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EVG?805解鍵合系統(tǒng)用途：薄晶圓解鍵合。EVG805是半自動系統(tǒng)，用于剝離臨時鍵合和加工過的晶圓疊層，該疊層由器件晶圓，載體晶圓和中間臨時鍵合膠組成。該工具支持熱剝離或機(jī)械剝離?？梢詫⒈【A卸載到單個基板載體上，以在工具之間安全可靠地運輸。特征：開放式膠粘...

薄膜應(yīng)力分析儀對使用環(huán)境有什么要求？1. 溫度控制：薄膜應(yīng)力分析儀需要在恒定的溫度下進(jìn)行測量，因此需要控制實驗室的溫度。為避免溫度變化引起的薄膜內(nèi)部結(jié)構(gòu)的變化，一些儀器具有加熱和冷卻控制功能。2. 濕度控制：濕度變化也會對薄膜的結(jié)構(gòu)和性能產(chǎn)生影響，因此需要控制...

晶圓缺陷檢測設(shè)備的維護(hù)保養(yǎng)有哪些要點？1、定期清潔：晶圓缺陷檢測設(shè)備應(yīng)該定期清潔，以保持設(shè)備的正常運行。清潔時應(yīng)注意避免使用帶有酸性或堿性的清潔劑，以免對設(shè)備造成損害。2、維護(hù)設(shè)備的工作環(huán)境：晶圓缺陷檢測設(shè)備應(yīng)該放置在干燥、通風(fēng)、溫度適宜的環(huán)境中，以避免設(shè)備受...

晶圓缺陷檢測光學(xué)系統(tǒng)是一種通過光學(xué)成像技術(shù)來檢測晶圓表面缺陷的設(shè)備。其主要特點包括：1、高分辨率：晶圓缺陷檢測光學(xué)系統(tǒng)采用高分辨率鏡頭和成像傳感器，可以獲得高精度成像結(jié)果，檢測出微小缺陷。2、寬視場角：晶圓缺陷檢測光學(xué)系統(tǒng)具有較大的視場角度，可以同時檢測多個晶...

典型晶圓缺陷檢測設(shè)備的工作原理：1、光學(xué)檢測原理：使用光學(xué)顯微鏡等器材檢測晶圓表面缺陷，包括凹坑、裂紋、污染等。2、電學(xué)檢測原理：通過電流、電壓等電學(xué)參數(shù)對晶圓進(jìn)行檢測，具有高靈敏度和高精度。3、X光檢測原理：利用X射線成像技術(shù)對晶圓的內(nèi)部結(jié)構(gòu)進(jìn)行檢測，可檢測...

晶圓缺陷檢測光學(xué)系統(tǒng)該如何維護(hù)？1、清潔鏡頭和光學(xué)器件：鏡頭和光學(xué)器件是光學(xué)系統(tǒng)的關(guān)鍵部件，若有灰塵或污垢會影響光學(xué)成像效果。因此，需要定期清潔這些部件。清潔時應(yīng)只用干凈、柔軟的布或特殊的光學(xué)清潔紙等工具，避免使用任何化學(xué)溶劑。2、檢查光源和示波器：如果光源老...

薄膜應(yīng)力分析儀怎么樣？有什么獨特之處？1. 測量方式靈活：薄膜應(yīng)力分析儀可以使用多種測量方法的技術(shù)，包括光學(xué)和機(jī)械測量方法等。光學(xué)方法包括X光衍射、拉曼散射、橢偏光等方法，機(jī)械方法包括曲率法、剝離法等方法，可以更加廣闊地分析和測試薄膜的物理性質(zhì)。2. 非接觸式...

輪廓儀對所測樣品的尺寸有何要求？答：輪廓儀對載物臺xy行程為140*110mm（可擴(kuò)展），Z向測量范圍蕞大可達(dá)10mm，但由于白光干涉儀單次測量區(qū)域比較?。ㄒ?0X鏡頭為例，在1mm左右），因而在測量大尺寸的樣品時，全檢的方式需要進(jìn)行拼接測量，檢測效率會比較低...

Filmetrics 的技術(shù)Filmetrics 提供了范圍廣范的測量生物醫(yī)療涂層的方案：支架： 支架上很小的涂層區(qū)域通常需要顯微鏡類的儀器。 我們的 F40 在幾十個實驗室內(nèi)得到使用，測量鈍化和/或藥 物輸送涂層。我們有獨特的測量系統(tǒng)對整個支架表面的自動厚度...

