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如何正確使用輪廓儀準備工作1.測量前準備。2.開啟電腦、打開機器電源開關、檢查機器啟動是否正常。3.擦凈工件被測表面。測量1.將測針正確、平穩(wěn)、可靠地移動在工件被測表面上。2.工件固定確認工件不會出現松動或者其它因素導致測針與工件相撞的情況出現3.在儀器上設置所需的測量條件。4.開始測量。測量過程中不可觸摸工件更不可人為震動桌子的情況產生。5.測量完畢，根據圖紙對結果進行分析，標出結果，并保存、打印。輪廓的角度處理:角度處理：兩直線夾角、直線與Y軸夾角、直線與X軸夾角點線處理：兩直線交點、交點到直線距離、交點到交點距離、交點到圓心距離、交點到點距離圓處理：圓心距離、圓心到直線的距離、交點到圓心...

NanoX-8000輪廓儀的自動化系統(tǒng)主要配置：?XY最大行程650*650mm?支持415*510mm/510*610mm兩種尺寸?XY光柵分辨率0.1um，定位精度5um，重復精度1um?XY平臺蕞大移動速度：200mm/s?Z軸聚焦：100mm行程自動聚焦，0.1um移動步進?隔振系統(tǒng)：集成氣浮隔振+大理石基石?配置真空臺面?配置Barcode掃描板邊二維碼，可自動識別產品信息?主設備尺寸：1290(W)x1390(D)x2190(H)mm如果想要了解更加詳細的產品信息，請聯系我們岱美儀器技術服務有限公司。輪廓儀可用于Oled 特征結構測量，表面粗糙度，外延片表面缺 陷檢測，硅片外延表面...

關于三坐標測量輪廓度及粗糙度三坐標測量機是不能測量粗糙度的，至于測量零件的表面輪廓，要視三坐標的測量精度及零件表面輪廓度的要求了，如果你的三坐標測量機精度比較高，但零件輪廓度要求不可，是可以用三坐標來代替的。一般三坐標精度都在2-3um左右，而輪廓儀都在2um以內，還有就是三坐標可以測量大尺寸零件的輪廓，因為它有龍門式三坐標和關節(jié)臂三坐標，而輪廓儀主要是用來測量一些小的精密零件輪廓尺寸的，加上粗糙度模塊也可以測量粗糙度。200到400個共焦圖像通常在幾秒內被捕獲，之后軟件從共焦圖像的堆棧重建精確的三維高度圖像。粗糙度輪廓儀美元價格輪廓儀，能描繪工件表面波度與粗糙度，并給出其數值的儀器，采用精密...

輪廓儀的技術原理被測表面(光)與參考面(光)之間的光程差（高度差）形成干涉移相法(PSI)高度和干涉相位f=(2p/l)2h形貌高度:<120nm精度:<1nmRMS重復性:0.01nm垂直掃描法(VSI+CSI)精度：?/1000干涉信號~光程差位置形貌高度:nm-mm,精度:>2nm干涉測量技術：快速靈活、超納米精度、測量精度不受物鏡倍率影響以下來自網絡：輪廓儀，能描繪工件表面波度與粗糙度，并給出其數值的儀器，采用精密氣浮導軌為直線基準。輪廓測試儀是對物體的輪廓、二維尺寸、二維位移進行測試與檢驗的儀器，作為精密測量儀器在汽車制造和鐵路行業(yè)的應用十分廣范。反射光通過MPD的針 孔減小到聚焦的...

輪廓儀的培訓一、培訓承諾系統(tǒng)建成后，我公司將為業(yè)主提供為期1天的免廢培訓和技術資詢；培訓地點可以在我公司，亦或在工程現場；系統(tǒng)操作及管理人員的培訓人數為10人，由業(yè)主指定，我公司將確保相關人員正確使用該系統(tǒng)；1.1.培訓對象系統(tǒng)操作及管理人員（培訓對象須具有專業(yè)技術的技術人員或實際值班操作人員）；其他業(yè)主指定的相關人員。1.2.培訓內容系統(tǒng)操作使用說明書。培訓課程的主要內容是系統(tǒng)的操作、系統(tǒng)的相關參數設定和修改和系統(tǒng)的維修與保養(yǎng)與簡單升級等，具體內容如下：*系統(tǒng)文檔解讀；*系統(tǒng)的技術特點、安裝維護和系統(tǒng)管理方式；*系統(tǒng)一般故障排除。輪廓儀在晶圓的IC封裝中的應用。原裝進口輪廓儀代理商輪廓儀的功...

