使之能溶解于顯影液。 蘇州防止氧化真空烘箱真空泵不能長(zhǎng)時(shí)期工作。

從保溫效果來(lái)講，聚氨酯的耐溫與絕熱效果要好于纖維棉，一般聚氨酯可以使箱體內(nèi)的高溫在大幾個(gè)小時(shí)內(nèi)保持穩(wěn)定，值得一提的是，聚氨酯的高效絕熱性能，可有效地防止箱體外溫度過(guò)高燙傷操作員。纖維棉材質(zhì)的干燥箱在高溫時(shí)，只能靠溫度控制器不停的控制與調(diào)節(jié)，保持箱內(nèi)溫度的穩(wěn)定，這樣增加了風(fēng)機(jī)與控制器的工作強(qiáng)度，從而降低了干燥箱的使用壽命。再?gòu)暮笃诰S護(hù)來(lái)講，由于聚氨酯是整個(gè)注塑到箱體內(nèi)的，后期維修時(shí)特別繁瑣，維修前需要將聚氨酯全部掏出來(lái)，修好后再注塑進(jìn)去。而纖維棉不會(huì)這么麻煩，操作簡(jiǎn)單。從市場(chǎng)上講，纖維棉的價(jià)格非常便宜，且可滿足大部分的保溫要求，運(yùn)用廣，杭州宏譽(yù)智能科技建議：纖維棉越細(xì)，厚度越大，保溫質(zhì)量越好。干燥箱的密封一般都是采用抗老化的硅橡膠，密封效果很好。

使用注意事項(xiàng)1.真空箱外殼必須有效接地，以保證使用安全。2.真空箱應(yīng)在相對(duì)濕度≤85%RH，周圍無(wú)腐蝕性氣體、無(wú)強(qiáng)烈震動(dòng)源及強(qiáng)電磁場(chǎng)存在的環(huán)境中使用。3.真空箱工作室無(wú)防爆、防腐蝕等處理，不得放易燃、易爆、易產(chǎn)生腐蝕性氣體的物品進(jìn)行干燥。4.真空泵不能長(zhǎng)時(shí)期工作，因此當(dāng)真空度達(dá)到干燥物品要求時(shí)，應(yīng)先關(guān)閉真空閥，再關(guān)閉真空泵電源，待真空度小于干燥物品要求時(shí)，再打開真空閥及真空泵電源，繼續(xù)抽真空，這樣可延長(zhǎng)真空泵使用壽命。5.干燥的物品如潮濕，則在真空箱與真空泵之間比較好加入過(guò)濾器，防止潮濕氣體進(jìn)入真空泵，造成真空泵故障。6.干燥的物品如干燥后改變?yōu)橹亓枯p，體積小（為小顆粒狀），應(yīng)在工作室內(nèi)抽真空口加隔阻網(wǎng)，以防干燥物吸入而損壞真空泵（或電磁閥）。真空箱應(yīng)經(jīng)常保持清潔。箱門玻璃切忌用有反應(yīng)的化學(xué)溶液擦拭，應(yīng)用松軟棉布擦拭。