EVG?610特征：晶圓/基板尺寸從小到200mm/8頂側(cè)和底側(cè)對準(zhǔn)能力高精度對準(zhǔn)臺自動楔形補(bǔ)償序列電動和程序控制的曝光間隙支持蕞新的UV-LED技術(shù)蕞小化系統(tǒng)占地面積和設(shè)施要求分步流程指導(dǎo)遠(yuǎn)程技術(shù)支持多用戶的概念（無限數(shù)量的用戶帳戶和程序，可分配的訪問權(quán)限，...

將手輕輕放在桌面上。上方區(qū)塊中的一個或多個LED可能會亮起，指示過載。了解在不造成過載的情況下可以施加多少力。如果你現(xiàn)在在桌面上施加很大的力，所有過載燈都會亮起，并且隔離指示燈將閃爍幾秒鐘，表明系統(tǒng)暫時不再隔離，直到過載消除（待機(jī)模式）。消除過載后，隔離燈應(yīng)再...

TableStable生產(chǎn)的主動式微振動控制系統(tǒng)AVI是一款多功能的主動式防振系統(tǒng)，具有獨力的防振單元和控制器?？赡苡卸喾N變化，例如將其用作電子顯微鏡（SEM）的隔振臺，或與光學(xué)平臺結(jié)合使用的高性能光學(xué)實驗臺。特點：?通過主動控制沒有共振點，可以防止低頻范圍的...

TS特點：◎在全部的6個自由度范圍內(nèi)，從0.7Hz到100Hz，TS系列產(chǎn)品提供優(yōu)良的主動隔振性能?！虍?dāng)儀器裝載時，高度調(diào)整會自動進(jìn)行?！蚣词巩?dāng)負(fù)載偏離中心時，自動調(diào)平功能也能保持水準(zhǔn)。當(dāng)高重心的儀器被加載時，給予穩(wěn)定性?！蛲ㄟ^按下前方的按鈕，系統(tǒng)可以鎖定或者...

TableStable生產(chǎn)的主動式微振動控制系統(tǒng)AVI是一款多功能的主動式防振系統(tǒng)，具有獨力的防振單元和控制器?？赡苡卸喾N變化，例如將其用作電子顯微鏡（SEM）的隔振臺，或與光學(xué)平臺結(jié)合使用的高性能光學(xué)實驗臺。特點：?通過主動控制沒有共振點，可以防止低頻范圍的...

AVI400-SAVI400-S的基本配置包括兩個緊湊型單元和一個控制單元，最大負(fù)載為800公斤。通過增加緊湊型模塊的數(shù)量，可以輕松實現(xiàn)對更高負(fù)載的支持。為了使AVI400-S適應(yīng)用戶特定的應(yīng)用，可以使用不同長度的緊湊型裝置。AVI400-S的隔離始于1,2H...

所有控制電路都內(nèi)置在該單元鐘功耗小于2.5W。該設(shè)備具有通用輸入，可以連接到100至240VAC的任何交流電源。優(yōu)化設(shè)計以實現(xiàn)對諸如掃描探針顯微鏡（AFM，STM），干涉儀和其他高分辨率儀器，從而使這些儀器能夠達(dá)到蕞終的性能。事實證明，該表在支持靈敏實驗（例如...

AVI200-MAVI200-M的隔離始于1,2Hz，超過10HZ以上迅速增加至35db減少低頻諧振可得到比普通的被動空氣阻尼系統(tǒng)更好的性能AVI200-M系統(tǒng)固有的剛性賦予其出色的方向性和位置穩(wěn)定性AVI200-M的出色性能包括所有六個方向水平和垂直振動模式...

AVI-600系列（負(fù)載：1200kg）型號：AVI-600SLP，AVI-600MLP，AVI-600XLP形狀：控制器與防振單元分離型主動控制范圍：被動隔振范圍200Hz以上確認(rèn)防振狀態(tài)：使用控制器背面的BNC連接器，外部連接，前面的8個LED指示防振狀態(tài)...

支撐面測試在系統(tǒng)運行時，推動支撐表面。燈不亮，除了可能會大力推動。如果可以輕松使燈點亮，則支撐表面剛度不足以獲得充分的性能。確定支撐表面是否起反應(yīng)對水平或垂直力施加更大的作用，并嘗試適當(dāng)?shù)厥菇Y(jié)構(gòu)變硬。請注意，該系統(tǒng)將在任何支撐表面上運行，但會產(chǎn)生共振的柔軟結(jié)構(gòu)...

輪廓儀，能描繪工件表面波度與粗糙度，并給出其數(shù)值的儀器，采用精密氣浮導(dǎo)軌為直線基準(zhǔn)。輪廓測試儀是對物體的輪廓、二維尺寸、二維位移進(jìn)行測試與檢驗的儀器，作為精密測量儀器在汽車制造和鐵路行業(yè)的應(yīng)用十分廣范。（來自網(wǎng)絡(luò)）先進(jìn)的輪廓儀集成模塊60年世界水平半導(dǎo)體檢測技...

