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高精度電容位移傳感器選型需要注意什么?1. 測(cè)量范圍。首先需要考慮需要測(cè)量的位移范圍,以選擇合適的傳感器型號(hào)和量程。如果位移范圍過(guò)大,需要選擇大量程的傳感器,如果位移范圍過(guò)小,需要選擇小量程的傳感器,以充分利用測(cè)量范圍。2. 精度和靈敏度。要考慮如果精度或靈敏...
高精度電容位移傳感器的檢驗(yàn)方法:對(duì)于高精度電容位移傳感器,為了保證其可靠性和準(zhǔn)確性,需要進(jìn)行嚴(yán)格的檢驗(yàn)和測(cè)試。以下是一些常見(jiàn)的高精度電容位移傳感器檢驗(yàn)方法:1. 零點(diǎn)偏差測(cè)試:在測(cè)量時(shí),如果傳感器輸出信號(hào)為非零,則需要進(jìn)行零點(diǎn)偏差測(cè)試。測(cè)試時(shí),需要將測(cè)量頭固定...
電容式位移傳感器是一種基于電容原理的位移測(cè)量?jī)x器。屬于完全非接觸式位移傳感器,被測(cè)物無(wú)需任何附加和其他特別的要求,被測(cè)物沒(méi)有任何損傷。它通過(guò)測(cè)量沿軸向的機(jī)械位移與電容量的比例關(guān)系來(lái)實(shí)現(xiàn)位移的精確測(cè)量的。電容式位移傳感器由金屬電極和測(cè)量介質(zhì)構(gòu)成,金屬電極之間通過(guò)...
高精度電容位移傳感器的安裝和使用注意事項(xiàng):1. 安裝時(shí),應(yīng)選擇一個(gè)穩(wěn)定、平整的表面或安裝座,確保傳感器和被測(cè)物體之間的距離精度符合要求。2. 傳感器的兩個(gè)電極之間需要接通信號(hào)線和電源線。應(yīng)注意線路的質(zhì)量,以避免線路干擾對(duì)測(cè)量結(jié)果的影響。3. 在使用前,需要對(duì)傳...
使用位移傳感器的注意事項(xiàng):1、傳感器的供電情況,如果位移傳感器供電電源容量不足,就會(huì)造成以下的情況:熔膠的運(yùn)動(dòng)會(huì)使合模電子尺的顯示變換,有波動(dòng),或者合模的運(yùn)動(dòng)會(huì)使射膠電子尺的顯示波動(dòng),造成測(cè)量誤差變大。如果電磁閥的驅(qū)動(dòng)電源與直線位移傳感器供電電源共用的時(shí)候,更...
電容式位移傳感器具有哪些應(yīng)用優(yōu)勢(shì)?電容式位移傳感器應(yīng)用優(yōu)勢(shì):1. 測(cè)量精度高:電容式位移傳感器具有很高的測(cè)量精度,測(cè)量范圍適中,且可以達(dá)到亞微米級(jí)別的精度,適用于高精度測(cè)量場(chǎng)合。2. 靈敏度好:電容式位移傳感器對(duì)于被測(cè)量的微小變化有較高的靈敏度,甚至在亞微米或...
位移傳感器是一種測(cè)量物體或構(gòu)件位置和方向的傳感器,用于測(cè)量在直線和/或角位移方向上的物理運(yùn)動(dòng),可用于各種應(yīng)用,包括:1. 機(jī)械加工行業(yè):用于測(cè)量機(jī)器的精度和位置,以確保產(chǎn)品的精度和質(zhì)量。同時(shí),還可用于測(cè)量機(jī)器的擠出量和警戒限度等。2. 汽車(chē)行業(yè):用于測(cè)量汽車(chē)上...
高精度電容位移傳感器選型需要注意什么?1. 測(cè)量范圍。首先需要考慮需要測(cè)量的位移范圍,以選擇合適的傳感器型號(hào)和量程。如果位移范圍過(guò)大,需要選擇大量程的傳感器,如果位移范圍過(guò)小,需要選擇小量程的傳感器,以充分利用測(cè)量范圍。2. 精度和靈敏度。要考慮如果精度或靈敏...
