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目前,因各微電子生產(chǎn)企業(yè)對(duì)電子級(jí)氫氟酸要求的標(biāo)準(zhǔn)不同,可將其劃分為四個(gè)檔次:①低檔產(chǎn)品,用于>1.2μmIC工藝技術(shù)的制作;②中低檔產(chǎn)品,適用于0.8~1.2μmIC工藝技術(shù)的制作;③中優(yōu)越產(chǎn)品,適用于0.2~0.6μmIC工藝技術(shù)的制作;④優(yōu)越產(chǎn)品,適用于0.09~0.2μm和<0.09μm IC工藝技術(shù)的制作。產(chǎn)品包裝方法:采用高密度聚乙烯(或四氟乙烯、氟烷基乙烯基醚共聚物、聚四氟乙烯)專業(yè)密封工藝制造塑料桶25公斤桶裝。高純水是生產(chǎn)電子氫氟酸中不可缺少的原料,也是包裝容器的清洗劑,其純度將直接影響到電子級(jí)氫氟酸的產(chǎn)品質(zhì)量。高純水的主要控制指標(biāo)是電阻率和固體顆粒,其他輔助指標(biāo)有可氧化的總碳量(TOC)、細(xì)菌、被溶解的二氧化硅、離子濃度等。目前,高純水的生產(chǎn)工藝較為成熟,較常見是先通過離子交換柱和微過濾器,得到普通純水,然后再采用反滲透、電滲析等各類膜技術(shù)進(jìn)一步處理,之后配合殺細(xì)菌和超微過濾便可得到高純水。氫氟酸使用時(shí)必須遵循相應(yīng)的安全要求和操作規(guī)范。廣州純氫氟酸批發(fā)
我國標(biāo)準(zhǔn)中Ⅰ型產(chǎn)品氟硅酸含量(小于0.05%)的測定采用硅鉬藍(lán)分光光度法,Ⅱ型產(chǎn)品的氟硅酸含量的測定(含量大于2.5%)采用酸堿滴定法。而日本標(biāo)準(zhǔn)(包括無水氫氟酸)關(guān)于氟硅酸含量的測定規(guī)定了兩種測定方法,日本標(biāo)準(zhǔn)中對(duì)于有水產(chǎn)品的高氟硅酸含量(含量小于0.05%)采用酸堿滴定法,對(duì)于無水產(chǎn)品的氟硅酸含量(小于0.01%)采用硅鉬藍(lán)分光光度法。各國標(biāo)準(zhǔn)基本也是采用加熱的方法,將氟化氫蒸發(fā)至盡,剩余的不揮發(fā)酸(硫酸)用酸堿滴定法以酚酞為指標(biāo)劑滴定至粉紅色。日本標(biāo)準(zhǔn)和我國標(biāo)準(zhǔn)均采用酸堿滴定法,俄羅斯標(biāo)準(zhǔn)中除了酸堿滴定法外還同時(shí)規(guī)定目視比濁法測定硫酸含量。為保證測定結(jié)果的精確度,本標(biāo)準(zhǔn)中不揮發(fā)酸含量的測定采用酸堿滴定法,對(duì)于含量較低的產(chǎn)品(Ⅰ型產(chǎn)品)采用加大稱樣量辦法提高滴定的準(zhǔn)確度。江蘇工業(yè)氫氟酸工廠氫氟酸可以對(duì)人體和周圍環(huán)境造成嚴(yán)重的危害。
就我國氫氟酸產(chǎn)能區(qū)域分布情況而言,目前我國氫氟酸產(chǎn)能分布在全國各省份,與螢石生產(chǎn)企業(yè)分布相似,以江西、福建、浙江、內(nèi)蒙古為主,分別占比達(dá)19%、16%、13%和18%。全球高純度氫氟酸的生產(chǎn)技術(shù)和供給主要被Stella、、森田化學(xué)等日企所掌握,由于行業(yè)壁壘高,技術(shù)工藝難以突破,我國電子級(jí)氫氟酸行業(yè)起步較晚。近年來,國內(nèi)氟化氫行業(yè)發(fā)展也將更多重心轉(zhuǎn)向高純度氫氟酸上。2015年前我國氫氟酸產(chǎn)能基本保持在220萬噸左右,隨“供給側(cè)改變”低端產(chǎn)能陸續(xù)淘汰出清,市場集中度有所提高,隨著行業(yè)回暖,產(chǎn)能有所回升,目前國內(nèi)氫氟酸單家企業(yè)年產(chǎn)能多為3萬-7萬噸/年,行業(yè)中小裝置居多、較為分散,以浙江公司15萬噸產(chǎn)能為首,2020年合計(jì)產(chǎn)能228.7萬噸。
