光學平臺中的重復定位精度同精密位移臺中概念不同,光學平臺的重復定位精度,是指在空載和在一定條件下加上負載并去除負載,光學平臺穩(wěn)定后的高度差。這個指標同負載的大小、加載的位置、加載時的速度、加速度、卸載時的速度、加速度等等指標有很大的關系,對于充氣式平臺,還有一...
探針臺主要應用于半導體行業(yè)、光電行業(yè)、集成電路以及封裝的測試。普遍應用于復雜、高速器件的精密電氣測量的研發(fā),旨在確保質量及可靠性,并縮減研發(fā)時間和器件制造工藝的成本。探針臺分類:探針臺從操作上來區(qū)分有:手動,半自動,全自動。從功能上來區(qū)分有:溫控探針臺,真空探...
全自動探針臺相比手動探針臺和自動探針臺兩種添加了晶圓材料處理搬運單元(MHU)和模式識別(自動對準)。負責晶圓的輸送與定位,使晶圓上的晶粒依次與探針接觸并逐個測試??梢?4小時連續(xù)工作,通常用于芯片量產或有一些特殊要求如處理薄晶圓、封裝基板等。全自動探針臺價格...
對于當今的多芯片(multi-die packages)封裝,例如堆疊芯片級封裝(SCSP)或系統(tǒng)級封裝(SiP)–開發(fā)用于識別已知測試芯片(KTD)和已知良好芯片(KGD)的非接觸式(RF)探針對提高整體系統(tǒng)產量至關重要。晶圓探針臺還可以在晶圓劃片線上執(zhí)行任...
從功能上來區(qū)分有:高溫探針臺,低溫探針臺,RF探針臺,LCD平板探針臺,霍爾效應探針臺,表面電阻率探針臺。縱觀國內外的自動探針測試臺在功能及組成上大同小異,即主要由x-y向工作臺,可編程承片臺、探卡/探卡支架、打點器、探邊器、操作手柄等組成,并配有與測試儀(T...
光學平臺很普遍使用的振動響應傳遞函數(shù)為柔量。在恒定(靜態(tài))力的情況下,柔量可以定義為線性或角度錯位與所施加外力的比值。在動態(tài)變化力(振動)的情況下,柔量則可以定義為受激振幅(角度或線性錯位)與振動力振幅的比值。平臺的任意撓度都可以通過安裝在平臺表面的部件相對位...
晶圓是制作硅半導體積體電路所用的硅晶片,其原始材料是硅。高純度的多晶硅溶解后摻入硅晶體晶種,然后慢慢拉出,形成圓柱形的單晶硅。硅晶棒在經(jīng)過研磨,拋光,切片后,形成硅晶圓片,也就是晶圓。半導體工業(yè)對于晶圓表面缺陷檢測的要求,一般是要求高效準確,能夠捕捉有效缺陷,...
簡單的光學平臺保養(yǎng)說明書?1.光學玻璃防雨罩使用時應每年檢查周圍空氣、溫度、濕度,及時補充;2.材料缺陷和老化是平面顯微鏡對運動目標的光學缺陷檢測很大的困難之一,受壓力改變形狀引起窗口模板反應靈敏變形和關斷的遲鈍及其他其他缺陷;3.硬質打磨主要是為了更加精細的...
探針臺是半導體(包括集成電路、分立器件、光電器件、傳感器)行業(yè)重要的檢測裝備之一,其普遍應用于復雜、高速器件的精密電氣測量,旨在確保質量及可靠性,并縮減研發(fā)時間和器件制造工藝的成本。通過與測試儀器的配合,探針臺將參數(shù)特性不符合要求的芯片記錄下來,在進入后序工序...
固有頻率,顧名思義,為系統(tǒng)本身發(fā)生的振動的頻率。數(shù)值上來看,固有頻率等于共振頻率??紤]物塊與彈性懸臂梁組成的系統(tǒng),固有頻率取決于兩個因素——物塊質量,以及充當彈簧的彈性懸臂梁的彈性系數(shù)。質量減小或彈性系數(shù)減小可增大固有頻率;質量增大或懸臂梁彈性系數(shù)增大可降低固...