    真空干燥箱日常使用和維護(hù)：1、產(chǎn)品出廠前都經(jīng)過(guò)嚴(yán)格的測(cè)試，一般不要進(jìn)行修改，如使用時(shí)的環(huán)境惡劣，環(huán)境溫度超出適宜范圍，會(huì)引起溫度顯示值與箱內(nèi)實(shí)際溫度誤差，如超出技術(shù)指標(biāo)范圍的，可以參照溫度控制器操作說(shuō)明按所需進(jìn)行修正。2、儀器在正常工作狀態(tài)下，如打開箱門時(shí)間過(guò)長(zhǎng)，關(guān)上箱門后即使箱內(nèi)溫度有些變動(dòng)，這也是正?，F(xiàn)象。3、除維修外，不能拆開左側(cè)箱體蓋以免損壞電器控制系統(tǒng)。4、放氣閥橡皮塞若旋轉(zhuǎn)困難，可在內(nèi)涂上適量油脂潤(rùn)滑。5、真空泵不能長(zhǎng)時(shí)期工作，因此真空度達(dá)到干燥物品要求時(shí)，應(yīng)先封閉真空閥，再封閉真空泵電源，待真空度小于干燥物品要求時(shí)，再打開真空閥及真空泵電源，繼續(xù)抽真空，這樣可延長(zhǎng)真空泵使用壽命。6、干燥的物品如濕潤(rùn)，則在真空箱與真空泵之間比較好加進(jìn)過(guò)濾器，防止?jié)駶?rùn)氣體抽進(jìn)真空泵，造成真空泵故障。7、真空干燥箱經(jīng)多次使用后，會(huì)產(chǎn)生不能抽真空的現(xiàn)象，此時(shí)應(yīng)更換門封條或調(diào)整箱體上的門扣伸出間隔來(lái)解決。真空箱干燥溫度高于200度時(shí)，有可能會(huì)產(chǎn)生慢漏氣現(xiàn)象，此時(shí)拆開箱體背后蓋板用內(nèi)六角板手?jǐn)Q松加熱器底座，調(diào)換密封圈或擰緊加熱器底座來(lái)解決。8、真空干燥箱應(yīng)經(jīng)常保持清潔。箱門玻璃切忌用有反應(yīng)的化學(xué)溶液擦拭。 將露在外面的電鍍件擦凈后涂上中性油脂，以防腐蝕，并套上塑料薄膜防塵罩，放置于干燥的室內(nèi)。臺(tái)州雙層鋼化玻璃觀察窗真空烘箱

經(jīng)常檢查油位位置，不符合規(guī)定時(shí)須調(diào)整使之符合要求。溫州進(jìn)口數(shù)顯真空烘箱維修維護(hù)

    熱對(duì)流真空烘箱，包括真空箱體和密封門，真空箱體的箱口采用法蘭面，此面與箱體密封門緊密貼合，避免真空泄漏。真空箱體內(nèi)壁設(shè)置無(wú)孔鏡面不銹鋼板13、有孔鏡面不銹鋼板14，這兩種不銹鋼板組合配對(duì)裝配，與無(wú)孔鏡面不銹鋼板14靠箱體內(nèi)壁，有孔鏡面不銹鋼板13在箱體內(nèi)表面，兩鋼板間距為5—15mm，無(wú)孔鏡面不銹鋼板用來(lái)反射熱量，熱量通過(guò)小孔回到箱體中，減少熱量損失。在箱體頂部?jī)?nèi)壁設(shè)置有孔鏡面不銹鋼板12。箱體頂部和下部左右兩邊各設(shè)置有氮?dú)膺M(jìn)氣口，可以實(shí)現(xiàn)氮?dú)饪焖贁U(kuò)散到箱體內(nèi)部各地方。真空箱體在工作的時(shí)候，真空度控制在10～50pa之間，溫度控制在80～110℃，這樣電池中的水份會(huì)變成水蒸汽擴(kuò)散在箱體中，原箱體中也有少量的空氣，真空干燥箱保溫保壓一段時(shí)間后，箱體中的水蒸汽達(dá)到一定的量后，為了將水蒸汽排出，需向箱體中充入氮?dú)?，因?yàn)榈獨(dú)獾姆肿淤|(zhì)量比水蒸汽的分子質(zhì)量大，為了能快速將水蒸汽排擠到箱體上方，方便將其從真空口抽出，所以在箱體下方布置2-3個(gè)進(jìn)氮?dú)膺M(jìn)氣口。這樣的設(shè)置方式可以減少靜置時(shí)間，氮?dú)饪焖贁U(kuò)散，將水蒸汽排擠到箱體上方，再通過(guò)真空泵將水蒸汽抽出。真空箱體氮?dú)膺M(jìn)氣口預(yù)先對(duì)氮?dú)膺M(jìn)行加熱，因?yàn)榈獨(dú)膺M(jìn)到高溫箱體中時(shí)。溫州進(jìn)口數(shù)顯真空烘箱維修維護(hù)

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