電子級(jí)氫氟酸的生產(chǎn)壁壘在于對(duì)金屬離子含量的高標(biāo)準(zhǔn)。半導(dǎo)體中的金屬離 子雜質(zhì)會(huì)影響半導(dǎo)體中少子的壽命、表面的導(dǎo)電性、門氧化物的完整性和穩(wěn)定性 等參數(shù),且金屬離子雜質(zhì)在高溫下或電場(chǎng)下會(huì)向半導(dǎo)體本體擴(kuò)散或在表面擴(kuò)大分 布,導(dǎo)致半導(dǎo)體性能下降,因此氫氟酸對(duì)其中的金屬離子含量有比較嚴(yán)格的要求, 且適用的晶圓半徑越大,制程越好,對(duì)金屬離子含量的要求越高。半導(dǎo)體用的氫 氟酸所有單項(xiàng)金屬雜質(zhì)的質(zhì)量分?jǐn)?shù)≤0.1μg/L,對(duì)應(yīng) SEMI 為 G4 以上等級(jí)的氫氟 酸,對(duì)應(yīng)國(guó)內(nèi)行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)則是 UP-SS 及以上等級(jí)的氫氟酸。對(duì)于現(xiàn)在國(guó)際上主流的 12 寸晶圓,其制造過(guò)程中需要金屬離子含量低于 0.0001μg/L,對(duì)應(yīng) SEMI G5 或者 UP-SSS 標(biāo)準(zhǔn)。氫氟酸被稱為較危險(xiǎn)的化學(xué)物質(zhì)之一。江蘇工業(yè)氫氟酸廠家
氫氟酸(HF)是一種極具腐蝕性和毒性的化學(xué)物質(zhì),以下是其主要危害和安全注意事項(xiàng):危害:強(qiáng)烈的刺激性:HF可引起皮膚、眼睛和呼吸道的刺激,接觸后可能導(dǎo)致嚴(yán)重的疼痛和灼傷。毒性:HF可被皮膚吸收,進(jìn)入血液循環(huán)系統(tǒng)并影響內(nèi)臟人體組織,包括肝臟、腎臟和心臟等。腐蝕性:HF對(duì)許多材料具有強(qiáng)烈的腐蝕性,包括玻璃、金屬和塑料等。在處理和儲(chǔ)存HF時(shí)需要特別小心,以避免泄漏和損壞設(shè)備。毒氣釋放:HF與水反應(yīng)會(huì)釋放有毒的氫氟酸蒸氣,這可能導(dǎo)致嚴(yán)重的呼吸系統(tǒng)問(wèn)題和其他健康問(wèn)題。安全注意事項(xiàng):佩戴個(gè)人防護(hù)裝備:在處理HF時(shí),必須佩戴適當(dāng)?shù)膫€(gè)人防護(hù)裝備,包括手套、護(hù)目鏡、防護(hù)服和呼吸器等。避免直接接觸:盡量避免直接接觸HF,如果不可避免,應(yīng)立即用大量清水沖洗受影響的區(qū)域,并立即就醫(yī)。儲(chǔ)存和處理HF:儲(chǔ)存和處理HF時(shí)必須嚴(yán)格遵守安全操作規(guī)程,確保設(shè)備完好無(wú)損,并采取必要的防護(hù)措施,以防止泄漏和事故。緊急情況處理:在發(fā)生事故或泄漏時(shí),應(yīng)立即采取措施,包括停止泄漏、隔離受影響區(qū)域和通知相關(guān)人員等。在必要時(shí),應(yīng)立即呼叫急救服務(wù)。江蘇工業(yè)氫氟酸廠家氫氟酸的儲(chǔ)存溫度應(yīng)當(dāng)在至℃之間。
注意事項(xiàng)工程控制:密閉操作,注意通風(fēng)。盡可能機(jī)械化、自動(dòng)化。提供安全淋浴和洗眼設(shè)備。呼吸系統(tǒng)防護(hù):可能接觸其煙霧時(shí),佩戴自吸過(guò)濾式防毒面具(全面罩)或空氣呼吸器。緊急事態(tài)搶救或撤離時(shí),建議佩戴氧氣呼吸器。眼睛防護(hù):呼吸系統(tǒng)防護(hù)中已作防護(hù)。身體防護(hù):穿橡膠耐酸堿服。手部防護(hù):戴橡膠耐酸堿手套。其他防護(hù):工作現(xiàn)場(chǎng)禁止吸煙、進(jìn)食和飲水。工作完畢,淋浴更衣。單獨(dú)存放被毒物污染的衣服,洗后備用。保持良好的衛(wèi)生習(xí)慣。主要用途:用作分析試劑、高純氟化物的制備、玻璃蝕刻及電鍍表面處理等。禁配物:強(qiáng)堿、活性金屬粉末、玻璃制品。廢棄處置方法: 用過(guò)量石灰水中和,析出的沉淀填埋處理或回收利用,上清液稀釋后排入廢水系統(tǒng)。