光學平臺平面度,對于隔振性能,沒有任何影響,甚至若為了追求高平面度,往往會去除掉光學平臺的隔振性能,原因如下:我們知道,光學平臺臺面,若為達到高平面度,通常需要反復磨削,在加工過程中,多次磨削容易使材料產生形變,為了減少形變,通常要加厚臺面,但我們通過振動恢復...
以往如果需要測試電子元器件或系統(tǒng)的基本電性能(如電流、電壓、阻抗等)或工作狀態(tài),測試人員一般會采用表筆去點測。隨著電子技術的不斷發(fā)展,對于精密微小(納米級)的微電子器件,表筆點到被測位置就顯得無能為力了。于是一種高精度探針座應運而生,利用高精度微探針將被測原件...
精密光學平臺的桌腿中裝有氣動單元,它與平臺的材料及設計相結合可以減少環(huán)境中的物體(例如人員走動、建筑物內其它設備以及行駛的汽車等)造成的大幅度低頻振動。這些外部力會使平臺發(fā)生剛體運動,這種運動本質上是2維的并且對大多數(shù)光學實驗不會造成影響。在千赫茲頻段的高頻振...
光學平臺隔振系統(tǒng)的構成:光學平臺由上下面板、蜂窩內芯和U型清潔艙采用低溫恒溫粘接而成,溫度應變小。鋼質蜂窩內芯采用垂向支撐桁架蜂窩結構,U型清潔艙與蜂窩芯六邊形內壁相配合內嵌在蜂窩孔中,蜂窩孔六邊形板直接粘結到上面板,U型清潔艙用蜂窩夾層板頂著粘接在上面板,增...
光學平臺測量方法:使用脈沖錘對平臺或面包板的表面施加一個已測量的外力,并將一個傳感器貼合在平臺或面包板表面對合成振動進行測量。探測器發(fā)出的信號通過分析儀進行讀取,并用于產生頻率響應譜(即柔量曲線)。在光學平臺的研發(fā)過程中,對平臺表面上很多點的柔量曲線進行記錄;...
探針臺從操作上來區(qū)分有:手動,半自動,全自動。從功能上來區(qū)分有:高溫探針臺,低溫探針臺,RF探針臺,LCD平板探針臺,霍爾效應探針臺,表面電阻率探針臺。縱觀國內外的自動探針測試臺在功能及組成上大同小異,即主要由x-y向工作臺,可編程承片臺、探卡/探卡支架、打點...
撓度是指結構構件的軸線或中面由于彎曲引起垂直于軸線或中面方向的線位移。對于細長物體或薄物體,撓度是在受力后彎曲變形程度的度量。細長物體(如梁或柱)的撓度是指在變形時其軸線上各點在該點處軸線法平面內的位移量。薄板或薄殼的撓度是指中面上各點在該點處中面法線上的位移...
光學平臺很主要的一個目標是消除平臺上任意兩個以上部件之間的相對位移。大多數(shù)光學實驗都對系統(tǒng)穩(wěn)定性有較高的要求。各種因素造成的振動會導致儀器測量結果的不穩(wěn)定性和不準確性,所以光學平臺顯得十分重要。光學平臺隔振原理:振動來源主要分為來自系統(tǒng)之外的振動和系統(tǒng)內部的振...
光學平臺精密隔振系統(tǒng)設計需要考慮的環(huán)境微振動干擾是復雜的,包括:大型建筑物本身的擺動、地面或樓層間傳來的振動、電動儀器和設備的振動、各類機械振動、聲音引起的振動、外界街道交通引起的振動,甚至包括人員走動所引起的振動等。精密的光學實驗依賴于可靠的定位穩(wěn)定性,工作...
探針(探針卡):待測芯片需要測試探針的連接,才能與測試儀器建立連接。常見的有普通DC測試探針、同軸DC測試探針、有源探針和微波探針等。探針頭插入單個探針臂并安裝在操縱器上。探針尖銳端尺寸和材料取決于被探測特征的尺寸和所需的測量類型。探針尖直接接觸被測件,探針臂...