輪廓儀的和新團隊夏勇博士，江蘇省雙創(chuàng)人才15年ADE，KAL-Tencor半導體檢測設備公司研發(fā)、項目管理經驗SuperSightInc.CEO/共同創(chuàng)始人，太陽能在線檢測設備唐壽鴻博士，國家千人特聘專家25年ADE，KAL-Tencor半導體檢測設備公司研發(fā)經驗KLA-Tencor資申研發(fā)總監(jiān)，世界即圖像處理、算法專家許衡博士，軟件系統(tǒng)研發(fā)10年硅谷世界500強研發(fā)經驗（BDMedicalInstrument）光學測量、軟件系統(tǒng)岱美儀器與專家組為您提供輪廓儀的技術支持，為您排憂解難。一般三坐標精度都在2-3um左右。干涉測量輪廓儀一級代理NanoX-8000系統(tǒng)主要性能?菜單式系統(tǒng)設置，一鍵...

關于三坐標測量輪廓度及粗糙度三坐標測量機是不能測量粗糙度的，至于測量零件的表面輪廓，要視三坐標的測量精度及零件表面輪廓度的要求了，如果你的三坐標測量機精度比較高，但零件輪廓度要求不可，是可以用三坐標來代替的。一般三坐標精度都在2-3um左右，而輪廓儀都在2um以內，還有就是三坐標可以測量大尺寸零件的輪廓，因為它有龍門式三坐標和關節(jié)臂三坐標，而輪廓儀主要是用來測量一些小的精密零件輪廓尺寸的，加上粗糙度模塊也可以測量粗糙度。由于光罩中電路結構尺寸極小，任何微小的黏附異物和下次均會導致制造的晶圓IC表面存在缺 陷。中端輪廓儀輪廓測量應用輪廓儀對所測樣品的尺寸有何要求？答：輪廓儀對載物臺xy行程為14...

輪廓儀的性能測量模式：移相干涉（PSI），白光垂直掃描干涉（VSI），單色光垂直掃描干涉（CSI）樣品臺：150mm/200mm/300mm樣品臺（可選配）XY平移：±25mm/150mm/200mm/300mm，傾斜：±5°可選手動/電動樣品臺CCD相機像素：標配：1280×960視場范圍：560×750um（10×物鏡）具體視場范圍取決于所配物鏡及CCD相機光學系統(tǒng)：同軸照明無限遠干涉成像系統(tǒng)光源：高效LEDZ方向聚焦80mm手動聚焦（可選電動聚焦）Z方向掃描范圍精密PZT掃描(可選擇高精密機械掃描，拓展達10mm)縱向分辨率＜0.1nmRMS重復性*0.005nm，1σ臺階測量**準確度...

輪廓儀、粗糙度儀、三坐標的區(qū)別 關于輪廓儀和粗糙度儀 輪廓儀與粗糙度儀不是同一種產品，輪廓儀主要功能是測量零件表面的輪廓形狀，比如：汽車零件中的溝槽的槽深、槽寬、倒角（包括倒角位置、倒角尺寸、角度等），圓柱表面素線的直線度等參數?？傊?，輪廓儀反映的是零件的宏觀輪廓。粗糙度儀的功能是測量零件表面的磨加工/精車加工工序的表面加工質量，通俗地講，就是零件表面加工得光不光（粗糙度老國標叫光潔度），即粗糙度反映的是零件加工表面的微觀情況。 關于三坐標測量輪廓度及粗糙度 三坐標測量機是不能測量粗糙度的，至于測量零件的表面輪廓 ，要視三坐標的測量精度及零件表面輪廓...