濃度低時(shí)因形成氫鍵具有弱酸性,但濃時(shí)(5mol/L以上)會(huì)發(fā)生自偶電離,此時(shí)氫氟酸就是酸性很強(qiáng)的酸了。液態(tài)氟化氫是酸性很強(qiáng)的酸,酸度與無水硫酸相當(dāng),但較氟磺酸弱。 [3] 腐蝕性強(qiáng),對(duì)牙、骨損害較嚴(yán)重。對(duì)硅的化合物有強(qiáng)腐蝕性。應(yīng)在密閉的塑料瓶內(nèi)保存。用HF(氟化氫)溶于水而得。用于雕刻玻璃、清洗鑄件上的殘砂、控制發(fā)酵、電拋光和清洗腐蝕半導(dǎo)體硅片(與HNO3的混酸)。因?yàn)闅湓雍头娱g結(jié)合的能力相對(duì)較強(qiáng),使得氫氟酸在水中不能完全電離。氫氟酸能夠溶解很多其他酸都不能溶解的玻璃(主要成分:二氧化硅),生成氣態(tài)的四氟化硅反應(yīng)方程式如下:SiO2(s)+4HF(aq)=SiF4(g)↑+2H2O(l)。氫氟酸的使用應(yīng)當(dāng)由至少兩個(gè)經(jīng)驗(yàn)豐富的專業(yè)人士共同完成。
電子級(jí)氫氟酸是集成電路行業(yè)中的關(guān)鍵輔助材料之一,用于晶圓表面清洗、芯片加工過程的清洗和腐蝕等。其純度和潔凈度對(duì)集成電路的成品率、電性能及可靠性都有著十分重要的影響。根據(jù)純度和潔凈度,可將其分為EL、UP、UPS、UPSS、UPSSS等5個(gè)級(jí)別,其中UPSS、UPSSS是目前純度的兩個(gè)級(jí)別。英文名 Hydrofluoric Acid,分子式HF,為無色透明液體 ,相對(duì)密度1.15~1 .18,沸點(diǎn) 112 . 2 ℃,在空氣中發(fā)煙 ,有刺激性氣味 ,劇毒。能與一般金屬、 金屬氧化物以及氫氧化物發(fā)生反應(yīng) ,生成各種鹽類。腐蝕性極強(qiáng) ,能侵蝕玻璃和硅酸鹽而生成氣態(tài)的四氟化硅。易溶于水、醇 ,難溶于其他有機(jī)溶劑。高純氫氟酸為強(qiáng)酸性清洗、 腐蝕劑 ,可與硝酸、冰醋酸、 雙氧水及氫氧化銨等配置使用。氫氟酸可以引發(fā)化學(xué)反應(yīng)并產(chǎn)生有毒氣體。河北工業(yè)氫氟酸哪里便宜
在處理含氫氟酸的物品時(shí),必須注意防止廢水和廢液的泄漏和排放。廣州純氫氟酸批發(fā)
氟化氫氣體易溶于水,其水溶液稱為氫氟酸。市售商品常為氟化氫氣體35%-50%的水溶液,較高濃度可達(dá)75%,為無色澄清的發(fā)煙液體。有刺激性氣味,易揮發(fā),在空氣中發(fā)白煙。屬中等強(qiáng)度的無機(jī)酸,腐蝕性極強(qiáng),能侵蝕玻璃和硅酸鹽而生成氣態(tài)的四氟化硅。也能與金屬、金屬氧化物及氫氧化物作用生成各種鹽類,但作用不及鹽酸那樣劇烈。金、鉑、鉛、石蠟及某些塑料等與它不起作用,故可制作容器。氟化氫氣體很易聚合,形成(HF)2(HF)3···等鏈形分子,在液態(tài)時(shí),聚合度增大。需貯存于鉛制、蠟制或塑料制的容器中。有劇毒,皮膚觸及則潰爛。廣州純氫氟酸批發(fā)
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