KASHIYAMA防腐蝕干式真空泵SDE603TX設(shè)備簡(jiǎn)介（包括對(duì)功能的基本介紹）

       SDE603TX 立式螺桿真空干泵,尺寸： W:400×H:905×L:760ＭＭ，MAX排氣速度10000L/min，立式螺桿設(shè)計(jì)排氣線路短，不容易發(fā)生卡死。轉(zhuǎn)子材質(zhì)為鎳合金，防腐蝕能力優(yōu)越,使用時(shí)內(nèi)部溫度高，適用于比較苛刻的工藝制程,例如PECVD\LPCVD\ALD\SACVD\METAL-ETCH等。

系統(tǒng)組成：

1) 羅茨泵  (SDE120TX) 1  

2) 機(jī)械增壓泵(KMB603) 1  

3) 電源盒  1  

4) 操作手柄1  

5) 連接件  1  

6) 消音器(SR-19) 1

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干式真空泵批發(fā)就找浚和（上海）儀器有限公司。成都NEODRY 36E干式真空泵維修點(diǎn)

干式真空泵的應(yīng)用范圍比較廣，主要有以下幾個(gè)方面：

1）低壓化學(xué)氣相沉積中的多晶硅制備工藝中；

2）半導(dǎo)體刻蝕工藝。在這些生產(chǎn)工藝中往往用到或生成腐蝕性氣體和研磨微粒；

3）除半導(dǎo)體工藝外的某些產(chǎn)生微粒的工藝，不希望微?；烊氡糜椭?，而希望微粒排出泵外，則用一定型式的干式機(jī)械真空泵可以滿(mǎn)足要求；

4）在化學(xué)工業(yè)、醫(yī)藥工業(yè)、食品工業(yè)中的蒸餾、干燥、脫泡、包裝等，要防止有機(jī)溶劑造成污染，適合用干式真空泵；

5）用做一般無(wú)油清潔真空系統(tǒng)的前級(jí)泵，以防止油污染。

南京NEODRY 60E干式真空泵浚和（上海）儀器有限公司銷(xiāo)售干式真空泵價(jià)格低廉。

干式螺桿真空泵選型

       干式螺桿真空泵在其工作壓力下，應(yīng)能排走真空泵設(shè)備工藝過(guò)程中產(chǎn)生的全部氣體量。

每種泵都有一定的工作壓力范圍，因而，泵的工作點(diǎn)應(yīng)該選擇在這個(gè)范圍之內(nèi)，而不能讓它在允許工作壓力以外長(zhǎng)時(shí)間工作。

       干式螺桿真空泵的極限壓力應(yīng)該滿(mǎn)足該工藝的工作壓力。通常選擇泵的極限壓力低于工藝要求約一個(gè)數(shù)量級(jí)。

選擇真空機(jī)組：

       了解被抽氣體成分，氣體中含不含可凝蒸汽，有無(wú)顆?；覊m、有無(wú)腐蝕性等。選擇干式螺桿真空泵時(shí)，需要知道氣體成分，針對(duì)被抽氣體選擇相應(yīng)的泵。如果氣體中含有蒸汽、顆粒、及腐蝕性氣體，應(yīng)該考慮在泵的進(jìn)氣口管路上安裝輔助設(shè)備，如冷凝器、除塵器等。

       干式螺桿真空泵工作時(shí)產(chǎn)生的振動(dòng)對(duì)工藝過(guò)程及環(huán)境有無(wú)影響，若工藝過(guò)程不允許，應(yīng)選擇無(wú)振動(dòng)的泵或者采取防振動(dòng)措施。

       干式真空系統(tǒng)還具有比較好的控制系統(tǒng)，有單獨(dú)的工作站和總線，能很好的解決了溫度、壓力、轉(zhuǎn)速、電機(jī)同步、開(kāi)停機(jī)、閥門(mén)開(kāi)關(guān)和泵本身自清洗控制等問(wèn)題，并且可能存在溫升的地方都增加了測(cè)溫點(diǎn)，增強(qiáng)了系統(tǒng)的安全性。使干泵系統(tǒng)能適應(yīng)化工、制藥里嚴(yán)苛的環(huán)境。主要由以下三部分組成：內(nèi)置基本驅(qū)動(dòng)模塊；數(shù)據(jù)總線控制柜；冷卻液泵的控制和防爆馬達(dá)控制中心。有些真空泵是兩個(gè)電機(jī)同步驅(qū)動(dòng)，在確保全速和扭矩控制的同時(shí)，保證在泵運(yùn)行時(shí)維持無(wú)部件相互接觸；無(wú)密封設(shè)計(jì)，確保無(wú)泄露；干式真空泵的無(wú)油環(huán)保特點(diǎn)成為了干式真空泵的主要賣(mài)點(diǎn)。