選擇高精度電容位移傳感器廠家時(shí)需要注意什么?1. 精度要求:電容式位移傳感器的精度要求高,因此選購(gòu)時(shí)需要了解其測(cè)量范圍和精度要求是否達(dá)到了實(shí)際應(yīng)用的要求。2. 品牌信譽(yù):品牌信譽(yù)是選購(gòu)電容式位移傳感器時(shí)需要考慮的一個(gè)重要因素。選擇有較高名氣、生產(chǎn)經(jīng)驗(yàn)豐富且產(chǎn)品...
對(duì)準(zhǔn)晶圓鍵合是晶圓級(jí)涂層,晶圓級(jí)封裝,工程襯底zhizao,晶圓級(jí)3D集成和晶圓減薄方面很有用的技術(shù)。反過(guò)來(lái),這些工藝也讓MEMS器件,RF濾波器和BSI(背面照明)CIS(CMOS圖像傳感器)的生產(chǎn)迅速增長(zhǎng)。這些工藝也能用于制造工程襯底,例如SOI(絕緣體上...
EVG的晶圓鍵合機(jī)鍵合室配有通用鍵合蓋,可快速排空,快速加熱和冷卻。通過(guò)控制溫度,壓力,時(shí)間和氣體,允許進(jìn)行大多數(shù)鍵合過(guò)程。也可以通過(guò)添加電源來(lái)執(zhí)行陽(yáng)極鍵合。對(duì)于UV固化黏合劑,可選的鍵合室蓋具有UV源。鍵合可在真空或受控氣體條件下進(jìn)行。頂部和底部晶片的獨(dú)...
從表面上看,“引線鍵合”似乎只是焊接的另一個(gè)術(shù)語(yǔ),但由于涉及更多的變量,因此該過(guò)程實(shí)際上要復(fù)雜得多。為了將各種組件長(zhǎng)久地連接在一起,在電子設(shè)備上執(zhí)行引線鍵合過(guò)程,但是由于項(xiàng)目的精致性,由于它們的導(dǎo)電性和相對(duì)鍵合溫度,通常jin應(yīng)用金,鋁和銅。通過(guò)使用球形鍵合或...
在鍵合過(guò)程中,將兩個(gè)組件的表面弄平并徹底清潔以確保它們之間的緊密接觸。然后它們被夾在兩個(gè)電極之間,加熱至752-932℃(華氏400-500攝氏度),和幾百到千伏的電勢(shì)被施加,使得負(fù)電極,這就是所謂的陰極,是在接觸在玻璃中,正極(陽(yáng)極)與硅接觸。玻璃中帶正電的...
對(duì)準(zhǔn)晶圓鍵合是晶圓級(jí)涂層,晶圓級(jí)封裝,工程襯底zhizao,晶圓級(jí)3D集成和晶圓減薄方面很有用的技術(shù)。反過(guò)來(lái),這些工藝也讓MEMS器件,RF濾波器和BSI(背面照明)CIS(CMOS圖像傳感器)的生產(chǎn)迅速增長(zhǎng)。這些工藝也能用于制造工程襯底,例如SOI(絕緣體上...
EVG?520IS晶圓鍵合系統(tǒng)■擁有EVG?501和EVG?510鍵合機(jī)的所有功能■200mm的單個(gè)或者雙腔自動(dòng)化系統(tǒng)■自動(dòng)晶圓鍵合流程和晶圓替代轉(zhuǎn)移■集成冷卻站,實(shí)現(xiàn)高產(chǎn)量EVG?540自動(dòng)鍵合系統(tǒng)■300mm單腔鍵合室■自動(dòng)處理多達(dá)4個(gè)鍵合卡盤(pán)■模塊化鍵合...
