電子級氫氟酸的生產(chǎn)壁壘在于對金屬離子含量的高標準。半導體中的金屬離 子雜質(zhì)會影響半導體中少子的壽命、表面的導電性、門氧化物的完整性和穩(wěn)定性 等參數(shù),且金屬離子雜質(zhì)在高溫下或電場下會向半導體本體擴散或在表面擴大分 布,導致半導體性能下降,因此氫氟酸對其中的金屬離子含量有比較嚴格的要求, 且適用的晶圓半徑越大,制程越好,對金屬離子含量的要求越高。半導體用的氫 氟酸所有單項金屬雜質(zhì)的質(zhì)量分數(shù)≤0.1μg/L,對應(yīng) SEMI 為 G4 以上等級的氫氟 酸,對應(yīng)國內(nèi)行業(yè)標準則是 UP-SS 及以上等級的氫氟酸。對于現(xiàn)在國際上主流的 12 寸晶圓,其制造過程中需要金屬離子含量低于 0.0001μg/L,對應(yīng) SEMI G5 或者 UP-SSS 標準。吸入氫氟酸氣體或進食含氫氟酸的物質(zhì)會導致嚴重的損傷甚至死亡。杭州工業(yè)氫氟酸在哪買
嚴格來說,提純的工藝流程也不是很復(fù)雜。主要是利用氟化氫的揮發(fā)性以及不同物質(zhì)沸點不同,采用精餾、蒸餾、亞沸蒸餾、減壓蒸餾、氣體吸收等技術(shù)對氟化氫進行純化。在此過程中,要把三價砷的氟化物氧化成五價,以免它跟著氟化氫一起蒸餾出來。然后用高純水溶解氟化氫,再過超濾膜過濾雜質(zhì),之后進行檢驗和無塵灌裝。我們國家相關(guān)的純化工藝技術(shù)有很多。隨著我國化學工藝研究水平的提高,一套合格的生產(chǎn)工藝設(shè)計并不難,難就難在生產(chǎn)廠房和設(shè)備上了。先說生產(chǎn)廠房,雖說我國已經(jīng)發(fā)展成為基建強國,但對于超凈高純氫氟酸廠房這樣的特殊基建還沒有成熟經(jīng)驗。這樣的廠房要求與外界嚴密隔離,要設(shè)置多重的過濾系統(tǒng),爭取不讓任何灰塵進入生產(chǎn)區(qū)。廠房不只要有雙層的門窗和多重的通風過濾系統(tǒng),而且要精打細算到每個工作區(qū)都用小的隔斷隔開,設(shè)置單獨的過濾系統(tǒng),保證外來的“新鮮空氣”,經(jīng)過多重過濾和殺細菌以后達到萬級以上的凈化度,灌裝車間甚至要求達到百級以上。河南工業(yè)氫氟酸哪個品牌好使用氫氟酸應(yīng)當使用質(zhì)量可靠的試劑和設(shè)備。
氟化氫無法長期保存囤貨。不只如此,韓國幾乎無法拋開日本去尋求替代品,因為純度能夠達到半導體制造業(yè)使用需求的主要是日本企業(yè),其中日企占據(jù)的份額高達90%。難怪韓國會對此如此忌憚了。此外,氟化氫還常用于氟碳化合物生產(chǎn)、冶金工業(yè)、石油化工等行業(yè)的生產(chǎn)。氫氟酸是現(xiàn)代氟化工的基礎(chǔ),是整個氟化工產(chǎn)業(yè)鏈的起點,是制取元素氟、各種含氟制冷劑、含氟新材料、無機氟化鹽和有機氟化物等的基本原料。據(jù)了解,2020年世界無水氟化氫產(chǎn)能大約在370萬噸,中國無水氟化氫產(chǎn)能占全球的67%,是一大生產(chǎn)國。自然界中含氟礦物質(zhì)多達一百多種,但目前作為生產(chǎn)氫氟酸的原料能加以利用的只限于螢石和磷礦石兩種。
實驗一般用碳酸鈣與氫氟酸作用或用濃鹽酸或氫氟酸反復(fù)處理螢石粉來制備氟化鈣。自然界的氟化鈣礦物為螢石或氟石,常呈灰、黃、綠、紫等色,有時無色、透明,有玻璃光澤,性脆,有明顯熒光現(xiàn)象。非常純的氟石用來制作特種透鏡。螢石常用作冶煉金屬的助熔劑;飲水中含有1-1.5ppm氟化鈣時,能防治牙病。另外螢石的一個重要用途是生產(chǎn)氫氟酸。氫氟酸是通過酸級螢石(氟石精礦)同硫酸在加熱爐或罐中反應(yīng)而產(chǎn)生出來的,分無水氫氟酸和有水氫氟酸,它們都是一種無色液體,易揮發(fā),有強烈的刺激氣味和強烈的腐蝕性。它是生產(chǎn)各種有機和無機氟化物和氟元素的關(guān)鍵原料。潑灑氫氟酸的區(qū)域應(yīng)當迅速用大量水沖洗,并立即通知應(yīng)急人員。
就我國氫氟酸產(chǎn)能區(qū)域分布情況而言,目前我國氫氟酸產(chǎn)能分布在全國各省份,與螢石生產(chǎn)企業(yè)分布相似,以江西、福建、浙江、內(nèi)蒙古為主,分別占比達19%、16%、13%和18%。全球高純度氫氟酸的生產(chǎn)技術(shù)和供給主要被Stella、、森田化學等日企所掌握,由于行業(yè)壁壘高,技術(shù)工藝難以突破,我國電子級氫氟酸行業(yè)起步較晚。近年來,國內(nèi)氟化氫行業(yè)發(fā)展也將更多重心轉(zhuǎn)向高純度氫氟酸上。2015年前我國氫氟酸產(chǎn)能基本保持在220萬噸左右,隨“供給側(cè)改變”低端產(chǎn)能陸續(xù)淘汰出清,市場集中度有所提高,隨著行業(yè)回暖,產(chǎn)能有所回升,目前國內(nèi)氫氟酸單家企業(yè)年產(chǎn)能多為3萬-7萬噸/年,行業(yè)中小裝置居多、較為分散,以浙江公司15萬噸產(chǎn)能為首,2020年合計產(chǎn)能228.7萬噸。在使用氫氟酸前必須進行充分的安全評估和風險分析。浙江工業(yè)氫氟酸
在使用氫氟酸時,必須避免與其他化學物質(zhì)混合。杭州工業(yè)氫氟酸在哪買
那高純氟化氫有多純呢?以前我們都聽說過千足金的說法,也就是純度為99.9%,含有0.1%的雜質(zhì),后來又有人提出萬足金,就是99.99%,含有0.01%的雜質(zhì)。而日本產(chǎn)的較高純度的氫氟酸純度為99.999%甚至更高,這個在目前較先進的芯片生產(chǎn)工藝中都可以放心使用。而中國目前能生產(chǎn)的較高純度也比這個純度低十倍左右,而這只是其中一個指標,此外還有控制粒徑、顆粒個數(shù)等指標。如前所說,氟化氫的生產(chǎn)并不困難,只需要讓螢石跟硫酸進行反應(yīng),就可以制得氟化氫。再用水溶解掉氟化氫,就變成了氫氟酸。這個生產(chǎn)過程技術(shù)含量并不高,工藝也不復(fù)雜。但生產(chǎn)出來的只是工業(yè)級的氫氟酸,要想應(yīng)用到電子行業(yè),必須做非常精密的提純。難就難在了提純上。杭州工業(yè)氫氟酸在哪買
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