       評(píng)價(jià)爆裂有兩個(gè)指標(biāo)：可燃物質(zhì)的閃點(diǎn)及燃點(diǎn)。因?yàn)槁輻U干式真空泵中的兩個(gè)螺桿在泵體內(nèi)沒(méi)有摩擦，所以不會(huì)產(chǎn)生電火花，就沒(méi)有了火源，另外其通過(guò)自身的冷卻系統(tǒng)降低泵內(nèi)溫度使被抽物質(zhì)的燃點(diǎn)難以達(dá)到，從而杜絕爆裂！泵內(nèi)既無(wú)與外界之間的軸封又無(wú)泵腔與冷卻循環(huán)水回路之間的密封，因此可以抽除有害介質(zhì)。絕大部分泵的故障都是由軸封處磨損造成的,而此泵每個(gè)軸只有一處無(wú)接觸密封，不存在由軸封損傷帶來(lái)的停機(jī)，以及軸封泄露造成齒輪箱里的油被抽到泵里，造成真空環(huán)境及排氣口污染。浚和（上海）儀器有限公司專(zhuān)業(yè)干式真空泵供應(yīng)商。南京NEODRY 60E干式真空泵

浚和（上海）儀器有限公司主營(yíng)日本KASHIYAMA干式真空泵。成都NEODRY 36E干式真空泵維修點(diǎn)

日本KASHIYAMA MU1200P/H干式真空泵 技術(shù)參數(shù)&配置清單

一、 技術(shù)參數(shù)：

式樣：MU1200P/H

MAX排氣速度（L/min）：20000

達(dá)到壓力（Pa）：0.5

電源電壓：3相  AC200-220V

消費(fèi)電力（KW）：1.05KW

外型尺寸WHL [mm]：380×655×820

質(zhì)量【kg】：185kg

二、 配置清單：

設(shè)備原產(chǎn)地：日本

成都NEODRY 36E干式真空泵維修點(diǎn)

浚和（上海）儀器有限公司是一家供應(yīng)國(guó)內(nèi)外先進(jìn)儀器和設(shè)備的專(zhuān)業(yè)供應(yīng)商和服務(wù)商，致力于為客戶(hù)提供專(zhuān)業(yè)的定制化解決方案。多年來(lái)，持續(xù)為醫(yī)藥、化工、高校、科研單位、檢測(cè)院等多個(gè)行業(yè)提供先進(jìn)的產(chǎn)品和專(zhuān)業(yè)的服務(wù)。

浚和在不斷引進(jìn)國(guó)內(nèi)外先進(jìn)儀器設(shè)備的同時(shí)，結(jié)合行業(yè)和市場(chǎng)需求，加強(qiáng)和客戶(hù)之間的溝通，并與國(guó)際上多家**儀器設(shè)備制造商保持著長(zhǎng)期穩(wěn)定的合作關(guān)系，不定期地與合作商進(jìn)行技術(shù)交流，努力加強(qiáng)自身技術(shù)力量。公司配備了數(shù)名有著多年行業(yè)經(jīng)驗(yàn)的技術(shù)人員，依靠雄厚的技術(shù)實(shí)力、科學(xué)合理的配置方案、專(zhuān)業(yè)的安裝調(diào)試和周到的售后服務(wù)，得到了廣大用戶(hù)的支持與信賴(lài)。

公司主要經(jīng)營(yíng)產(chǎn)品包括：等離子清洗機(jī)、真空泵、噴霧干燥器、數(shù)字PCR、高壓滅菌鍋、培養(yǎng)箱、切片機(jī)、水分測(cè)定儀、激光粒度儀、光譜儀、溫濕度記錄儀等，目前主要合作品牌有：日本雅馬拓YAMATO、日本KASHIYAMA、日本HORIBA、廣州永諾 、日本KEM等。同時(shí)，公司還提供專(zhuān)業(yè)的技術(shù)服務(wù)，如設(shè)備的維護(hù)、驗(yàn)證等。

浚和儀器將始終以行業(yè)特點(diǎn)為立足點(diǎn)，以客戶(hù)需求為導(dǎo)向，不斷地提高自身專(zhuān)業(yè)技術(shù)能力，不停地完善客戶(hù)服務(wù)質(zhì)量，在發(fā)展中保持創(chuàng)新的精神，力求與客戶(hù)共同進(jìn)步，為行業(yè)的發(fā)展作出不懈的努力。