為獲得平坦而均勻的光刻膠涂層并使光刻膠與晶片之間有良好的黏附性，通常在涂膠前對(duì)晶片進(jìn)行預(yù)處理。預(yù)處理第一步常是脫水烘烤，在真空或干燥氮?dú)獾臋C(jī)臺(tái)中，以150～200℃烘烤。工藝目的是除去晶片表面吸附的水分，在此溫度下，晶片表面大約保留了一個(gè)單分子層的水。涂膠后，晶片須經(jīng)過(guò)一次烘烤，稱(chēng)之軟烘或前烘。工藝作用是除去膠中大部分溶劑并使膠的曝光特性固定。通常，軟烘時(shí)間越短或溫度越低會(huì)使得膠在顯影劑中的溶解速率增加且感光度更高，但對(duì)比度會(huì)有降低。實(shí)際上軟烘工藝需要通過(guò)優(yōu)化對(duì)比度而保持可接受感光度的試湊法用實(shí)驗(yàn)確定，典型的軟烘溫度是90～100℃，時(shí)間從用熱板的30秒到用烘箱的30分鐘。在晶片顯影后，為了后面的高能工藝，如離子注入和等離子體刻蝕，也須對(duì)晶片進(jìn)行高溫烘烤，稱(chēng)之后烘或硬烘。這一工藝目的在于：減少駐波效應(yīng)；激發(fā)化學(xué)增強(qiáng)光刻膠PAG產(chǎn)生的酸與光刻膠上的保護(hù)基團(tuán)發(fā)生反應(yīng)并移除基團(tuán)使之能溶解于顯影液。 箱門(mén)可調(diào)節(jié)式松緊閉合。舟山無(wú)塵埃破壞真空烘箱價(jià)格

一般的電熱真空干燥箱都采用先加熱真空室壁面、再由壁面向工件進(jìn)行輻射加熱的方式。在這種方式下，控溫儀表的溫度傳感器可以布置在真空室外壁。傳感器可以同時(shí)接受對(duì)流、傳導(dǎo)、和輻射熱。而處于真空室里的玻璃棒溫度計(jì)只能接受輻射熱，更由于玻璃棒黑度不可能達(dá)到1，相當(dāng)一部分輻射熱被折射了，因此玻璃棒溫度計(jì)反映的溫度值就肯定低于儀表的溫度讀數(shù)。一般講，200℃工況時(shí)儀表的溫度讀數(shù)與玻璃棒溫度計(jì)的讀數(shù)兩者相差30℃以?xún)?nèi)是正常的。如果控溫儀表的溫度傳感器布置在真空室內(nèi)，玻璃棒溫度計(jì)的溫度值與儀表的溫度讀數(shù)之間的差異可以適當(dāng)縮小，但不可能消除，而真空室的密封可靠性增加了一個(gè)可能不可靠環(huán)節(jié)。如果從操作實(shí)用角度考慮不希望看到這個(gè)差異，可以采用控溫儀表特有的顯示修正功能解決。舟山無(wú)塵埃破壞真空烘箱價(jià)格干燥完成后，先將放氣閥打開(kāi)，放出里面氣體，再進(jìn)行打開(kāi)真空干燥箱箱門(mén)，取出物料。

真空干燥箱先抽真空再升溫加熱的原因1)工件放入真空箱里抽真空是為了抽去工件材質(zhì)中可以抽去的氣體成分。如果先加熱工件，氣體遇熱就會(huì)膨脹。由于真空箱的密封性非常好，膨脹氣體所產(chǎn)生的巨大壓力有可能使觀(guān)察窗鋼化玻璃爆裂。這是一個(gè)潛在的危險(xiǎn)。按先抽真空再升溫加熱的程序操作，就可以避免這種危險(xiǎn)。2)如果按先升溫加熱再抽真空的程序操作，加熱的空氣被真空泵抽出去的時(shí)候，熱量必然會(huì)被帶到真空泵上去，從而導(dǎo)致真空泵溫升過(guò)高，有可能使真空泵效率下降。3)加熱后的氣體被導(dǎo)向真空壓力表，真空壓力表就會(huì)產(chǎn)生溫升。如果溫升超過(guò)了真空壓力表規(guī)定的使用溫度范圍，就可能使真空壓力表產(chǎn)生示值誤差。正確的使用方法應(yīng)該先抽真空再升溫加熱。待達(dá)到了額定溫度后如發(fā)現(xiàn)真空度有所下降時(shí)再適當(dāng)加抽一下。這樣做對(duì)于延長(zhǎng)設(shè)備的使用壽命是有利的。