EVG?850DB自動(dòng)解鍵合機(jī)系統(tǒng)全自動(dòng)解鍵合,清潔和卸載薄晶圓特色技術(shù)數(shù)據(jù)在全自動(dòng)解鍵合機(jī)中,經(jīng)過(guò)處理的臨時(shí)鍵合晶圓疊層被分離和清洗,而易碎的設(shè)備晶圓始終在整個(gè)工具中得到支撐。支持的剝離方法包括UV激光,熱剝離和機(jī)械剝離。使用所有解鍵合方法,都可以通過(guò)薄膜框...
EVG?850LT的LowTemp?等離子計(jì)獲模塊 2種標(biāo)準(zhǔn)工藝氣體:N2和O2以及2種其他工藝氣體:高純度氣體(99.999%),稀有氣體(Ar,He,Ne等)和形成氣體(N2,Ar含量蕞/高為4%的氣體)2) 通用質(zhì)量流量控制器:蕞多可對(duì)4種工藝氣體進(jìn)行自...
EVG?610BA鍵對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)適用于學(xué)術(shù)界和工業(yè)研究的晶圓對(duì)晶圓對(duì)準(zhǔn)的手動(dòng)鍵對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)。EVG610鍵合對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)設(shè)計(jì)用于蕞大200mm晶圓尺寸的晶圓間對(duì)準(zhǔn)。EVGroup的鍵合對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)可通過(guò)底側(cè)顯微鏡提供手動(dòng)高精度對(duì)準(zhǔn)平臺(tái)。EVG的鍵對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)的精度可滿足MEMS生...
表面帶有微結(jié)構(gòu)硅晶圓的界面已受到極大的損傷,其表面粗糙度遠(yuǎn)高于拋光硅片( Ra < 0. 5 nm) ,有時(shí)甚至可以達(dá)到 1 μm 以上。金硅共晶鍵合時(shí)將金薄膜置于欲鍵合的兩硅片之間,加熱至稍高于金—硅共晶點(diǎn)的溫度,即 363 ℃ , 金硅混合物從預(yù)鍵合的硅片...
長(zhǎng)久鍵合系統(tǒng) EVG晶圓鍵合方法的引入將鍵合對(duì)準(zhǔn)與鍵合步驟分離開(kāi)來(lái),立即在業(yè)內(nèi)掀起了市場(chǎng)geming。利用高溫和受控氣體環(huán)境下的高接觸力,這種新穎的方法已成為當(dāng)今的工藝標(biāo)準(zhǔn),EVG的鍵合機(jī)設(shè)備占據(jù)了半自動(dòng)和全自動(dòng)晶圓鍵合機(jī)的主要市場(chǎng)份額,并且安裝的機(jī)臺(tái)已經(jīng)超過(guò)...
EVG?850LT特征利用EVG的LowTemp?等離子基活技術(shù)進(jìn)行SOI和直接晶圓鍵合適用于各種熔融/分子晶圓鍵合應(yīng)用生產(chǎn)系統(tǒng)可在高通量,高產(chǎn)量環(huán)境中運(yùn)行盒到盒的自動(dòng)操作(錯(cuò)誤加載,SMIF或FOUP)無(wú)污染的背面處理超音速和/或刷子清潔機(jī)械平整或缺口對(duì)準(zhǔn)的...
EVG?301單晶圓清洗系統(tǒng),屬于研發(fā)型單晶圓清洗系統(tǒng)。技術(shù)數(shù)據(jù) EVG301半自動(dòng)化單晶片清洗系統(tǒng)采用一個(gè)清洗站,該清洗站使用標(biāo)準(zhǔn)的去離子水沖洗以及超音速,毛刷和稀釋化學(xué)藥品作為附加清洗選項(xiàng)來(lái)清洗晶片。EVG301具有手動(dòng)加載和預(yù)對(duì)準(zhǔn)功能,是一種多功能的研發(fā)...
Smart View NT鍵合機(jī)特征 適合于自動(dòng)化和集成EVG鍵合系統(tǒng)(EVG560?,GEMINI ? 200和300mm配置) 用于3D互連,晶圓級(jí)封裝和大批量MEMS器件的晶圓堆疊 通用鍵合對(duì)準(zhǔn)器(面對(duì)面,背面,紅外和透明對(duì)準(zhǔn)) 無(wú)需Z軸運(yùn)動(dòng),也無(wú)需重新...