輪廓儀產品概述： NanoX-2000/3000 系列 3D 光學干涉輪廓儀建立在移相干涉測量（PSI）、白光垂直掃描干涉測量（VSI）和單色光 垂直掃描干涉測量（CSI）等技術的基礎上，以其納米級測量準確度和重復性（穩(wěn)定性）定量地反映出被測件的表面粗 糙度、表面輪廓、臺階高度、關鍵部位的尺寸及其形貌特征等。廣泛應用于集成電路制造、MEMS、航空航天、精密加 工、表面工程技術、材料、太陽能電池技術等領域。 想要了解更多的信息，請聯系我們岱美儀器。 由于光罩中電路結構尺寸極小，任何微小的黏附異物和下次均會導致制造的晶圓IC表面存在缺 陷。光刻機...

表面三維微觀形貌測量的意義 在生產中，表面三維微觀形貌對工程零件的許多技術性能的評家具有最直接的影響，而且表面三維評定參數由于能更全 面，更真實的反應零件表面的特征及衡量表面的質量而越來越受到重視，因此表面三維微觀形貌的測量就越顯重要。通過兌三維形貌的測量可以比較全 面的評定表面質量的優(yōu)劣，進而確認加工方法的好壞以及設計要求的合理性，這樣就可以反過來通過知道加工，優(yōu)化加工工藝以及加工出高質量的表面，確保零件使用功能的實現。 表面三位微觀形貌的此類昂方法非常豐富，通常可分為接觸時和非接觸時兩種，其中以非接觸式測量方法為主。 測量模式：移相干涉（PSI），白光垂直掃描干...

NanoX-2000/3000 系列 3D 光學干涉輪廓儀建立在移相干涉測量（PSI）、白光垂直掃描干涉測量（VSI）和單色光 垂直掃描干涉測量（CSI）等技術的基礎上，以其納米級測量準確度和重復性（穩(wěn)定性）定量地反映出被測件的表面粗 糙度、表面輪廓、臺階高度、關鍵部位的尺寸及其形貌特征等。廣泛應用于集成電路制造、MEMS、航空航天、精密加 工、表面工程技術、材料、太陽能電池技術等領域。 使用范圍廣: 兼容多種測量和觀察需求 保護性: 非接觸式光學輪廓儀 耐用性更強， 使用無損 可操作性:一鍵式操作，操作...

輪廓的角度處理: 角度處理：兩直線夾角、直線與Y軸夾角、直線與X軸夾角點線處理：兩直線交點、交點到直線距離、交點到交點距離、交點到圓心距離、交點到點距離圓處理：圓心距離、圓心到直線的距離、交點到圓心的距離、直線到切點的距離線處理：直線度、凸度、LG凸度、對數曲線 。 白光輪廓儀的典型應用： 對各種產品，不見和材料表面的平面度，粗糙度，波溫度，面型輪廓，表面缺 陷，磨損情況，腐蝕情況，孔隙間隙，臺階高度，完全變形情況，加工情況等表面形貌特征進行測量和分析。 幾何特征（關鍵孔徑尺寸，曲率半徑，特征區(qū)域的面積和集體，特征圖形的位置和數量等）。國產...

NanoX-8000輪廓儀的自動化系統(tǒng)主要配置 ： ? XY最 大行程650*650mm ? 支持415*510mm/510*610mm兩種尺寸 ? XY光柵分辨率 0.1um，定位精度 5um，重復精度 1um ? XY 平臺最 大移動速度：200mm/s ? Z 軸聚焦：100mm行程自動聚焦，0.1um移動步進 ? 隔振系統(tǒng)：集成氣浮隔振 + 大理石基石 ? 配置真空臺面 ? 配置Barcode 掃描板邊二維碼，可自動識別產品信息 ? 主設備尺寸：1290(W)x1390(D)x2190(H) mm 如果想要了...