    充氮潔凈烘箱是一種新型可造就潔凈的恒溫環(huán)境的電熱干燥箱，可滿(mǎn)足電子、醫(yī)療衛(wèi)生儀器、儀表，工廠(chǎng)，高等院校、科研部門(mén)等有關(guān)單位作凈化烘箱的需要。充氮潔凈烘箱采用不銹鋼工作室，不銹鋼管作加熱，內(nèi)膽周身做密閉氬弧焊接，保證箱體內(nèi)部潔凈度高，箱內(nèi)充以氮?dú)獾榷栊詺怏w有效防止產(chǎn)品氧化，有助于保證產(chǎn)品質(zhì)量!充氮潔凈烘箱采用精確的控溫系統(tǒng)-數(shù)顯溫控系統(tǒng)。安裝在箱體的頂部。其特點(diǎn)具有讀數(shù)清晰、調(diào)節(jié)方便、控溫精度高、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、安全可靠之優(yōu)點(diǎn)。充氮潔凈烘箱采用水平送風(fēng)強(qiáng)鼓風(fēng)循環(huán)系統(tǒng)，特殊風(fēng)道設(shè)計(jì)，使箱內(nèi)溫度均勻，確保了溫度的穩(wěn)定性。充氮潔凈烘箱擁有完善的安全保護(hù)措施，超溫報(bào)警、欠相缺相保護(hù)、過(guò)電流保護(hù)、快速熔斷器、接地保護(hù)等系統(tǒng)，該功能充分保護(hù)實(shí)驗(yàn)人員的安全！ 真空泵不能長(zhǎng)時(shí)期工作。

由外及里，干燥箱的內(nèi)膽有兩種選擇，一是鍍鋅板，二是鏡面不銹鋼。鍍鋅板在長(zhǎng)期使用過(guò)程中容易生銹，不利于保養(yǎng)；鏡面不銹鋼外觀(guān)整潔，易于保養(yǎng)，使用壽命長(zhǎng)，屬市場(chǎng)上較好的內(nèi)膽材質(zhì)，但是價(jià)格要稍高于鍍鋅板。 內(nèi)膽的樣品架子一般有兩層，可根據(jù)客戶(hù)的要求增添。由于樣品架的質(zhì)量是由不銹鋼壓制而成，且多增加的架子不利于內(nèi)部熱風(fēng)的循環(huán)，加大風(fēng)機(jī)的質(zhì)量要求，所以每加一個(gè)架子的成本在三百元之間。國(guó)內(nèi)干燥箱的保溫材質(zhì)主要是以纖維棉為主，少數(shù)采用聚氨酯。工作室采用不銹鋼板(或拉絲板)制成，確保產(chǎn)品經(jīng)久耐用。上海防止氧化真空烘箱規(guī)格尺寸

可設(shè)定溫度、測(cè)定溫度。舟山無(wú)塵埃破壞真空烘箱價(jià)格

    本實(shí)用新型的工作原理：首先將不同熱量需求的原料放置在相應(yīng)的支撐板13上，然后將熱水源與每一個(gè)進(jìn)水管6以及出水管8相連通，熱水同時(shí)從每一個(gè)進(jìn)水管6進(jìn)入到每一層對(duì)應(yīng)的導(dǎo)流管10內(nèi)，并對(duì)支撐板13上的原料進(jìn)行烘干，每一個(gè)導(dǎo)流管10內(nèi)的熱水經(jīng)對(duì)應(yīng)的出水管8流出，并回到熱水源中進(jìn)行加熱以便再次循環(huán)使用。本實(shí)用新型的有益效果：（1）本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，操作方便，可對(duì)不同原料進(jìn)行加熱烘干，烘干效果好、烘干效率高、適用范圍廣。（2）本實(shí)用新型中每一個(gè)進(jìn)水管6與上層對(duì)應(yīng)導(dǎo)流管10之間、上下相鄰兩個(gè)導(dǎo)流管10之間、下層每一個(gè)導(dǎo)流管10與對(duì)應(yīng)出水管8之間均采用螺紋式快速連接，操作簡(jiǎn)單，使用方便，連接牢靠，保證了其內(nèi)熱水的穩(wěn)定流動(dòng)，從而提高了烘干效率。（3）本實(shí)用新型在每一個(gè)進(jìn)水管6、出水管8以及導(dǎo)流管10內(nèi)均沿其長(zhǎng)度方向錯(cuò)位豎直設(shè)有上隔板11和下隔板12，用于降低熱水的流速，從而提高了烘干效果。舟山無(wú)塵埃破壞真空烘箱價(jià)格