電子級氫氟酸是集成電路行業(yè)中的關鍵輔助材料之一,用于晶圓表面清洗、芯片加工過程的清洗和腐蝕等。其純度和潔凈度對集成電路的成品率、電性能及可靠性都有著十分重要的影響。根據(jù)純度和潔凈度,可將其分為EL、UP、UPS、UPSS、UPSSS等5個級別,其中UPSS、UPSSS是目前純度的兩個級別。英文名 Hydrofluoric Acid,分子式HF,為無色透明液體 ,相對密度1.15~1 .18,沸點 112 . 2 ℃,在空氣中發(fā)煙 ,有刺激性氣味 ,劇毒。能與一般金屬、 金屬氧化物以及氫氧化物發(fā)生反應 ,生成各種鹽類。腐蝕性極強 ,能侵蝕玻璃和硅酸鹽而生成氣態(tài)的四氟化硅。易溶于水、醇 ,難溶于其他有機溶劑。高純氫氟酸為強酸性清洗、 腐蝕劑 ,可與硝酸、冰醋酸、 雙氧水及氫氧化銨等配置使用。氫氟酸可以引發(fā)化學反應并產(chǎn)生有毒氣體。四川40%氫氟酸公司
通過相關資料了解到,國內(nèi)外相關產(chǎn)品各標準在相同項目的測定方法基本是一致的。如氫氟酸含量采用以酚酞為指示劑,以氫氧化鈉標準滴定溶液為滴定劑的酸堿中和滴定法;氟硅酸含量的測定采用在鉀鹽存在下使其生成氟硅酸鹽后分離,沉淀溶解后用氫氧化鈉標準滴定溶液滴定。對于低含量的氟硅酸的測定,一般采用硅鉬藍分光光度法進行測定;硫酸含量的測定是將氫氟酸分離后,用氫氧化鈉標準滴定溶液滴定。日本標準中規(guī)定的灼燒殘渣含量的測定為700℃下灼燒后穩(wěn)重的方法。相關資料了解,日本標準JIS K1405-1995《氫氟酸》相對于其它國外標準,技術要求、指標項目、試驗方法等方面均處于先進水平。但由于日本標準主要是針對本國的生產(chǎn)、使用要求而制定的,與我國對氫氟酸的要求存在一定的差異。但對我國標準有借鑒作用。上海氫氟酸廠使用氫氟酸時,必須遵循相應的安全操作程序。
因為它的腐蝕性,常會用來清洗金屬,也是生活中一種常用的清潔劑。很多洗車的場所,還在使用氫氟酸,這是因為大量采購時,它的價格是比較低的。在生物領域,對土壤等需要分離出有機成分和無機成分時,可以使用氫氟酸來去除其中的礦物成分。氫氟酸出現(xiàn)泄露后要及時將場所內(nèi)的人員疏散出去,并采取隔離措施,對人員的出入進行限制。需要進入場所內(nèi)的處理人員,要佩戴好呼吸器,穿著能夠防酸堿的工作服。要注意不能直接接觸泄露的氫氟酸。如果是小量的泄露,可以使用石灰,沙土等進行處理,或者是用大量的水進行清洗。大量泄露就需要專業(yè)的人員,采取專門的處理措施來進行處理了。
氟化氫鋼瓶貯存于陰涼、通風、室內(nèi)溫度不超過40℃的倉庫內(nèi)。嚴禁煙火,遠離火種、熱源,防止陽光直射和雨淋;氣瓶應載有安全保護帽,直立存放并固定。倉庫內(nèi)設置泄漏檢測報警裝置,備有止漏及緊急處理裝置(如自動噴淋裝置等),定期檢查,做好記錄。在有氧存在時,銅很快被HF腐蝕,但無氧化劑時,則不會反應;某些合金如蒙乃爾合金對HF有很好的抗腐蝕性,但不銹鋼的抗腐蝕性很差,在溫度不太高時,碳鋼也具有足夠的耐蝕能力。氟化氫不可燃,但與一些物質(zhì)(如鈉、氧化鈣、硝酸甲酯、氯酸鈉等)混合接觸時有危險性在電子工業(yè)中,無水氟化氫用于電解合成三氟化氮的原料,半導體制造工藝中的刻蝕劑等。在使用氫氟酸前必須進行充分的安全評估和風險分析。
在氫氟酸的使用和處理中,還需要注意環(huán)保問題。氫氟酸的排放和處理需要遵守相關法律法規(guī)和行業(yè)標準,采取適當?shù)奶幚泶胧詼p少對環(huán)境的影響。氫氟酸是一種特殊的弱酸,其酸性比一般弱酸強很多。氫氟酸的酸性來自于它分解出的氟離子,它的弱酸性主要有以下兩個原因:HF分子中氫與氟的電負性差距很大,形成極性共價鍵,導致分子極性很強。這使得氫離子在HF分子中難以釋放,從而使HF不易離解產(chǎn)生氫離子,因此是弱酸。氟離子在水中是一種非常強的親核劑,它可以與水分子結(jié)合形成氫氟酸的緩沖體系,從而使氫離子的濃度保持在一個較低的水平,進一步減弱了酸性。盡管氫氟酸是一種弱酸,但它的腐蝕性非常強,可以腐蝕許多金屬和玻璃,并對人體組織具有強烈的腐蝕作用,使用時應該格外小心。氫氟酸的生產(chǎn)、儲存和使用受到法律的監(jiān)管。四川40%氫氟酸公司
氫氟酸的儲存溫度應當在至℃之間。四川40%氫氟酸公司
氫氟酸是氟化氫的水溶液,無色透明,有強烈刺激性氣味,并有強烈腐蝕性,能迅速腐蝕玻璃和含硅材料。用 途:作為腐蝕劑和化工原料普遍應用于化工、電子、冶金、玻璃、搪瓷、礦山、采油以及原子能工業(yè)。氫氟酸是氟化氫的水溶液,無色透明,有強烈刺激性氣味,并有強烈腐蝕性,能迅速腐蝕玻璃和含硅材料。用 途:作為腐蝕劑和化工原料普遍應用于化工、電子、冶金、玻璃、搪瓷、礦山、采油以及原子能工業(yè)。具有極強的腐蝕性,能強烈地腐蝕金屬、玻璃和含硅的物體。如吸入蒸氣或接觸皮膚會造成難以防治的灼傷。實驗室一般用螢石(主要成分為氟化鈣)和濃硫酸來制取,需要密封在塑料瓶中,并保存于陰涼處。四川40%氫氟酸公司