最 大視場Thefilm3D以10倍物鏡優(yōu)異地提供更寛廣的2毫米視野，其數位變焦功能有助于緩解不同應用時切換多個物鏡的需要，更進一步減少總體成本。手動式物鏡轉盤能一次搭載四組物鏡，能滿足需要多種倍率物鏡交替使用的測量應用。索取技術資料索取報價性能規(guī)格厚度范圍,WSI50nm-10mm厚度范圍,PSI0-3μm樣品反射率範圍-100 %電腦要求機械規(guī)格Z范圍100mmPiezo(壓電)范圍500μmXY平臺類型手動或自動XY平臺范圍100mmx100mm相機2592x1944(5百萬像素)系統(tǒng)尺寸，寬x深x高300mmx300mmx550mm系統(tǒng)重量15kg物鏡1(NikonCFICEp...

輪廓的角度處理: 角度處理：兩直線夾角、直線與Y軸夾角、直線與X軸夾角點線處理：兩直線交點、交點到直線距離、交點到交點距離、交點到圓心距離、交點到點距離圓處理：圓心距離、圓心到直線的距離、交點到圓心的距離、直線到切點的距離線處理：直線度、凸度、LG凸度、對數曲線 。 白光輪廓儀的典型應用： 對各種產品，不見和材料表面的平面度，粗糙度，波溫度，面型輪廓，表面缺 陷，磨損情況，腐蝕情況，孔隙間隙，臺階高度，完全變形情況，加工情況等表面形貌特征進行測量和分析。 自動聚焦范圍 ： ± 0.3mm。Nano X輪廓儀供應商家 NanoX-8000 ...

輪廓儀、粗糙度儀、三坐標的區(qū)別 關于輪廓儀和粗糙度儀 輪廓儀與粗糙度儀不是同一種產品，輪廓儀主要功能是測量零件表面的輪廓形狀，比如：汽車零件中的溝槽的槽深、槽寬、倒角（包括倒角位置、倒角尺寸、角度等），圓柱表面素線的直線度等參數?？傊喞獌x反映的是零件的宏觀輪廓。粗糙度儀的功能是測量零件表面的磨加工/精車加工工序的表面加工質量，通俗地講，就是零件表面加工得光不光（粗糙度老國標叫光潔度），即粗糙度反映的是零件加工表面的微觀情況。 關于三坐標測量輪廓度及粗糙度 三坐標測量機是不能測量粗糙度的，至于測量零件的表面輪廓 ，要視三坐標的測量精度及零件表面輪廓...

強大的輪廓儀光電一體軟件 美國硅谷研發(fā)、中英文自由切換 光機電一體化軟硬件集成 三維分析處理迅速，結果實時更新 縮放、定位、平移、旋轉等三維圖像處理 自主設定測量閾值，三維處理自動標注 測量模式可根據需求自由切換 三維圖像支持高清打印 菜單式參數設置，一鍵式操作，人機界面?zhèn)€性直觀 個性化軟件應用支持 可進行軟件在線升級和遠程支持服務 10 年硅谷世界500強研發(fā)經驗（BD Medical Instrument） 光學...

NanoX-8000 系統(tǒng)主要性能 ? 菜單式系統(tǒng)設置，一鍵式操作，自動數據存儲 ? 一鍵式系統(tǒng)校準 ? 支持連接MES系統(tǒng)，數據可導入SPC ? 具備異常報警，急停等功能，報警信息可儲存 ? MTBF ≥ 1500 hrs ? 產能 : 45s/點 （移動 + 聚焦 + 測量）（掃描范圍 50um） ? 具備 Global alignment & Unit alignment ? 自動聚焦范圍 ： ± 0.3mm ? XY運動速度 最快 如果需要了解更多詳細參數，請聯系我們岱美儀器技術服務有限公司。 我們主要...

輪廓儀，能描繪工件表面波度與粗糙度，并給出其數值的儀器，采用精密氣浮導軌為直線基準。輪廓測試儀是對物體的輪廓、二維尺寸、二維位移進行測試與檢驗的儀器，作為精密測量儀器在汽車制造和鐵路行業(yè)的應用十分廣 泛。（來自網絡） 先進的輪廓儀集成模塊 60年世界水平半導體檢測技術研發(fā)和產業(yè)化經驗 所有的關鍵硬件采用美國、德國、日本等 PI ，納米移動平臺及控制 Nikon，干涉物鏡 NI，信號控制板和Labview64 控制軟件 TMC 隔震平臺 世界先進水平的計算機軟硬件技術平臺 VS2012/64位，....