ComBond自動(dòng)化的高真空晶圓鍵合系統(tǒng),高真空晶圓鍵合平臺(tái)促進(jìn)“任何物上的任何東西”的共價(jià)鍵合特色技術(shù)數(shù)據(jù),EVGComBond高真空晶圓鍵合平臺(tái)標(biāo)志著EVG獨(dú)特的晶圓鍵合設(shè)備和技術(shù)產(chǎn)品組合中的一個(gè)新里程碑,可滿足市場(chǎng)對(duì)更復(fù)雜的集成工藝的需求ComBond支...
EVG?820層壓系統(tǒng) 將任何類型的干膠膜(膠帶)自動(dòng)無(wú)應(yīng)力層壓到晶圓上 特色 技術(shù)數(shù)據(jù) EVG820層壓站用于將任何類型的干膠膜自動(dòng),無(wú)應(yīng)力地層壓到載體晶片上。這項(xiàng)獨(dú)特的層壓技術(shù)可對(duì)卷筒上的膠帶進(jìn)行打孔,然后將其對(duì)齊并層壓到晶圓上。該材料通常是雙面膠帶。利用...
根據(jù)型號(hào)和加熱器尺寸,EVG500系列鍵合機(jī)可以用于碎片和50mm至300mm的晶圓。這些工具的靈活性非常適合中等批量生產(chǎn)、研發(fā),并且可以通過(guò)簡(jiǎn)單的方法進(jìn)行大批量生產(chǎn),因?yàn)殒I合程序可以轉(zhuǎn)移到EVGGEMINI大批量生產(chǎn)系統(tǒng)中。鍵合室配有通用鍵合蓋,可快速排空,...
半導(dǎo)體器件的垂直堆疊已經(jīng)成為使器件密度和性能不斷提高的日益可行的方法。晶圓間鍵合是實(shí)現(xiàn)3D堆疊設(shè)備的重要工藝步驟。然而,需要晶片之間的緊密對(duì)準(zhǔn)和覆蓋精度以在鍵合晶片上的互連器件之間實(shí)現(xiàn)良好的電接觸,并蕞小化鍵合界面處的互連面積,從而可以在晶片上騰出更多空間用于...
焊使用工具將導(dǎo)線施加到微芯片上時(shí)對(duì)其產(chǎn)生壓力。將導(dǎo)線牢固地固定到位后,將超聲波能量施加到表面上,并在多個(gè)區(qū)域中建立牢固的結(jié)合。楔形鍵合所需的時(shí)間幾乎是類似球形鍵合所需時(shí)間的兩倍,但它也被認(rèn)為是更穩(wěn)定的連接,并且可以用鋁或其他幾種合金和金屬來(lái)完成。不建議業(yè)余愛(ài)好...
從表面上看,“引線鍵合”似乎只是焊接的另一個(gè)術(shù)語(yǔ),但由于涉及更多的變量,因此該過(guò)程實(shí)際上要復(fù)雜得多。為了將各種組件長(zhǎng)久地連接在一起,在電子設(shè)備上執(zhí)行引線鍵合過(guò)程,但是由于項(xiàng)目的精致性,由于它們的導(dǎo)電性和相對(duì)鍵合溫度,通常jin應(yīng)用金,鋁和銅。通過(guò)使用球形鍵合或...
ComBond自動(dòng)化的高真空晶圓鍵合系統(tǒng),高真空晶圓鍵合平臺(tái)促進(jìn)“任何物上的任何東西”的共價(jià)鍵合特色技術(shù)數(shù)據(jù),EVGComBond高真空晶圓鍵合平臺(tái)標(biāo)志著EVG獨(dú)特的晶圓鍵合設(shè)備和技術(shù)產(chǎn)品組合中的一個(gè)新里程碑,可滿足市場(chǎng)對(duì)更復(fù)雜的集成工藝的需求ComBond支...