進(jìn)行擴(kuò)散時,先將硅片插在石英舟內(nèi),然后將插滿硅片的石英舟放入擴(kuò)散爐管中進(jìn)行擴(kuò)散,擴(kuò)散完畢將硅片從石英舟內(nèi)取出,然后再插入新的硅片進(jìn)行下一批的擴(kuò)散,因此在生產(chǎn)過程中,石英舟是重復(fù)使用的。但是長期使用石英舟的表面會沉積一層白色的五氧化二磷,當(dāng)石英舟與空氣中的水分接觸后便生成偏磷酸,石英舟的卡槽中累積大量偏磷酸后,偏磷酸會腐蝕硅片表面,在硅片表面形成卡槽印。硅片表面卡槽印在嚴(yán)重的情況下會導(dǎo)致電池片的轉(zhuǎn)換效率的降低,影響產(chǎn)品的合格率。
因此,石英舟/石墨舟需要放入專業(yè)的不銹鋼氮?dú)夤裰斜4?,防止空氣?dāng)中的水分和石英舟表面的沉積物形成偏磷酸,影響太陽能電池片的性能。 氮?dú)夤竦捏w積和容量可以根據(jù)需要進(jìn)行調(diào)整,適應(yīng)不同規(guī)模和需求的場景。江蘇微電腦氮?dú)夤穸ㄖ?/p>
智能氮?dú)夤竦墓δ埽焊呔瓤刂疲褐悄艿獨(dú)夤竦臏囟?、濕度和氧含量控制系統(tǒng)具有高精度,能夠提供穩(wěn)定和持久的環(huán)境條件。自動化控制:智能氮?dú)夤衽鋫渥詣踊刂葡到y(tǒng),能夠自動監(jiān)測和調(diào)節(jié)柜內(nèi)環(huán)境,無需人工干預(yù)。安全保護(hù):智能氮?dú)夤裨O(shè)有安全裝置,能夠及時發(fā)出警告并采取應(yīng)急措施。數(shù)據(jù)記錄和追溯:智能氮?dú)夤衽鋫鋽?shù)據(jù)記錄和追溯功能,實(shí)時顯示溫濕度曲線圖,記錄和存儲柜內(nèi)環(huán)境歷史數(shù)據(jù),方便后續(xù)分析和審查。環(huán)保設(shè)計(jì):環(huán)保低能源設(shè)計(jì),不結(jié)霜、不滴水、低功率;表面處理采用防靜電烤漆,耐腐蝕性強(qiáng),導(dǎo)地線和導(dǎo)靜電剎車輪直接與大地相通,避免低濕產(chǎn)生的靜電,保護(hù)電子元件。智能休眠:內(nèi)置智能休眠技術(shù),使設(shè)備更節(jié)能更穩(wěn)定。配置溫濕度監(jiān)控系統(tǒng):通過電腦對氮?dú)夤裰惺占臏貪穸葦?shù)據(jù)進(jìn)行記錄存檔,便于查看歷史數(shù)據(jù);濕度值超過設(shè)定值有蜂鳴器報(bào)警或聲光報(bào)警??偟膩碚f,智能氮?dú)夤癫粌H能提供穩(wěn)定和持久的環(huán)境條件,還具有自動化控制、安全保護(hù)、數(shù)據(jù)記錄和追溯等功能,方便后續(xù)分析和審查。微電腦氮?dú)夤裾{(diào)試調(diào)整采用電腦感應(yīng)控制,濕度超過設(shè)定值噴入氮?dú)?,?dāng)濕度達(dá)到設(shè)定值,自動停止達(dá)到保護(hù)物品并節(jié)省能源的效果。
氮?dú)夤竦臄?shù)字顯示器顯示盒子中的當(dāng)前數(shù)據(jù)。按住任意鍵,濕度顯示區(qū)的數(shù)據(jù)就是設(shè)定值。向上按鈕的設(shè)定值上升,向下按鈕的設(shè)定值下降。調(diào)整到所需的濕度值后,機(jī)器開始工作,直到濕度降到設(shè)定值,然后自動停止工作,氮?dú)鈿庠磿詣忧袛?,從而達(dá)到節(jié)約氮?dú)庀牡哪康摹J褂眠^程中,請注意盡量縮短開門時間,防止外界空氣對流,導(dǎo)致箱內(nèi)濕度上升過大。請盡量不要切斷電源,以免影響使用。將物體放在氮?dú)夤拗?,如果物體本身所含的水分較大,氮?dú)夤拗械臐穸葧仙瑵穸认陆档臅r間較長,氮?dú)獾南牧恳草^大。
氮?dú)夤袷褂玫獨(dú)獾淖⒁馐马?xiàng):
打開排氣閥:在使用氮?dú)夤裰埃瑧?yīng)先打開柜門的排氣閥,將氣體緩慢釋放,以確保柜內(nèi)壓力正常。
調(diào)節(jié)氮?dú)饬髁浚旱獨(dú)饬髁康拇笮苯佑绊懙獨(dú)鉂舛?。根?jù)實(shí)驗(yàn)或存儲的需求,適當(dāng)調(diào)節(jié)氮?dú)饬髁俊A髁吭酱?,氮?dú)鉂舛瓤赡軙降汀?