三、涵蓋面廣的2D、3D形貌參數分析： 表面三維輪廓儀可測量300余種2D、3D參數，無論加工的物件使用哪一種評定標準，都可以提供全 面的檢測結果作為評定依據，可輕松獲取被測物件精確的線粗糙度、面粗糙度、輪廓度等參數。 四、穩(wěn)定性強，高重復性： 儀器運用高性能內部抗震設計，不受外部環(huán)境影響測量的準確性。超精密的Z向掃描模塊和測量軟件完美結合，保證高重復性，將測量誤差降低到亞納米級別。 三維表面輪廓儀是精密加工領域必不可少的檢測設備，它既保障了生產加工的準確性，又提高了成品的出產效率，滿足用戶對各項2D，3D參數檢測需求的同時，依然能夠保持高重復性，...

輪廓儀產品概述： NanoX-2000/3000 系列 3D 光學干涉輪廓儀建立在移相干涉測量（PSI）、白光垂直掃描干涉測量（VSI）和單色光 垂直掃描干涉測量（CSI）等技術的基礎上，以其納米級測量準確度和重復性（穩(wěn)定性）定量地反映出被測件的表面粗 糙度、表面輪廓、臺階高度、關鍵部位的尺寸及其形貌特征等。廣泛應用于集成電路制造、MEMS、航空航天、精密加 工、表面工程技術、材料、太陽能電池技術等領域。 想要了解更多的信息，請聯系我們岱美儀器。 LED光源通過多針 孔盤（MPD）和物鏡聚焦到樣品表面上，從而反射光。實驗室輪廓儀技術服務 表...

超納輪廓儀的主設計簡介: 中組部第十一批“千人計劃”特聘專家，美國KLA-Tencor（集成電路行業(yè)檢測設備市場的龍頭企業(yè)）資 深研發(fā)總監(jiān)，干涉測量技術專家美國上市公司ADE-Phaseift的總研發(fā)工程師，創(chuàng)造多項干涉測量數字化所需的關鍵算法，在光測領域發(fā)表23個美國專利和35篇學術論文3個研發(fā)的產品獲得大獎，國家教育部第 一批公派研究生,83年留學美國。光學輪廓儀可廣泛應用于各類精密工件表面質量要求極高的如：半導體、微機電、納米材料、生物醫(yī)療、精密涂層、科研院所、航空航天等領域?？梢哉f只要是微型范圍內重點部位的納米級粗糙度、輪廓等參數的測量，除了三維光學輪廓儀，沒有其它的...

1.3. 培訓計劃 在完成系統(tǒng)布線并開始設備安裝后，即向甲方和業(yè)主介紹整個系統(tǒng)的概況及性能、特點、設備布置情況和相互之間的關系等，讓甲方和業(yè)主對整個系統(tǒng)有一個全 面的認識。 在整個系統(tǒng)驗收前后，安排有關人員在進行培訓。 1.4. 培訓形式 公司指派技術人員向相關人員講解系統(tǒng)的原理、功能、操作及維修保養(yǎng)要點； 向受訓學員提供和解釋有關設計文件及圖紙等資料，使學員對系統(tǒng)的各個方面都能熟練掌握； 針對系統(tǒng)的具體操作一一指導，使相關人員掌握技術要領； 對學員提出的問題進行詳細解答； ...

輪廓儀的自動拼接功能： 條件： 被測區(qū)域明顯大于視場的區(qū)域，使用自動圖片拼接。 需要點擊自動拼接， 輪廓儀會把移動路徑上的拍圖自動拼接起來。 軟件會自適應計算路徑上移動的偏差，自動消除移動中偏差，減小誤差。 但是誤差是一定存在的。 白光輪廓儀的典型應用： 對各種產品，不見和材料表面的平面度，粗糙度，波溫度，面型輪廓，表面缺 陷，磨損情況，腐蝕情況，孔隙間隙，臺階高度，完全變形情況，加工情況等表面形貌特征進行測量和分析。 傳統(tǒng)光學顯微鏡的圖像包含清晰和模糊的細節(jié).研究所輪廓儀參數 輪廓儀、粗糙度儀、三坐標的區(qū)別： 關...