安裝高速照明板安裝好高速照明板,垂直安裝氣浮光學平臺頂部架子,并準備好對應的偏光鏡可直接選擇光線是否充足,偏光鏡是否需要進行更換,發(fā)光二極管至需要注意光線是否充足。先說說發(fā)光二極管的安裝說起發(fā)光二極管,大家有興趣可以去看看《發(fā)光二極管安裝攻略》、《發(fā)光二極管全...
表面粗糙度通常是評定(小型)零件表面質量的指標,屬于微觀幾何形狀誤差。加工表面的粗糙度是加工過程中多種因素(機床刀具工件系統(tǒng)、加工方法、切削用量、冷卻潤滑液)共同作用的結果。這些因素的作用過程相當復雜,而且是不斷變化的。所以用不同加工方法或在同樣加工方法、同樣...
晶圓是制作硅半導體積體電路所用的硅晶片,其原始材料是硅。高純度的多晶硅溶解后摻入硅晶體晶種,然后慢慢拉出,形成圓柱形的單晶硅。硅晶棒在經(jīng)過研磨,拋光,切片后,形成硅晶圓片,也就是晶圓。半導體工業(yè)對于晶圓表面缺陷檢測的要求,一般是要求高效準確,能夠捕捉有效缺陷,...
固有頻率還分為水平方向和豎直方向,但通常來說豎直方向的固有頻率對整體隔振性能的影響,起到?jīng)Q定性作用,水平方向的固有頻率指標通常用于參考。振動恢復時間(Damping Settling Time):也叫衰減周期,是指:某一點上開始振動到恢復到初始狀態(tài)所需要的很短...
探針臺可以固定晶圓或芯片,并精確定位待測物。手動探針臺的使用者將探針臂和探針安裝到操縱器中,并使用顯微鏡將探針尖銳端放置到待測物上的正確位置。一旦所有探針尖銳端都被設置在正確的位置,就可以對待測物進行測試。對于帶有多個芯片的晶圓,使用者可以抬起壓盤,壓盤將探針...
x-y工作臺的維護與保養(yǎng):無論是全自動探針測試臺還是自動探針測試臺,x-y向工作臺都是其很重心的部分。有數(shù)據(jù)表明探針測試臺的故障中有半數(shù)以上是x-y工作臺的故障,而工作臺故障有許多是對其維護保養(yǎng)不當或盲目調整造成的,所以對工作臺的維護與保養(yǎng)就顯得尤為重要?,F(xiàn)在...
探針測試臺x-y工作臺的分類:縱觀國內外的自動探針測試臺在功能及組成上大同小異,即主要由x-y向工作臺,可編程承片臺、探卡/探卡支架、打點器、探邊器、操作手柄等組成,并配有與測試儀(TESTER)相連的通訊接口。但如果按其x-y工作臺結構的不同可為兩大類,即:...
x-y工作臺的維護與保養(yǎng):無論是全自動探針測試臺還是自動探針測試臺,x-y向工作臺都是其很重心的部分。有數(shù)據(jù)表明探針測試臺的故障中有半數(shù)以上是x-y工作臺的故障,而工作臺故障有許多是對其維護保養(yǎng)不當或盲目調整造成的,所以對工作臺的維護與保養(yǎng)就顯得尤為重要。現(xiàn)在...
探針臺是用于檢測每片晶圓上各個芯片電信號,保證半導體產品品質的重要檢測設備。因為我們需要知道器件真正的性能,而不是封裝以后的,雖然可以去嵌,但還是會引入一些誤差和不確定性。因為我們需要確定哪些芯片是好的芯片來降低封裝的成本并提高產量。因為有時我們需要進行自動化...
探針臺主要應用于半導體行業(yè)、光電行業(yè)、集成電路以及封裝的測試。普遍應用于復雜、高速器件的精密電氣測量的研發(fā),旨在確保質量及可靠性,并縮減研發(fā)時間和器件制造工藝的成本。探針臺分類:探針臺從操作上來區(qū)分有:手動,半自動,全自動。從功能上來區(qū)分有:溫控探針臺,真空探...