LFS-2傳感器測量兩個軸的水平加速度，直至頻率為約0.2Hz傳感器直接放置在地板上，并用于前饋回路中與標(biāo)準(zhǔn)AVI/LP系統(tǒng)結(jié)合使用，可在非常低的情況下提高隔振效果頻率。LFS-2可以改裝為現(xiàn)有的AVI-LP系統(tǒng)。下表顯示了在AVI/LP上測得的水平隔離度（透...

TableStable生產(chǎn)的主動式微振動控制系統(tǒng)AVI是一款多功能的主動式防振系統(tǒng)，具有獨力的防振單元和控制器?？赡苡卸喾N變化，例如將其用作電子顯微鏡（SEM）的隔振臺，或與光學(xué)平臺結(jié)合使用的高性能光學(xué)實驗臺。特點：?通過主動控制沒有共振點，可以防止低頻范圍的...

AVI-400系列（負(fù)載：蕞多800kg）型號：AVI-400SLP，AVI-400MLP，AVI-400XLP系統(tǒng)形狀：控制器與防振單元分離型主動控制范圍：被動隔振范圍200Hz以上確認(rèn)防振狀態(tài)：使用控制器背面的BNC連接器，外部連接，前面的8個LED指示防...

LFS-2傳感器測量兩個軸的水平加速度，直至頻率為約0.2Hz傳感器直接放置在地板上，并用于前饋回路中與標(biāo)準(zhǔn)AVI/LP系統(tǒng)結(jié)合使用，可在非常低的情況下提高隔振效果頻率。LFS-2可以改裝為現(xiàn)有的AVI-LP系統(tǒng)。下表顯示了在AVI/LP上測得的水平隔離度（透...

支撐面測試在系統(tǒng)運行時，推動支撐表面。燈不亮，除了可能會大力推動。如果可以輕松使燈點亮，則支撐表面剛度不足以獲得充分的性能。確定支撐表面是否起反應(yīng)對水平或垂直力施加更大的作用，并嘗試適當(dāng)?shù)厥菇Y(jié)構(gòu)變硬。請注意，該系統(tǒng)將在任何支撐表面上運行，但會產(chǎn)生共振的柔軟結(jié)構(gòu)...

LFS-3傳感器在三個軸上測量水平和垂直加速度，頻率約為0.2Hz。該傳感器直接放置在地板上，與標(biāo)準(zhǔn)AVI/LP系統(tǒng)結(jié)合使用在前饋回路中，以提高極低頻時的隔振性能。LFS-3可以被復(fù)裝到現(xiàn)有的AVI/LP系統(tǒng)中。下面的圖顯示了在AVI/LP系統(tǒng)上測量的垂直和水...

1.更換SEM側(cè)面板（如有必要）。檢查隔離系統(tǒng)和SEM的所有電纜是否松動連接。檢查并確保沒有將SEM耦合到地面或其他振動源。2.將電源線插入控制器背面。翻轉(zhuǎn)前面板上的“ON”開關(guān)。按紅色按鈕啟用活動隔離。3.幾秒鐘后，使能LED指示燈將變穩(wěn)定，指示系統(tǒng)已正確隔...

AVI200-XL的隔離始于1,2Hz，然后迅速增加至超過10Hz的35dB減少低頻諧振可得到比普通的被動空氣阻尼系統(tǒng)更好的性能AVI200-XL系統(tǒng)固有的剛性賦予其出色的方向性和位置穩(wěn)定性AVI200-XL的出色性能包括所有六個方向水平和垂直振動模式AVI2...

主動式隔震臺工作機(jī)理主動防振臺通過電氣控制，向傳入振動瞬間施加反方向的力，從而消除振動。測振傳感器不斷監(jiān)測振動，制動器根據(jù)這些信號產(chǎn)生反向力，以保持蕞佳的隔振狀態(tài)。主動式防震臺專門研究10Hz以下低頻范圍的防震。（1）實際測量的振動結(jié)果：AVI主動隔振頻率范圍...

AVI-600/LP的每個單元均可調(diào)節(jié)，以適應(yīng)0至600kg的負(fù)載。對于任何設(shè)置由兩個單元組成的系統(tǒng)上的負(fù)載，可在+/-90kg之間變化，而不必重設(shè)調(diào)整。手次操作系統(tǒng)時，請將前面板隔離開關(guān)設(shè)置為OFF（黑色旋出）。接通電源。電源指示燈現(xiàn)在將點亮，并且24個顯示...