由于氫氟酸溶解氧化物的能力,它在鋁和鈾的提純中起著重要作用。氫氟酸也用來(lái)蝕刻玻璃,可以雕刻圖案、標(biāo)注刻度和文字。隨著電子產(chǎn)品的發(fā)展,對(duì)產(chǎn)品的純度也越來(lái)越高。一般稱之為濕電子化學(xué)品。等級(jí)從EL級(jí)到UPSSS級(jí)不等。不同行業(yè)作用也有差異。隨著大規(guī)模集成電路技術(shù)的發(fā)展,雖然圖形加工的線寬越來(lái)越細(xì),對(duì)轉(zhuǎn)移圖形的重視精度和尺寸的要求越來(lái)越高,形成精細(xì)圖形的刻蝕多采用干法刻蝕,但 越來(lái)越復(fù)雜的器件結(jié)構(gòu)和新材料的引入對(duì)獨(dú)特刻蝕工藝的要求使其必須采用濕法刻蝕或干濕相結(jié)合的刻蝕。多柵結(jié)構(gòu)的器件大都采用稀釋氫氟酸刻蝕柵氧來(lái)盡可能減小對(duì)硅基片的損傷,提高器件的性能。氫氟酸可以用于制備其他氟化物,如氟化亞鐵和氟化鉀等。
我國(guó)是氫氟酸出口一大國(guó),2021 年我國(guó)出口氫氟酸 24.62 萬(wàn)噸,約占全國(guó)產(chǎn)量的 15.00%,而出口第二大的德國(guó)只有 5.06 萬(wàn)噸的出口量,海外螢石礦停 產(chǎn)和氫氟酸產(chǎn)能關(guān)閉使得一部分需求轉(zhuǎn)向中國(guó)。需求端,價(jià)值量較低的含氟制冷劑是無(wú)水氫氟酸的主要應(yīng)用領(lǐng)域,占比達(dá)到 55.00%,而價(jià)值量相對(duì)較高的含氟高分子以及含氟精細(xì)化工的應(yīng)用占比還有進(jìn) 一步提升空間。電子級(jí)氫氟酸主要用于集成電路、液晶面板以及太陽(yáng)能電池制作。目前國(guó)內(nèi) 外制備高純氫氟酸基本都以工業(yè)氫氟酸和無(wú)水氫氟酸為原料,經(jīng)過(guò)粗餾、精餾、 吸收、冷凝、膜過(guò)濾、灌裝等工段制成。我國(guó)的電子級(jí)氫氟酸市場(chǎng)增長(zhǎng)有望加速。氫氟酸可以用于清洗玻璃和金屬表面。江蘇工業(yè)氫氟酸廠家
氫氟酸是一種無(wú)色液體,具有強(qiáng)烈的腐蝕性。江蘇工業(yè)氫氟酸廠家
生產(chǎn)雕花玻璃過(guò)程所依據(jù)的化學(xué)原理是:由于Si—F鍵的鍵能大于Si—O鍵的鍵能,因此,氫氟酸中的F與玻璃中的Si能夠形成性能更為穩(wěn)定的Si—F鍵,迫使SiO2中的Si—O鍵斷裂,生成具有揮發(fā)性能的四氟化硅氣體(SiF4),并放出熱量,該反應(yīng)在常溫下便可進(jìn)行。其化學(xué)反應(yīng)方程式為:SiO2+4HF=SiF4(氣體)+2H2O。那氫氟酸到底是什么呢?氫氟酸是氟化氫氣體的水溶液,為無(wú)色透明至淡黃色冒煙液體,具有刺激性氣味。氫氟酸較明顯的特點(diǎn)是腐蝕性非常強(qiáng),它能和大多數(shù)金屬、非金屬發(fā)生反應(yīng)。此外,氫氟酸還對(duì)硅的化合物具有強(qiáng)腐蝕性,將氟化氫氣體溶于水得到的氫氟酸溶液可用于雕刻玻璃,因?yàn)闅浞峥梢耘c玻璃的主要成分二氧化硅發(fā)生反應(yīng),而其他強(qiáng)酸則不能,質(zhì)量濃度為1.5%的氫氟酸溶液即可腐蝕玻璃以達(dá)到雕花的目的。江蘇工業(yè)氫氟酸廠家