控制室溫與氣壓:室溫高或氣壓低都可能導(dǎo)致氮?dú)鉂舛认陆?。因此,?yīng)對實(shí)驗(yàn)室進(jìn)行溫度控制,并在氣壓低時及時添加氮?dú)猓员3值獨(dú)鉂舛鹊姆€(wěn)定。
監(jiān)測與維護(hù):定期檢查氮?dú)夤竦膲毫Ρ砗桶踩y等安全設(shè)備,確保其正常工作。氮?dú)夤袷褂猛戤吅?,?yīng)關(guān)閉柜體流量控制閥和排氣閥,并將氮?dú)夤駜?nèi)的殘余氣體排空。 氮?dú)馐且环N無毒、無味、無色的氣體,不會對人體造成傷害。
氮?dú)夤窀髦饕δ懿考Y(jié)構(gòu)以及工作原理氮?dú)夤袷抢玫獨(dú)鈦磉_(dá)到防氧化防潮目的柜體,密閉柜體本身具有送氮和排氣的通路。根據(jù)應(yīng)用要求,可配置不同的控制功能。被廣泛應(yīng)用在微電子,半導(dǎo)體,新能源,電子,航空航天行業(yè)的研發(fā)生產(chǎn)工序,用于各類貴金屬材料,半導(dǎo)體器件和敏感器件的防氧化保存。
氮?dú)夤窀髦饕δ懿考Y(jié)構(gòu)以及工作原理如下!
1、氮?dú)庠诳刂茊卧刂葡乱灶A(yù)設(shè)值進(jìn)入柜內(nèi),保護(hù)柜中存放的物料。當(dāng)控制單元檢測到柜門打開時,就進(jìn)行高速充柜門全部閉合時,氙氣以預(yù)設(shè)低速充入柜內(nèi)。電源開時流量計(jì)仍能持續(xù)不地向柜體提供氮?dú)狻?
2、門鎖及門密封系統(tǒng)安裝于柜體上,對柜體構(gòu)成密封。
3、自動減壓泄氣系統(tǒng)能起到對柜體內(nèi)過高的氣壓進(jìn)行自動減壓和泄壓,
4、支撐底座用于安放柜體(帶制動系統(tǒng)),能起到調(diào)整柜體平穩(wěn)作用。
5、采用多點(diǎn)供氣系統(tǒng)。氮?dú)馔ㄟ^30個點(diǎn)充入柜體內(nèi),使柜體內(nèi)氮?dú)饪焖倬鶆蚍植肌?氮?dú)夤襁€具有節(jié)能環(huán)保的優(yōu)勢,低能源設(shè)計(jì),不結(jié)霜、不滴水、低功率。玉林機(jī)械氮?dú)夤穸ㄖ?/a>
氮?dú)獯鎯駷檠鯘舛缺O(jiān)控型氮?dú)獗Wo(hù)儲物柜,適用于半導(dǎo)體器件工藝生產(chǎn)過程中存放成品、半成品、原材料等。江蘇微電腦氮?dú)夤穸ㄖ?/p>
以下是氮?dú)夥莱毕渌拇蠓诸惞┐蠹覅⒖?
一、手動充氮氮?dú)夤?相對簡單的方式,無任何控制功能,設(shè)備要求不高,氮?dú)馔ㄟ^流量計(jì)設(shè)定后,常充常排。
二、自動充氮氮?dú)夤?在上面的基礎(chǔ)上,利用氮?dú)庠谒腿牍耋w后會快速降低柜內(nèi)的濕度特點(diǎn),增加了濕度傳感器來控制氮?dú)獾乃秃?,達(dá)到自動控制,有一定的節(jié)氮功能。但內(nèi)部含氧量無法控制,甚至比手動柜更高。
三、全自動氮?dú)夤?在自動氮?dú)夤竦幕A(chǔ)上,改變了控制目標(biāo),即控制氮?dú)饣蜓鯕獾臐舛葋磉_(dá)到氮?dú)獾乃秃蛿?。這種控制方式可真正做到對內(nèi)部含氧量的控制,有目的起到防氧化功能。同時也有更高的節(jié)氮功能。
四、全自動自制氮?dú)夤?在全自動的氮?dú)夤窕A(chǔ)上,內(nèi)置了氮?dú)獍l(fā)生裝置。不需外接氮?dú)庠?,不僅可以控制內(nèi)部的含氧量濃度。同時做到了真正100%節(jié)氮的功效。 江蘇微電腦氮?dú)夤穸ㄖ?/p>