輪廓儀，能描繪工件表面波度與粗糙度，并給出其數值的儀器，采用精密氣浮導軌為直線基準。輪廓測試儀是對物體的輪廓、二維尺寸、二維位移進行測試與檢驗的儀器，作為精密測量儀器在汽車制造和鐵路行業(yè)的應用十分廣 泛。（來自網絡） 先進的輪廓儀集成模塊 60年世界水平半導體檢測技術研發(fā)和產業(yè)化經驗 所有的關鍵硬件采用美國、德國、日本等 PI ，納米移動平臺及控制 Nikon，干涉物鏡 NI，信號控制板和Labview64 控制軟件 TMC 隔震平臺 世界先進水平的計算機軟硬件技術平臺 VS2012/64位，....

如何正確使用輪廓儀 準備工作 1.測量前準備。 2.開啟電腦、打開機器電源開關、檢查機器啟動是否正常。 3.擦凈工件被測表面。 測量 1.將測針正確、平穩(wěn)、可靠地移動在工件被測表面上。 2.工件固定確認工件不會出現松動或者其它因素導致測針與工件相撞的情況出現 3.在儀器上設置所需的測量條件。 4.開始測量。測量過程中不可觸摸工件更不可人為震動桌子的情況產生。 5.測量完畢，根據圖紙對結果進行分析，標出結果，并保存、打印。 輪廓的角度處理: 角度處理：兩直線夾角、直線與Y軸夾角、直線與X軸夾角點線處理：兩直線...

輪廓儀在晶圓的IC封裝中的應用： 晶圓的IC制造過程可簡單看作是將光罩上的電路圖通過UV刻蝕到鍍膜和感光層后的硅晶圓上這一過程，其中由于光罩中電路結構尺寸極小，任何微小的黏附異物和下次均會導致制造的晶圓IC表面存在缺 陷，因此必須對光罩和晶圓的表面輪廓進行檢測，檢測相應的輪廓尺寸。 白光輪廓儀的典型應用： 對各種產品，不見和材料表面的平面度，粗糙度，波溫度，面型輪廓，表面缺 陷，磨損情況，腐蝕情況，孔隙間隙，臺階高度，完全變形情況，加工情況等表面形貌特征進行測量和分析。 一般三坐標精度都在2-3um左右。上海輪廓儀推薦產品 輪廓儀，能描繪工件表面...

新型光學輪廓儀!film3D使得光學輪廓測量更易負擔*后，表面粗糙度和表面形貌測量可以用比探針式輪廓儀成本更低的儀器來進行。film3D具有3倍於于其成本儀器的次納米級垂直分辨率,film3D同樣使用了現今*高 分辨率之光學輪廓儀的測量技術包含垂直掃描干涉(VSI)及相移干涉(PSI)。這就是您需要的解析力每film3D帶有直觀的粗糙度，表面形貌和臺階高度的測量軟件。所有常見如ISO25178所規(guī)范的粗糙度參數都支持，也包括軟件功能用于形貌分析，如形狀去除和波長過濾，都包含在基film3D軟件。對于更進階的功能，Filmetrics提供了我們的合作伙伴TrueGage的TrueMap軟...

輪廓儀的物鏡知多少? 白光干涉輪廓儀是基于白光干涉原理，以三維非接觸時方法測量分析樣片表面形貌的關鍵參數和尺寸，典型結果包括： 表面形貌（粗糙度，平面度，平行度，臺階高度，錐角等） 幾何特征（關鍵孔徑尺寸，曲率半徑，特征區(qū)域的面積和集體，特征圖形的位置和數量等） 白光干涉系統(tǒng)基于無限遠顯微鏡系統(tǒng)，通過干涉物鏡產生干涉條紋，使基本的光學顯微鏡系統(tǒng)變?yōu)榘坠飧缮鎯x。 因此物鏡是輪廓儀最核心的部件， 物鏡的選擇根據功能和檢測的精度提出需求，為了滿足各種精度的需求，需要提供各種物鏡，例如標配的10×， 還有2.5×，5×，20×，50×，100×，可選。 ...